macleod说明书专业知识讲座

EssentialMacleod光学薄膜设计软件介绍吴新民Email:Support@.tw10/10/20231版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第1页软件介绍它是一款光学薄膜设计和分析软件，能够计算给定光学薄膜特性参数，不但包括反射率(reflectance)、透射率(transmittance)和位相(phase),还包括颜色(color),超速(ultrafast),椭圆偏振量(ellipsometric)，以及波长0-3阶导数。能够估算分析中随机误差，能够对已知设计进行改善，或者根据设定材料和目标进行综合设计。10/10/20232版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第2页软件介绍方便创建或编辑多种薄膜，带有多种薄膜材料和基底材料库，能够灵活地使用不一样单位，设计成果能够输出到光学设计软件ZEMAX中去。10/10/20233版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第3页工具EssentialMacleod包括大量工具。主要有：

(1)Core:设计编辑器,数据、目标等编辑器，输入/输出，材料管理，性能计算，优化和综合(Refinementandsynthesis),输出到ZEMAX,导纳轨迹(Admittanceloci),电场,辅助设计，(2)vStack:vStack编辑器,vStack性能计算-

计算非平面平行(non-parallel-sided)基底和薄膜性能，(3)Runsheet:机器配备和(MachineConfiguration)Runsheet编辑器，10/10/20234版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第4页工具（4）Monitorlink:特殊Runsheet配备，输出监控程序，与特定控制器连接标准工具(Freestandingtool)，（5）Function:操作编辑器(Operationeditor)和语法检查程序(syntaxchecker),函数求值程序(Functionevaluator)，（6）Simulator:沉积过程模拟器(Processdepositionsimulator)，（7）DWDMAssistant:带通滤波器设计(bandpassfilterdesigns)。10/10/20235版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第5页系统需求完全与Microsoft®Windows®操作系统兼容，Pentium处理器

提议硬盘空间：20-25Mb，内存：128Mb

10/10/20236版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第6页文献类型.dds:设计文献.npl:绘图文献.tbl:表格文献.moc:光学数据.dst:堆(stack)文献.np3:3维绘图文献.pmx：pmx文献10/10/20237版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第7页软件主窗口界面10/10/20238版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第8页主菜单-File10/10/20239版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第9页File介绍－New…(1)Design：弹出带有缺省设计设计窗口(2)Material：弹出一种建立新材料表格窗口，能够输入光学常数和波长等数据，(3)OpticalConstant：通过输入数据得到反射率和透过率曲线，(4)Table：建立一种只读空白表格，栏目自定义，(5)Stack：打开基底和膜层合并设计和分析文本窗口，(6)vStack：打开不平行基底和膜层合并设计和分析文本窗口，(7)Substrate：建立材料内透过率表格。10/10/202310版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第10页File介绍Open:打开已有薄膜文献，OpenMaterial：列出所有能够选择材料，OpenSubstrate：打开基底文献，表格中显示不一样波长内透过率或密度，OpenReference：打开参照文献。参照文献包括如颜色评介方面所需要数据。10/10/202311版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第11页主菜单-Tools10/10/202312版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第12页Tools介绍Materials：打开材料数据表，双击表中任何一种材料，都会弹出这个材料波长和折射率数据，LoadZEMAXCoatingFile：其数据能够与zemax交互使用，10/10/202313版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第13页主菜单-Options10/10/202314版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第14页General10/10/202315版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第15页Options介绍－－General(1)DataSources：上面是目前材料文献夹途径；下南是参照文献夹途径。(2)Windows：选择CascadingClose时，当一种设计窗口关闭时，有关图表窗口都一起关闭；当选择PrompttosaveoldTablesandPlotsbeforeclosingbox时，会在关闭图表前提醒是否存盘。选择KeepoldPlotsandTablesdisplayed时，打开新设计时，本来设计图表仍然存在。10/10/202316版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第16页Plotting图形坐标轴和绘图定制。10/10/202317版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第17页Cone控制StackEditor提供cone计算，

