基板制作流程简介课件

基板製作流程簡介◎2L、4L基板NORMAL製程基板製作流程簡介◎2L、4L基板NORMAL製程1ContentsSubstrate主要流程簡介2L各站流程圖示與簡介4L以上的流程簡介2L、4LCross-Section比較ContentsSubstrate主要流程簡介2PBGA2LayerProcessFlow(Normal)烘烤薄蝕銅鑽孔鍍銅塞孔線路形成(曝光、顯影、蝕刻)AOI上綠漆鍍鎳、金成型O/STEST終檢包裝PBGA2LayerProcessFlow(Nor3烘烤消除基板應力，防止Warpage安定尺寸，減少板材漲縮功能:原料種類:MGC：BTHitachi：FR5NY：NP-180烘烤消除基板應力，防止Warpage功能:原料種類:MGC：4薄蝕銅功能：1.去除表面氧化物。2.減少面銅厚度，以利細線路形成。銅箔BT薄蝕銅功能：1.去除表面氧化物。銅箔BT5鑽孔功能：作為上下層導通之通路其他製程所需之定位孔、Tooling孔基板、上下疊合板疊合上Pin鑽孔下板鑽孔功能：作為上下層導通之通路基板、上下疊合板疊合上Pin6鑽孔作業流程圖

機械鑽孔原點復歸備鑽下載程式設定參數備板高壓水洗鑽孔超音波水洗烘乾下製程能量校正下載程式焦點校正(開機)雷射氣體交換(每48hr)雷射鑽孔高速折射鏡校正(開機)下製程雷射燒蝕設定參數鑽孔作業流程圖機械鑽孔原點復歸備鑽下載程式設定7機械鑽孔與雷射鑽孔之差異機械鑽孔雷射鑽孔成本少多精密度(孔徑大小)100um以上較精密(70~100um)可否鑽盲孔(build-up)否可機械鑽孔與雷射鑽孔之差異機械鑽孔雷射鑽孔成本少多精密度1008去毛邊(Deburr)刷磨水洗烘乾功能：去除鑽孔造成的burr，使銅面平整。去毛邊(Deburr)刷磨水洗烘乾功能：去除鑽孔造成的bur9鍍銅功能：在孔壁上鍍銅，藉以導通上下層通路。前處理去膠渣化學銅電鍍銅鍍銅功能：在孔壁上鍍銅，藉以導通上下層通路。前處理去膠渣化學10鍍銅高壓水洗超音波水洗前處理去膠渣化學銅電鍍銅水洗膨鬆劑槽(將孔內樹脂膨鬆軟化以利KMnO4咬蝕)水洗水洗KMnO4槽(將鑽孔產生的孔壁膠渣咬蝕除去)中和槽(將KMnO4槽反應產生之Mn7+，Mn4+還原成Mn2+∵Mn2+易溶於水)水洗清潔槽(清潔銅面及將孔壁改為正電荷以利帶負電Pd膠體吸附)水洗微蝕槽(去除銅面氧化)水洗預浸槽(吸附Pd膠體以為化學銅反應之催化劑)水洗速化槽(將Pd膠體上之Sn化合物去除使Pd暴露出來以便進行催化)化學銅(在孔壁沉積附著良好的Pd層以利其後電鍍)水洗水洗酸洗(清潔銅面及預浸)電鍍銅(在表面及孔內電鍍銅至所需厚度)水洗PdSn2+Sn2+Sn2+Sn2+Sn2+Sn2+Sn2+Sn2+Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Cl-Pd膠體鍍銅高壓水洗超音波水洗前處理去膠渣化學銅電鍍銅水洗膨鬆劑槽(11塞孔功能：原料種類：Epoxy：Totalthickness>0.26mm，orcore>0.15mm將孔填滿避免空氣殘留以防止過高溫錫鑪時產生爆米花效應。塞孔功能：原料種類：Epoxy：Totalthickne12刷磨B處理刷磨塞孔網印烘烤刷磨去除銅顆粒及整平銅面粗化銅面以利塞孔劑附著整平面銅減少塞孔劑附著於面銅塞孔使塞孔劑硬化完全將塞孔劑突出部分研磨乾淨刷磨B處理刷磨塞孔網印烘烤刷磨去除銅顆粒及整平銅面粗化銅面以13塞孔機械磨刷前處理烘乾水洗噴砂清洗化學前處理水洗清洗微蝕烘乾塞孔硬化刷磨清洗烘乾下製程塞孔機械磨刷前處理烘乾水洗噴砂清洗化學前處理水洗清洗微蝕烘乾14線路形成前處理壓乾膜水洗蝕刻水洗酸洗剝膜水洗曝光顯影黃光區上底片線路形成前處理壓乾膜水洗蝕刻水洗酸洗剝膜水洗曝光顯影黃光區上15線路形成(影像轉移作業)化學前處理機械磨刷前處理壓膜烘乾清洗顯影蝕刻及去膜下製程曝光清洗微蝕烘乾水洗烘乾水洗清洗磨刷線路形成(影像轉移作業)化學前處理機械磨刷前處理壓膜烘乾清16壓乾膜、上底片、曝光顯影CopperBT乾膜底片UVCopperBT乾膜壓乾膜、上底片、曝光顯影CopperBT乾膜底片UVCopp17蝕刻剝膜CopperBTCopperBT乾膜蝕刻剝膜CopperBTCopperBT乾膜18AOI自動光學檢測使用光學原理對照蝕刻後之線路是否有短路(short)、斷路(open)、線路缺口(neck)、線路突出(protrusion)。AOI自動光學檢測使用光學原理對照蝕刻後之線路是否有19上綠漆曝光顯影、蝕刻(形成圖形，鍍Ni、Au部分開窗)Post-cureuv-cure(強化綠漆性質，使分子鍵結更完全)前處理網印Pre-cure(粗化銅面，增加附著性)(綠漆塗佈)(綠漆局部硬化)壓膜上綠漆曝光顯影、蝕刻(形成圖形，鍍Ni、Au部分開窗)Pos20有塞孔製程綠漆CopperBT綠漆CopperBT無塞孔製程若板材太厚，綠漆不易填滿。殘留空氣因烘烤產生爆米花效應，破壞材料結構。綠漆網印Epoxy有塞孔製程綠漆CopperBT綠漆CopperBT無塞孔製程21綠漆CopperBT綠漆曝光、顯影、蝕刻綠漆CopperBT綠漆曝光、顯影、蝕刻22金鎳鍍鎳、金綠漆CopperBT功能：保護銅層，防止銅層氧化。鎳為金與銅結合之介質。3.為打金線用之基地。金鎳鍍鎳、金綠漆CopperBT功能：保護銅層，防止銅層氧化23鍍Ni/Au電鍍Ni/Au

