精密加工中的测量技术(精密加工)课件

2023/8/102023/8/105.1精密测量技术概述5.2测量基准5.3直线度、平面度和垂直度的测量5.4角度和圆分度的测量5.5圆度和回转精度的测量5.6激光测量5.7自由曲面的测量第5章精密加工中的测量技术2023/8/25.1精密测量技术概述第5章精密加工中的测量12023/8/10第1节精密测量技术概述

精密测量技术是机械工业发展的基础和先决条件之一。由于有了千分尺类量具，使加工精度达到了0.01mm，有了测微比较仪，使加工精度达到了1µm左右；有了圆度仪等精密测量一起，使加工精度达到了0.1µm；有了激光干涉仪，使加工精度达到了0.01µm。目前在基础工业的某些领域，精密测量已成为不可分割的重要组成部分。在电子工业部门，精密测量技术也被提到从未有过的高度。例如制造超大规模集成电路，目前半导体工艺的典型线宽为0.25µm，正向0.18µm过渡，2009年的预测线宽是0.07µm。此外，在高纯度单晶硅的晶格参数测量中，以及对生物细胞、空气污染微粒、石油纤维、纳米材料等基础研究中，无不需要精密测量技术。一、精密测量的意义2023/8/2第1节精密测量技术概述精密测量技术是22023/8/10第1节精密测量技术概述一、精密测量的发展1.极高精度测量方法的测量仪器的发展（用双频激光测量系统和X射线干涉仪测量长度能达到0.1nm，用扫描隧道显微镜和原子力显微镜测量表面微观形貌可达0.1nm，精密测角仪可达0.01"）2.精密在线自动测量技术的发展（新的三坐标测量机都有精密数控系统，可自动完成复杂零件的全部测量）3.测量数据的自动采集处理技术的发展（很多测量仪器都具备数据处理软件，可将复杂的测量结果数据处理后显示并打印出来）2023/8/2第1节精密测量技术概述一、精密测量的发展132023/8/10第1节精密测量技术概述二、精密测量的环境条件1.恒温条件2.隔振条件3.气压、自重、运动加速度和其他环境条件（100mm长的刚棒垂直放置，由于自重会使材料产生压缩变形，长度约缩短0.002µm）三、量具和量仪材料的选择1.根据材料热膨胀系数选择2.根据材料的稳定性和耐磨性选择（过去量具常用淬火轴承钢GCr15，有较高的硬度和耐磨性，但该材料的淬火马氏体中有残留奥氏体，长期使用会因残生相变使体积和尺寸变化，每年每100mm约为0.02µm，尺寸稳定性差；近年很多量具改用氮化钢（38CrMoAl）制造）2023/8/2第1节精密测量技术概述二、精密测量的环境条42023/8/10一、长度基准和米定义

米制是18世纪法国最早提出的，“以经过巴黎的地球子午线自北极至赤道这一段弧长的一千万分之一为一米”。1880年国际计量局又制作了30多根铂铱合金的高精度米尺——国际米原器。

1960年10月14日在巴黎通过用氦Kr86在真空中的波长作为长度基准：1m＝1650763.73*Kr86的波长。

1983年11月第17届国际计量大会上，批准了米的最新定义。新定义的内容：米是光在真空中在1/299792458s的时间间隔内所行走的路程长度。第2节测量基准2023/8/2一、长度基准和米定义米制是18世纪法国52023/8/10第2节长度基准二、量块的检定

量块是由两个平行的测量面之间的距离来确定其工作长度的高精度量具，其长度为计量器具的长度标准。按JJG2056－1990《长度计量器具（量块部分）检定系统》的规定，量块分为00、0、K、1、2、3六级。我国对各类量块的检定按JJG146-1994进行。为了使用上的需要常将各级精度的量块进行检定，得到量块的实际长度，将检定量块长度实际值的测量极限误差作为误差处理。2023/8/2第2节长度基准二、量块的检定量块是由62023/8/10第2节长度尺寸测量三、工厂自己专用的长度基准