NominalConeSegmentLength

：计算特定波长、频率和入射角时cone响应时，控制Cone用适应计算。与

NominalPlotSegmentLength

类似。BandwidthStep：带宽不为0时，控制步长，

GaussianCalculationScaleFactor

：缺省值是2，此时，光束强度降为轴上0.0003倍，对大多数情况能够了，

越大，计算越久。10/10/202318版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第18页Design控制显示膜层次序和计算公式次序等。10/10/202319版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第19页ChartStyleChartStyles:定义绘图数据格调。包括颜色、线型等。10/10/202320版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第20页GeneralUnits定义多种量单位。10/10/202321版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第21页DESIGNWINDOW10/10/202322版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第22页设计窗口选择new>>design进入设计窗口(整个主菜单对应变了)：(在file>>displaysetup中设置此表格显示栏目)10/10/202323版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第23页膜层编辑－FormulaFormula能够用简化符号编辑薄膜，尤其是输入膜层数据很方便。

用符号：H,L,A,B,c,d等表达。膜层厚度表达为基本厚度(basicthickness)积，如2.5Hor0.4L(假如基本厚度为0.25，则分别表达2.5*0.25=0.625fullwaves和0.4*0.25=0.1fullwaves)

。符号能够表达成一种简单序列或反复序列，如：

(HL)^63.4H2.1L或((H1.2L2B)^2HL)^3(LBH)^2。10/10/202324版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第24页Formula窗口10/10/202325版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第25页GenerateRugate…用这个命令容易生成一种有皱褶膜(rugatecoatings)模型。用大量分离变化折射率层模拟皱褶膜连续变化折射率。折射率变化用变化每层packingdensity来实现。GenerateRugate命令能够容易地指定折射率变化，并且控制模拟皱褶构造层数目。10/10/202326版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第26页膜层厚度(thickness)能够是光学(optical),几何(geometrical),物理(physical)或QWOT。(1)物理厚度：按物理单位(一般是nm)测量。这种厚度能够转换为晶振监控规格，或溅射线上沉积时间，(2)光学厚度：物理厚度乘以材料折射率，即光程，再除以参照波长。光学厚度乘以2p就是位相厚度(单位为弧度)。常用光学厚度，(3)QWOT厚度：其数值为4倍光学厚度，(4)几何厚度：物理厚度除以波长。10/10/202327版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第27页光学厚度->物理厚度10/10/202328版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第28页ScaleThicknesses...偶尔有某些材料厚度要按同样办法变化。当研究不均匀性时，或需要对通或禁带进行微调时，经常要这样做。有时候要保持特殊参照波长值，但要将所有膜层厚度按同样百分比变化。都能够用这个命令容易实现。10/10/202329版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第29页MatchAngle...设计时光线都是垂直入射，但假如是倾斜，则需要调整对应薄膜厚度。此命令能够自动调整这个厚度。10/10/202330版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第30页GlobalEdit…变化设计中所有膜层或只变化所选择膜层。10/10/202331版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第31页EditMaterials...能够变化设计中材料。它只变化设计中材料。

不变化公式中列出符号。10/10/202332版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第32页Performance设置绘图参数。10/10/202333版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第33页3DPerformance...定义3D坐标

轴。10/10/202334版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第34页PlotOver将同个设计多根曲线画在一起。将不一样设计成果曲线画在一起10/10/202335版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第35页Table属于只读表格。假如需要改动，能够将Edit菜单里ReadOnly复选钩去掉。10/10/202336版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第36页Errors分析Mean和standarddeviation可以是Absolute或Relative.通常选择相对，此时误差与膜层厚度成正比。10/10/202337版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第37页Color颜色计算设置。10/10/202338版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第38页3DPlot画一种3Dplot。

坐标轴详细设置在Parameters>>3Dperformance里面。10/10/202339版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第39页Lock/LinkMenu(Design)用于refinement和synthesis过程。

Lock:假如

layer锁定了，则不参与优化，保持其初始厚度值。

Unlock:取消锁定，

Link:二个或几个膜层建立关联。10/10/202340版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第40页TOOLS－Compactdesign设置