鍍金後清洗清潔槽(除表面油脂及異物)水洗微蝕槽(清潔銅面)水洗酸洗(清潔銅面及預浸酸)鍍Ni槽(電鍍Ni至所需厚度)水洗水洗酸洗水洗預鍍金槽(鍍上一層薄金作為後鍍金之介層)水洗鍍Au槽(電鍍Au至所需厚度)水洗水洗烘乾鍍Ni/Au電鍍Ni/Au鍍金後清洗清潔槽(除表面油脂及異24Strip成型上pin上板CNC成型下板成型後清洗(將固定板材的pin安置於機台上)(依程式切削出產品外形)(清洗切削產生的粉屑)功能：由銑刀切割出strip所需之尺寸及slothole。Strip成型上pin上板CNC成型下板成型後清洗(將固定板25Strip成型作業流程圖

原點復歸備成型冶具備銑刀下載程式設定參數試切品質確認切Strip水洗&烘乾下製程Strip成型作業流程圖原點復歸備成型冶具備銑刀下載程式設26O/STEST功能：無法電測之基板:Ⅰ、TFBGA之有電鍍線基板Ⅱ、0.21以下之薄板(因測試之深針會將太薄的基板穿破)經由OPEN/SHORT測試，得知基板finger區與植球區之電性關係，是否符合設計之需求。O/STEST功能：無法電測之基板:Ⅰ、TFBG27終檢、包裝外觀檢查出貨檢驗最終清洗乾燥真空包裝出貨(檢查金表面缺點金凸，金凹，金未著，金污染及綠漆表面等等…)終檢、包裝外觀檢查出貨檢驗最終清洗乾燥真空包裝出貨(檢查金表28PBGA2＆4LayerProcessFlow(Normal)烘烤線路形成(曝光、顯影、蝕刻)AOI壓合薄蝕銅鑽孔鍍銅塞孔線路形成(曝光、顯影、蝕刻)AOI上綠漆鍍鎳、金成型O/STEST終檢包裝4L2L鑽孔PBGA2＆4LayerProcessFlow(294L以上之process鑽孔(作為疊合用之定位孔)曝光蝕刻上底片黃光區顯影(內部線路形成-同2L製程)(續下頁)4L以上之process鑽孔(作為疊合用之定位孔)曝光蝕刻上30黑化or棕化預疊板壓合鑽孔裁板(粗化銅面及改變銅結構增加