美国穆尔公司经过实践和反复研究，采用圆柱端面规作为长度基准。外圆柱面可磨到很高圆柱度，水平放在V形支架内，可旋转以校验端面和外圆柱面的垂直度，容易达到两端面的高度平行。既圆柱端面规后又制成步距规，英制的步距规每一步距的增量为1in（全长18和16in），公制的步距规每一步距的增量为30mm（全长480mm）。全长步距的误差不超过0.05µm。2023/8/2第2节长度尺寸测量三、工厂自己专用的长度基72023/8/10四、平台---测量基准1.平台的选择1）平台精度等级测量平台采用00或0级，生产中使用的平台的测量表面多数为矩形，长宽比约为4：3，高精度的平台采用正方形台面，平面度达到0.6µm。2）平台结构过去采用平板下加加强筋，有三个支承点架在底架上，刚度不高。现在多数采用箱式结构，扁平的箱中有加强筋支承，刚度高。3）测量平台的材料铸铁：耐磨性，短期稳定性，受潮生锈但不变形，碰撞后表面会出毛刺；花岗岩：耐磨性，长期稳定性，受潮变形但不生锈，碰撞后表面可能出小坑。第2节长度尺寸测量2023/8/2四、平台---测量基准1.平台的选择第2节82023/8/102.测量平台的支承3.测量平台的本身的精度检验

常用三块平台轮流对研，找出凸起进行刮研，直到接触斑点分布均匀。对高精度测量平台用电子水平仪、自准直光管或双频激光干涉仪，测出平台的水平倾角，经过数据处理，可得到平台各处不平面度误差的具体数值。第2节长度尺寸测量大型测量平台常采用多点支承法。如图，有9个受力支承点，实际上仍是采用三点支承一平面的原理。采用该种方法各支撑点间距离缩小，平台受力变形减小，测量精度提高。2023/8/22.测量平台的支承3.测量平台的本身的精度检92023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量1.线差法线差法的实质是：用模拟法建立理想直线，然后把被测实际线上各被测点与理想直线上相应的点相比较，以确定实际线各点的偏差值，最后通过数据处理求出直线度误差值。1）干涉法对于小尺寸精密表面的直线度误差。把平晶(光学玻璃或石英玻璃)置于被测表面上，在单色光的照射下，两者之间形成等厚干涉条纹，然后读出条纹弯曲度a及相邻两条纹的间距b值，被测表面的直线度误差为。条纹向外弯，表面是凸的，反之，则表面是凹的。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线102023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量1）干涉法用平晶测平尺的直线度

对于较长的研磨表面，如研磨平尺，可采用圆形平晶进行分段测量，即所谓3点连环干涉法测量。若被测平尺长度为200mm，则可选用Φ100mm的平晶，将平尺分成4段进行测量，每次测量以两端点连线为准，测出中间的偏差。测完一次，平晶向前移动50mm（等于平晶的半径）。然后通过数据处理，得出平尺的直线度误差。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量1）干涉112023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量1）干涉法举例测量数据数据处理2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线122023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量2）跨步仪法原理：以两支承点的连线作为理想直线测量第三点相对于此连线的偏差。测量前，把此装置放在高精度平尺或平板上，将指示表的示值调整为零，然后将测量装置放置在被测面上进行测量，每次移动一个l距离，读取一个读数。移动时，前次的测点位置，就是后次测量的前支承点位置，如此依次逐段测完全长，最后数据处理，即可求出被测件的直线度误差。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线132023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量3）光轴法