最小允许膜层厚度。软件会将厚度不大于设置值膜层去掉，并关闭设计。10/10/202341版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第41页RefineDesign

提供优化办法有：Simplex,(一般叫nonlinearsimplex）Optimac,SimulatedAnnealing,ConjugateGradient,Quasi-Newton，Needlesynthesis。10/10/202342版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第42页IndexProfile...绘出折射率－厚度曲线。下列图中显示是quarter-half-quarter抗反射膜折射率曲线。左边是入射介质，右边是出身介质或基底。10/10/202343版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第43页产生Rugate薄膜Material中设置膜层中允许最高折射率，

VoidMaterial

中是膜层中允许最低折射率。VoidDensity设置为1.10/10/202344版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第44页Rugate薄膜举例10/10/202345版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第45页REFINEMENTANDSYNTHESIS10/10/202346版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第46页Refinement和synthesis能够自动优化设计，它们操作是类似Refinement一般是对已有设计进行轻微调整，synthesis则着重于构造，虽然没有初始构造也能够操作。10/10/202347版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第47页Targetsforrefinement包括三种目标：Standard,Color，Thickness10/10/202348版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第48页StandardTargets10/10/202349版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第49页StandardTarget设置Wavelength:工作波长，单位nm,IncidentAngle：按定义单位。假如不是0，则能够选择偏振分量。Weight：

权重。缺省值为1，TargetTolerance：每个目标值可接收公差值，Derivative：给出相对于第一栏中自变量(波长或频率)目标类型偏差等级，假如是0，表达没有偏差。Link：指定目标值之间联系。10/10/202350版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第50页ColorTargets设置colortargets：除了类型是颜色方面外，其他各项意义和标准目标是同样。还需要指定光源分布和观测者。mode：指定是计算透射还是反射颜色

。对stacks,尚有一种模式就是BackReflectance.它计算出射介质一端反射颜色，

对vStacks,只有throughput模式。10/10/202351版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第51页ThicknessTargets显示材料和所要求总厚度。当有一种或多种总厚度目标，refinement试图移去材料总厚度，达成要求厚度，同步又去满足其他要求。10/10/202352版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第52页RefinementandSynthesis有六种办法：Simplex,Optimac,SimulatedAnnealing,ConjugateGradient,Quasi-NewtonNeedleSynthesis.

Simplex提供直接优化，Optimac能够refinement和synthesis,SimulatedAnnealing优化，但能够在一种很大参数空间范围，ConjugateGradient和

Quasi-Newton是化办法，它们是用信息(derivativeinformation)来进行优化。Needlesynthesis办法是增加膜层。10/10/202353版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第53页SimplexrefinementSimplexrefinement计算速度非常快。

通过对初始膜层和/或packingdensities进行扰动。

一般，设计总数目会比层数多一种，packingdensities最小为5。采取迭代办法，用好某些设计成果替代最差设计。10/10/202354版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第54页Simplexrefinement设置10/10/202355版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第55页Simplex设置说明能够选择RefineThicknesses

和RefineIndex

，用PackingDensity作为变量优化折射率，

用upper和lowerthicknesslimits控制厚度，

用packingdensitylimits控制packingdensity。

CommonScaling，假如选定，则

相同材料所有膜层packingdensities移到一起。Inhomogeneity能够通过最少二个有各自不一样packingdensity膜层来模拟。由于这种办法很快，因此提议迭代次数设定为几千，

优化过程会自动显示曲线。10/10/202356版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第56页Simplex过程10/10/202357版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第57页Optimac优化参数设置对话框10/10/202358版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第58页Optimac设置-优化参数Optimac有很多小面facets。能够适用于synthesis和refinement.Optimac对膜层厚度没有限制，只要不为负就行。通过设置NumberofSynthesisCycles值，确定是否refinement或synthesis。假如为0，则只进行refinement。假如没有初始构造，取50左右比较合理。假如有好初始构造，能够用比较低值。

SynthesisStep：表达插入到synthesis过程膜层厚度。能够设置得很大，但一般在0.1~0.3比较好。10/10/202359版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第59页Optimac设置-优化参数SynthesisParameter：决定在synthesis操作中，变化是否保持。对比较好初始构造，设置为0.2左右比较好。InitialSearchStep：程序会先在“目前值±InitialSearchWidth”范围内搜索。NumberOfIterations：根据每个synthesis操作之间优化次数。应当设置为40~50。MaximumNumberofLayers：假如设计过程是完全自动，则不要设置得太大，不然会连续增加膜层。假如设计过程受到监控，并且在合适时候会手动停顿，则能够设置得比较大。10/10/202360版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第60页Optimac材料设置10/10/202361版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第61页Optimac过程10/10/202362版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第62页SimulatedAnnealing优化算法介绍SimulatedAnnealing不是一种新技术，但大量用在薄膜设计中。它由一种设计组成，随机地在优化函数面上进行扰动。

模拟实际退火过程，由Boltzmann分布exp(-E/kT)产生随机数确定下一种成果，E代表优化函数随机增加，KT代表退火温度k是Boltzmann常数，而不是消光系数)

。慢慢地使优化函数达成最小。处理过程越久，一般成果更加好。

在没有显著初始构造时，用这种办法最佳。适用于有入射用情况，尤其是其他办法不行时候。10/10/202363版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第63页Annealing参数设置10/10/202364版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第64页Annealing参数设置参数、标准偏差和初始温度分别设定。厚度波动标准偏差有一种开始值和结束值。在操作开始时，波动应当非常大，但在末期就比较小。退火温度单位为度，每一度为初始优化函数1/10000。好初始构造是必百或上千，退火过程会慢慢地减少温度，直到最后为0。温度下降不是线性，有时候递减速度开始快，但标准偏差是相同。10/10/202365版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第65页Annealing参数设置绝对：0.2意思是在目前厚度上增加0.2xl0，相对：则是在目前厚度上增加膜厚0.2倍，最佳选择“绝对”，最少开始时候，不然薄膜会不变化。随机数种子来自计算机时钟，一般不需要变化。在simulatedannealing中，厚度上限在0.75左右是非常好起始点，

假如设置得太大，尤其是早期时候，会出现优化函数大幅振动。10/10/202366版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第66页Annealing过程10/10/202367版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第67页ConjugateGradient法ConjugateGradient优化办法属于用微分信息确定优化函数面斜率办法。优化时，此信息用于变化设计参数(一般是膜层厚度)。10/10/202368版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第68页ConjugateGradient参数设置MeritFunctionPower：必须为正偶数

，此数越大，优化越久。

一般为2就能够了。LimitingRangeforMeritFunction

：假如优化函数不大于此值，则会停顿优化并返回优化设计。MaximumIterations：另一种优化终止标准。

MinimumMeritFunctionImprovementToUpdatePlot(%)：控制多久要更新曲线一次。TerminationMatchCount：能够用于指定达成所要求小斜率连续时间数目。

假如

TerminationMatchCount

不大于0，由于优化函数斜率很小，则refinement永远不会停顿。10/10/202369版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第69页ConjugateGradient过程10/10/202370版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第70页Quasi-Newton法介绍Quasi-Newton优化办法也属于用微分信息确定优化函数面斜率办法。优化时，此信息用于变化设计参数(一般是膜层厚度)。其参数设置和ConjugateGradient同样。10/10/202371版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第71页Quasi-Newton过程10/10/202372版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第72页NeedleSynthesis法介绍Needlesynthesis用优化图形面微分信息来确定需要在哪里插入一种新膜层。

当优化图形微分为负时，是插入新膜层最佳位置。在插入了所有厚度为0膜层后，用ConjugateGradientrefinement将新膜层厚度扩展为非0值。

在refinement过程中,假如能够改善优化图形，其他膜层厚度也会变化。

优化过程始终反复，直达到成所要求成果为止，或者达成某些限定(如总迭代次数)。10/10/202373版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第73页NeedleSynthesis参数