测微准直望远镜或自准直仪发出的光线为理想直线，测出被测直线相对于该理想直线的偏差值，经数据处理求出被测线的直线度误差。测量步骤：

1）将被测线两端点连线调整到与光轴测量基线大致平行；

2）若被测线为平面线，则xi代表被测线长度方向的坐标值，yi为被测线相对于测量基线的偏差值。移动瞄准靶2，同时记录各点示值（yi）。再经数据处理求出直线度误差值。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线142023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量4）激光准直仪法氦－氖激光器发出的激光的中心连线构成激光准直测量的一条基准直线。当光电接收靶5中心与激光束中心重合时，指示表指示为零，若靶子中心偏离激光束中心，指示表指示出数值即偏差值。测量时首先将仪器与靶子调整好，然后将靶子沿被测表面测量方向移动，便能得到直线度误差的数值。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线152023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线度的测量5）双频激光准直仪法当反射镜7的顶点在光轴上时，频率为f1的偏振光在R1点反射，频率为f2的偏振光在R2点反射，则汇合光束的两个频率的光程差为零。当反射镜7的位置偏离光轴时，则频率为f1的偏振光和频率为f2的偏振光的汇合光束的光程差不为零－测出E值，最后获得被测表面相对激光光轴的偏差。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量一、直线162023/8/10双频激光干涉仪原理2023/8/2双频激光干涉仪原理172023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量二、平面度的测量1）干涉法对于精密小平面的平面度误差可用干涉法测量。该法是以平晶表面为基准平面，使它与被测平面接触，在单色平行光照射下，形成等厚干涉。调整平晶与被测表面间的相对位置，使之产生较明显的干涉条纹，然后根据干涉条纹来评定平面度误差。当条纹数不足一条时，则根据条纹弯曲程度来评定平面度误差。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量二、平面182023/8/10第3节直线度、平面度和垂直度的测量二、平面度的测量2）水平面法用水平面法测量平面度误差时，基准平面建立在通过被测表面上某角点，并与水平面平行的平面上，然后用水平仪按节距法测出跨距前后两点的高度差，将水平仪在各段上的读数值累加，可得各点对起始点得高度差，通过基面旋转可求出被测平面的平面度误差通过转动或增加反射镜改变激光光路，综合直线度误差结果，可得到平面度误差。2023/8/2第3节直线度、平面度和垂直度的测量二、平面192023/8/10三、垂直度的测量1）在第一位置圆柱90度角尺和L形90度角尺的顶端有光隙δ1，将L形90度角尺翻转（第二位置），如光隙δ1＝δ2，则圆柱90度角尺角度准确，误差全在L形90度角尺。2）如在第二检测位置，光隙变到90度角尺根部且δ1＝δ2，则角度误差全在圆柱90度角尺。3）如果δ1≠

δ2，则圆柱90度角尺和L形90度角尺都有误差。第3节直线度、平面度和垂直度的测量2023/8/2三、垂直度的测量1）在第一位置圆柱90度角尺202023/8/10三、垂直度的测量90度角尺第一位置测得导轨的不垂直误差－1.25μm，90度角尺翻转后的不垂直误差＋0.25μm。不垂直误差为Δ＝0.5*[（-1.25）-（＋0.25）]＝-0.75μm。第3节直线度、平面度和垂直度的测量2023/8/2三、垂直度的测量90度角尺第一位置测得导轨的212023/8/10一、角度和圆锥角的测量第4节角度和圆分度的测量1.比较法用角度样板测角度用角度极限样板检查角度2023/8/2一、角度和圆锥角的测量第4节角度和圆分度的222023/8/10第4节角度和圆分度的测量2.平台法1）两内表面的夹角和内锥角的测量V形块对称V形块不对称2023/8/2第4节角度和圆分度的测量2.平台法1）两内232023/8/10第4节角度和圆分度的测量2.平台法2）两外表面的夹角和外锥角的测量（用两直径相等的圆柱和量块测量）2023/8/2第4节角度和圆分度的测量2.平台法2）两外242023/8/10第4节角度和圆分度的测量2.平台法2）两外表面的夹角和外锥角的测量（用正弦尺测量）正弦尺由主体和两个圆柱等组成，两端的圆柱中心线之间的距离L，有100及200毫米两种规格。按工作台面的宽窄，正弦尺可分为宽面式与窄面式两种。在宽面正弦尺的台面上有一系列的螺纹孔，用来夹紧各种形状的工件。正弦工作台测角不易获得很高精度。（L偏差；两圆柱圆柱度；测量平台的平面度）

2023/8/2第4节角度和圆分度的测量2.平台法2）两外252023/8/10第4节角度和圆分度的测量3.用带圆周分度装置的仪器测量光学分度头测量角度首先将分度头主体3转过90度，使分度头主轴与工作台面垂直。在主轴锥孔中装上带有尾锥的小平台2。在分度头基座上有支座5，其上装有测量时定位用的分度值小于1”的自准仪4。测量时先转动分度头主轴，放在小平台上的被测件1同时回转，使被测件的一个边对准自准直仪，在分度头上读取度数ψ1；继续转动分度头主轴，至被测件另一个边与自准直仪对准，在分度头上读取第二个度数ψ2。两次读数之差为Φ，则被测角度α＝1800－Φ。2023/8/2第4节角度和圆分度的测量3.用带圆周分度装262023/8/10