10/10/202374版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第74页NeedleSynthesis参数介绍NumberofSynthesisCycles：指定NeedleSynthesis尝试插入膜层次数。当超出这个值时，NeedleSynthesis会停顿。MeritFunctionLimit：是另外一种控制NeedleSynthesis何时停顿一种参数。当优化函数降到不大于这个值时，NeedleSynthesis停顿。

10/10/202375版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第75页NeedleSynthesis参数介绍假如ConjugateRefinement完成了，则会插入一种厚度不大于NewThicknessValue新膜层，然后NeedleSynthesis会在入射介质背面或基底前面加入增加一种材料。假如优化函数没有改善Minimumimprovement所确定数值，则再增加新材料。MaximumNumberofNewNeedles：定义每次迭代时能够增加最大层数。当CompactInterval大于0时，每个CompactInterval都迭代，NeedleSynthesis会简化设计，去掉那些厚度不大于CompactThickness膜层。假如CompactInterval等于0，则不简化设计。它们一般都设置为1nm。10/10/202376版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第76页SynthesisMaterials参数列出插入新膜层所用材料。缺省值为设计中所有没有locked膜层所用材料，还能够增加或去年其他材料。10/10/202377版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第77页NeedleSynthesis过程10/10/202378版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第78页MATERIALSMANAGEMENT10/10/202379版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第79页材料管理介绍光学常数数据有：

折射率n,消光系数k,波长l等

。假如需要，这些值能够进行内插或外推。一次只能有一种活动材料库，但能够通过输入有关材料文献，使用多种库中材料。设置活动材料库办法为：Options>>General…中设置。要变化材料库，首选要关闭所有设计和材料，

然后在材料文献夹选项中选择。假如输入了一种新，但本应材料不存在，则会给出一种新建选项，它是一种空数据库，除了一种材料，空气和一种基底外。10/10/202380版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第80页在库中显示材料列表大部分窗口Tools菜单中都有Materials项.

材料排列次序能够通过Edit>>Sort来变化。10/10/202381版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第81页从其他库中输入材料首选用Tools>>

Materials激活

Materials窗口，

然后用Edit>>

Import命令

。选择所要材料库，并从中选用要输入材料，点import就能够。10/10/202382版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第82页显示材料数据材料表能够能够用File>>

OpenMaterial...

命令打开。另一种办法是在材料显示列表中(Tools>>Materials)双击材料名称，能够得到这个材料特性列表。此时，能够从Plot菜单中画出材料对波长和频率变化曲线。10/10/202383版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第83页手动输入用file>>new>>material新建材料时，对某些没有输入值，用线性插值办法计算。

但某些不平滑曲线，能够用InsertPoints，然后程序用三次样条插值计算进行平滑。10/10/202384版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第84页用insertpoints进行平滑用edit>>insertpoints，在整数波长之间插入其他点，使曲线平滑。10/10/202385版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第85页波长单位变换在编辑新材料时，能够用Edit>>WavelengthScale...

命令定义不一样波长单位(缺省为nm).10/10/202386版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第86页组合密度PackingDensity...薄膜折射率不但取决于材料，还取决于组合密度。虽然是同一材料，假如组合密度不一样，其折射率也不相同。当组合密度变化时，通过它能够让存放材料折射率也变化。它能够在二个数据库中调整二个材料常数，以表达在不一样基底温度下材料沉积不一样。注意：一旦变化了，在用时候没有任何批示。因此，除非非常显著，材料与标准不一样样，不然不要用此命令。10/10/202387版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第87页热模型材料三个热参数。LinearExpansionCoefficient和dn/dT单位是固定。10/10/202388版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第88页删除材料首先选择Tools>>Materials然后选择Edit>>Delete只能删除最后一种材料。10/10/202389版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第89页OpticalConstantExtraction能够用变量包络技术(variant

envelopetechnique)，能够从反射率和透射率数据提取光学常数(Opticalconstants)。这种办法通过反射率和/或透过率最大和最小值，用插值计算最大和最小值之间数据，产生包络。假如精确地确定了极值位置，则能够给出光学常数色散信息。10/10/202390版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第90页OpticalConstantExtraction步聚File>>New>>Optical

Constant

打开窗口，输入对应数据(如下表)，里面包括最大和最小透过率或反射率(没有对背面面进行修正，要求背面面是未镀膜)。10/10/202391版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第91页参数设置Type:用不一样符号表达1/4或1/2波长：T-QW,T-HW,R-QW，R-HW.基底成果能够输入或通过已经存在材料文献取得。这些也能够是未镀膜透过率，标识为T-SUB,或基底折射率，标识为

N-SUB.DataSource

：Measured和Envelope。Measured对应实际最大或最小值。

Envelope成果是为了帮助程序画1/4或1/4波长包络图。是由三次样条插值函数插值得到。10/10/202392版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第92页数据输入菜单项Transmittance或Reflectance打开一种数据显示窗口。能够用file>>import输入透射率或反射率曲线。用鼠标拖动一种矩形区域来定义搜索范围，放开鼠标得到峰值位置。就在窗口左上角显示波长和峰值值。需要指定是1/4(cross)或1/2(plus)波长，

是测量点还是包络点

。10/10/202393版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第93页数据输入用

AddPoint按钮会将数据转换到data窗口中，

用来计算包络。

则1/4波长点，用“

”标识，1/2波长点用“+”标识。用

<Alt>+<Shift><LeftMouseButton>建立不一样包络点。

然后用

AddPoint输入为包络点。

10/10/202394版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第94页Calculate>>

Parameters参数ApproximateIndex：由于有多重解，因此需要指定近似折射率。R/TTolerance

：为百分比。假如得不到正确解，决定程序如何处理。首先会在公差范围内调整成果，假如得到了一具好成果，会标识“A”，假如还得不到好成果，会标识“B”。10/10/202395版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第95页Calculate>>

Parameters参数FilmModel：

薄膜模型是

inhomogeneous和不吸取，还是均匀和吸取。

IncidentAngle：入射到薄膜上角度

。最大为45度。.Polarization：倾斜测量偏振光分量(S,P)。在整个测量过程中，必须用同一种偏振分量。MatchExtrema：

在常规操作中，不是总能精确适合极值波长，SubstrateMaterial：选择基底材料

。UseSpectrum：选择了时，用透过率数据确定薄膜光学常数，假如没选，会用SubstrateMaterial信息确定其光学常数。10/10/202396版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第96页光学常数提取过程点Extractn&k就会进行计算。10/10/202397版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第97页计算成果10/10/202398版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第98页计算光学常数成果10/10/202399版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第99页光学常数曲线10/10/2023100版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第100页从计算成果中创建材料能够用CreateMaterial菜单选项建立材料。有三个选项：FromInnern,FromOutern,FromMeann.假如模型是均匀，则这些成果是同样，假如是非均匀，则这些模型显著不同样。假如检查反射和/或透射曲线，会发觉极值点不是很匹配，此时能够选择迫使成果与极点位置匹配，而不是选择Matchextrema。此选项先计算光学常数和膜层厚度，然后迫使光学常数与极值点匹配。10/10/2023101版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第101页得到基底光学常数能够用Options>>Substraten,k&T，从透射率和反射率中得到光学常数。材料和基底数据能够从测量数据中得到。一旦选择了Substraten,k&T命令，

就会显示ExtractSubstrateCharacteristics窗口。10/10/2023102版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第102页数据文献单位选择Unity：测量值在0~1之间.选择Percent：

测量值在0~100之间.10/10/2023103版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第103页数据处理一旦输入了scalefactor，选择Next就会到数据处理页面。在这里允许对测量数据进行平滑，及其他处理选项。10/10/2023104版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第104页SubstrateOpticalConstants