把圆周进行等分(例如n等分)，从而得到所需要的角度，称为圆分度。实现圆分度的器件为圆分度器件，例如度盘、圆光栅盘、圆感应同步器、多齿分度盘等均可做为标准圆分度器件。各种圆分度器件都具有圆周封闭的特点，对它们进行圆分度时产生的不均匀性就是圆分度误差。二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量2023/8/2把圆周进行等分(例如n等分)，从272023/8/10二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量

多齿分度盘是纯机械式的分度机构，它能达到±0.1”的分度精度，同时具有自动定心、操作简单、使用寿命长等优点。多齿分度盘由两个直径、齿数（360、720、1440）和齿形均相同的上、下端齿组成，当上、下两齿盘的齿被迫啮合时，便自动定心。它利用上、下齿盘强迫啮合时产生弹性变形实现平均效应，因而可获得较高的分度精度。下齿盘固定不动，上齿盘抬起，转过需要的角度后降下，与下齿盘啮合，根据转过的齿数达到精确分度。1.精密多齿分度盘2023/8/2二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量282023/8/10二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量2.精密多齿分度盘的小角度分度器1440齿分度盘的小角度分度盘和1440齿分度盘主轴同轴，并和下齿盘连成一体，小角度分度盘可使1440齿分度盘的下齿盘旋转，最大旋转量为±0.25度。配合1440齿分度盘的读数，可测量0～360度内分辨率为0.1角秒的任意角度。2023/8/2二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量2292023/8/10二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量3.多齿分度盘的标定1）使用精度更高的测角仪器对多齿分度盘进行标定2）利用圆周360度封闭的原理，用两个多齿分度盘互检标定将多齿分度盘2转过A角，再将多齿分度盘1逆转名义相同的角X角，记下误差为X-A；依次记下分度盘2转同样名义值的BCD角的误差值分别为X-B，X-C，X-D；四组数据相加得：4X-(A+B+C+D)=前面记下的四组误差和，A+B+C+D=360，可算出X数值。2023/8/2二、圆分度的测量第4节角度和圆分度的测量3302023/8/10第5节圆度和回转精度的测量

圆形零件横截面的实际轮廓可看成是中心角θ的周期函数，它以2π为周期，因此可以用傅氏级数表示

由上式还可看出：圆形零件横截面的实际轮廓是由一半径为r0的圆和若干个不同次数谐波波形所迭加而成。其中常数项r0为平均圆半径，一次谐波表示偏心的影响，而反映表面粗糙度和表面波度的高次谐波也不属于圆度误差，所以圆度误差可用下式表示：一、圆度的测量方法和圆度误差的评定1圆度误差的几何特性2023/8/2第5节圆度和回转精度的测量圆形零件横截312023/8/10一、圆度的测量方法和圆度误差的评定第5节圆度和回转精度的测量2圆度误差的图形表示采用极坐标记录的圆度仪测的圆度误差曲线圆度仪测出的圆度偏差曲线只表示相位的偏差，不表示圆的直径。同样的圆度偏差，放大倍数不同，圆度偏差曲线图形状不同，放大倍数越大，曲线图越呈星形。2023/8/2一、圆度的测量方法和圆度误差的评定第5节圆322023/8/10一、圆度的测量方法和圆度误差的评定第5节圆度和回转精度的测量3圆度误差的评定最小外接圆法：适用于轴类，因为它工作时起作用的是外接圆。最大内接圆法：适用于孔类，因为它工作时起作用的是内接圆。最小包容区域法：得出的数值比上两个都小，零件最容易合格，但该方法计算复杂。最小二乘方圆法：数值比前两种方法小，比3法大，能反应被测轮廓的综合情况，容易实现电算。理论上比较合理。2023/8/2一、圆度的测量方法和圆度误差的评定第5节圆332023/8/10二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转精度的测量1.圆度仪的工作原理及类型--转轴式适用于测量大型工件，转轴式测量时，工件不动，传感器测头绕主轴轴线作旋转运动，测头在空间的运动轨迹形成一理想圆。工件实际轮廓与此理想圆连续进行比较，其半径变化由传感器测出，经电路处理后，由记录器描绘出被测实际轮廓的图形，或由计算机算出测量结果。TALYROND3、TALYROND73、HYQ-014A、DQR-1型圆度仪都属于该种结构。转轴式圆度仪测圆度效果好，不易测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度。2023/8/2二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转342023/8/10二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转精度的测量1.圆度仪的工作原理及类型--转台式转台式与转轴式相反，工件回转，而测头架不动。可测圆柱度、同轴度、平面度和垂直度、轴线直线度等。TALYCENTA、TALYROND300、JCS-042型圆度仪都属于该种结构。2023/8/2二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转352023/8/10二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转精度的测量2.影响圆度仪测量精度因素1）主轴回转误差主轴回转精度代表圆度仪的精度和圆度仪的水平。现在圆度仪的精度一般为0.05µm，高精度为0.025µm。2）工件轴线和主轴轴线偏心引起的误差3）工件轴线对主轴轴线倾斜引起的误差e-工件安装偏心；R-工件平均直径；

-被测点相位角-工件圆柱表面倾斜角；R-工件平均直径；2023/8/2二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转362023/8/10二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转精度的测量2.影响圆度仪测量精度因素4）测量头形状和测头半径变化引起的误差针形测头：测量误差小，测量结果中包含表面粗糙度影响，容易划伤工件表面。球形测头：可选用适当半径，测量中可消除表面粗糙度影响，减少工件表面划伤。斧形或圆柱形测头：可避免工件表面划伤和消除表面粗糙度影响，会使工件轴线倾斜造成的误差值加大。2023/8/2二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转372023/8/10二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转精度的测量2.影响圆度仪测量精度因素5）测量力的影响工件材料软，测头曲率半径小时测量力取小值。一般取0.005-0.2N。6）测量头偏位引起的误差测量头要对准工件中心。测头偏位角在10°内，测量误差在2%以内。测小件时尤其要注意。2023/8/2二、圆度仪及其测量精度分析第5节圆度和回转382023/8/10三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度的测量将高精度钢球卡在主轴的端部，尽量调整使其同心，然后用测量仪测出其径向跳动。测出的径向跳动量包含主轴的回转误差和钢球的圆度误差（圆度误差很小）。（适用于回转精度在0.5-1µm以下的精密主轴，钢球圆度在0.05-0.1µm）1用高精度钢球测主轴的回转精度2023/8/2三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度392023/8/10三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度的测量

建立如图所示的直角坐标系。主轴回转中心O1点的坐标为x(θ)和y(θ)。s(θ)为被测工件的轮廓形状误差。测微仪A、B、C的输出信号分别为A(θ)、B(θ)、C(θ)，O为三个传感器轴线的交点。则消去x(θ)和y(θ)得三点法误差分离基本方程为2用三点法误差分离原理测精密主轴的回转误差2023/8/2三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度402023/8/10三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度的测量测量时，若取采样点数为N(工件转一周检测读数点数)，则令并将离散化得最后求得任意时刻机床主轴回转运动误差取值对测量结果有影响2023/8/2三、主轴回转精度的测量第5节圆度和回转精度412023/8/10第6节激光测量激光测量可以测量长度、小角度、直线度、平面度、垂直度等，还可以测量速度、位移、振动、表面微观形貌等；激光测量可用于动态测量、在线测量，容易实现测量自动化；激光测量可用于大尺寸测量；激光测量可达到很高的测量精度。双频激光测量系统测长度时分辨率达到0.01µm，采用空气参数补偿测量精度可达0.1µm，采用特殊稳频的高精度激光测量系统，测量分辨率达0.2nm，测量精度2nm。2023/8/2第6节激光测量激光测量可以测量长度、小角度422023/8/101.单频激光测量第6节激光测量12氦氖激光管1-透镜组2-平行光束-反射镜4-分光镜5相位板6-反射棱镜7反射镜4-固定反射棱镜9相位板6是为了获得两路相位差为90°的干涉条纹信号的细分和辨向用。半圆光阑3是防止激光回到激光管，使激光管稳定。光程变化会引起干涉条纹亮暗变化，被测件每移动半个波长，干涉条纹亮暗变化一周期。干涉测量器10激光的频率、幅值和环境变化都影响单频激光测量精度。2023/8/21.单频激光测量第6节激光测量12氦氖激432023/8/102.双频激光测量第6节激光测量12受环境干扰的影响比单频激光测量精度小，测量精度高。氦氖激光管1输出的激光在轴向强磁场2的作用下分裂成频率为f1和f2，旋向相反的两束圆偏振光。经1/4波片3成为垂直和水平两个方向的线偏振光，经透镜组4成为平行光，经分光镜5分成两路，一路经干涉测量器7获得的拍频信号作为参考信号，另一路通过偏振分光镜6，垂直面的线偏振光f1经M1反射回来，水平面的线偏振光f2，透过偏振光分光镜6，经移动反射棱镜M2反射，两路反射在6汇合，经反射镜进入干涉器7。2023/8/22.双频激光测量第6节激光测量12受环境442023/8/103.激光测小角度原理第6节激光测量若测小角度双反射镜3只是平移没有倾斜，，最后读数没有显示；若测小角度双反射镜3倾斜角，，显示长度信号。则2023/8/23.激光测小角度原理第6节激光测量若测小452023/8/104.多路激光测量第6节激光测量如图两路激光测量y向位移，可监测工作台在水平面内的旋转误差。一路激光测量x向位移。1232023/8/24.多路激光测量第6节激光测量如图两路激462023/8/105.激光测量中的空气参数补偿第6节激光测量双频激光测量受环境影响虽比单频激光测量小，但对测量精度仍有较大的影响。环境条件包括温度、气压、湿度和气流变化。用激光光路真空封闭或管路封闭，采用空气参数补偿。空气参数补偿是在测量环境下用精度较高的测温传感器、压力传感器和湿度计测出具体的温度、压力和湿度，计算出它们对激光测量造成的误差值，在激光测量结果中给予修正（空气中的温度、气压等参数变化会引起空气折射率变化，引起测量误差