需要在这里指定基底厚度值。用CreateMaterial和CreateSubstrate按钮创建新材料文献和新基底文献。它们能够存在目前材料数据库中。10/10/2023105版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第105页MULTICOAT-Stack10/10/2023106版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第106页MULTICOAT-Stack它由一系列介质组成，从IncidentMedium介质开始，以EmergentMedium结束。下列图就是一种多层膜例子。10/10/2023107版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第107页更复杂stack例子10/10/2023108版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第108页参数定义Mediumtype:Incident,Emergent,parallel,wedged.假定介质界面或边界足够平行(所有反射光束仍然在系统孔径内)，或是楔形(反射光束到系统孔径之外)。Mediummaterial:由其光学常数和内透射率确定。Mediumsubstrate:和材料同样选择。Coatingfile:薄膜文献名。coatingdirection：forward,reversed,定义每一层薄膜。CoatingLocked:只有没有锁定膜层才参与优化和综合。10/10/2023109版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第109页StackRefinementandSynthesis在stack中，假如同一种薄膜放在不一样面上，则优化时，会只调整其中一种，然后再应用到所有面上去。假如想优化时候分别处理所有薄膜，但又想让它们起始点相同，则应当将它拷贝成新文献，放在不一样面上。10/10/2023110版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第110页创建新stack办法File>>New>>Stack调出Stack窗口，起始stack由入射介质空气、一块平行玻璃板和出身介射空气组成，没有薄膜。10/10/2023111版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第111页1.建立一种新设计下面以计算二边都有抗反射膜平行玻璃板特性为例说明如何建立stack。首先，要建立一种抗反射膜。能够用file>>New建立一种新抗反射膜。然后存为Arcoat.dds10/10/2023112版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第112页建立stack只需要加入二个薄膜。在stack窗口上第二栏和第三栏上CoatingFile栏双击，选择

文献

ARcoat.DDS.假如要删除膜层，选择膜层，然后按<del>就能够了。

Directions会自动给出，假如不对，能够更改。

10/10/2023113版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第113页Performance设置能够从

Parameters>>Performance中设置绘图条件。10/10/2023114版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第114页建立更复杂stack由二块玻璃基底组成。一块二边镀有抗反射膜，另一块只有一边镀膜。入射和出射介质都是空气，在基底二边都是空气，基底面是平行，但它们之间空气间隔是楔形。内透过率为100%。新stack如下：10/10/2023115版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第115页反射率和透过率曲线10/10/2023116版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第116页ANALYSIS和DESIGN工具10/10/2023117版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第117页分析工具先打开设计窗口，Tools>>Analysis打开分析工具。有5个选项：Admittance...,ReflectionCoefficient...,ElectricField...,AbsorptanceRate...,TotalAbsorptance....。10/10/2023118版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第118页导纳图Admittance…设置10/10/2023119版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第119页导纳图10/10/2023120版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第120页ReflectionCoefficient...10/10/2023121版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第121页电场ElectricField参数设置10/10/2023122版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第122页电场分布曲线10/10/2023123版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第123页AbsorptanceRate…参数设置计算薄膜

AbsorptanceRate或potentialabsorptancerate。10/10/2023124版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第124页AbsorptanceRate曲线10/10/2023125版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第125页TotalAbsorptance…设置计算整个薄膜中各层吸取率

。10/10/2023126版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第126页TotalAbsorptance…曲线10/10/2023127版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第127页设计工具有4个选项：EdgeFilter...,Herpin...,InducedTransmissionFilterDesign...SymmetricalPeriods….能够辅助建立一种特定类型薄膜。10/10/2023128版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第128页EdgeFilter...EdgefiltersEdgeFilter...是用来自动设计这样一种周期性构造工具。是基于1/4波长stacks。

用于构建平板偏振器。一般能够考虑成如(0.5HL0.5H)或(0.5LH0.5L)对称周期性构造。[对称周期性构造参见

Herpin...]尚有更复杂对称二种材料周期性构造(aAbBcAbBaA)，其中A和B高和低折射率材料(或者反过来)

。能够通过调整a,b,c来消除偏振，

尽管对很多层对称周期性构造也能够调整，但最佳是用5层周期。10/10/2023129版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第129页EdgeFilter参数设置10/10/2023130版权所有2023讯技光电科技（上海）有限公司第130页EdgeFilter设计只要选择好了，然后点MakeEdgeFilter就会出现一种设计成果，同步在公式对话框中会显示其公式。下面是一种短波通滤波器(边缘510nm)。10/10/2023131版权