）。2023/8/25.激光测量中的空气参数补偿第6节激光测472023/8/106.提高激光测量精度第6节激光测量改进激光光路、电路和测量方法，减少测量误差；激光测量系统中采用稳频方法。如美国LODTM大型光学金刚石机床使用SP125氦氖激光器使用碘原子稳频器，使激光频率稳定性达到10-9。该激光测量系统的测量分辨率为0.625nm，测量精度为2nm。2023/8/26.提高激光测量精度第6节激光测量改进激482023/8/107.使用光纤的激光长度测量系统第6节激光测量激光测量系统中使用光纤传输激光，激光头可以随意放置，没有传输激光的固定封闭管路。双频激光不能用光纤，因为相互垂直的两个线偏振光经过光纤传输后已经不再垂直。2023/8/27.使用光纤的激光长度测量系统第6节激光492023/8/108.激光测量表面粗糙度和表面微观形貌第6节激光测量

由光源1发出的光线经聚光镜2、滤色片3、光阑4、及透镜5后成平行光线，射向半透半反的分光镜7后分成两束：一束光线透过补偿镜8、物镜9到平面反射镜10，被10反射又回到反光镜7，再由7经聚光镜11到反射镜16，由16进入目镜12；另一束光线向上通过物镜6，投射到被测零件表面，由被测表面反射回来，通过分光镜7、聚光镜11到反射镜16，由16反射也进入目镜12。这样，在目镜12的视场内可观察到这两束光线因光程差而形成的干涉带图形。干涉显微镜2023/8/28.激光测量表面粗糙度和表面微观形貌第6节502023/8/10

激光器发射的激光束经分光镜片分成两路，一路经固定参考镜反射，另一路经固定在测针臂上的移动反射镜反射，两路激光产生干涉，干涉条纹的相位和移动反射镜的位移成正比。接触式激光干涉测量形貌法具有较高分辨率和较大量程，但扫描速度较慢，被测表面容易划伤。8.激光测量表面粗糙度和表面微观形貌第6节激光测量12接触式激光干涉形貌测量2023/8/2激光器发射的激光束经分光镜片分成两路，一512023/8/10

激光器发射的激光束经分光镜片分成两路，一路照射到工件表面的固定参考点，另一路在被测表面作水平扫描，将随被测表面廓形高低而产生相位变化，两路激光产生干涉，干涉条纹的相位将随廓形高低成正比。非接触式激光干涉测量形貌法扫描速度快，被测表面不容易划伤，可实现自动化测量、无磨损、测量分辨率高、测量范围大。对被测表面清洁度要求高，对于反射性差和倾角大的表面将有较大失真。测出的表面轮廓图形是包含表面形貌和表面粗糙度的综合图形。8.激光测量表面粗糙度和表面微观形貌第6节激光测量非接触式激光干涉形貌测量122023/8/2激光器发射的激光束经分光镜片分成两路，一522023/8/10第7节自由曲面的测量自由曲面的测量都是使用坐标法，用精密形貌测量仪测出表面轮廓上各点的坐标尺寸，再将测量结果转化为