传感器与检测技术课件第二章-光栅

传感器与检测技术课件第二章-光栅第1页，课件共43页，创作于2023年2月

长光栅圆光栅第2页，课件共43页，创作于2023年2月1.长光栅位移传感器的工作原理什么是光栅？在镀膜玻璃上均匀刻制许多有明暗相间、等间距分布的细小条纹（又称为刻线），这就是光栅。第3页，课件共43页，创作于2023年2月a为栅线的宽度（不透光），b为栅线间宽（透光），a+b=W称为光栅的栅距（也称光栅常数）。通常a=b=W/2，也可刻成a∶b=1.1∶0.9。目前常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250条线条。1.长光栅位移传感器的工作原理第4页，课件共43页，创作于2023年2月运动固定1.长光栅位移传感器的工作原理第5页，课件共43页，创作于2023年2月光栅位移传感器主要由标尺光栅、指示光栅、光路系统和光电元件等组成。1.长光栅位移传感器的工作原理第6页，课件共43页，创作于2023年2月光栅数字传感器是干什么的？主要用于线位移和角位移的测量。1.长光栅位移传感器的工作原理第7页，课件共43页，创作于2023年2月1.长光栅位移传感器的工作原理当指示光栅和标尺光栅的线纹相交一个微小的夹角时由于光的干涉效应，两块光栅的刻线相交处，光会从缝隙透过，形成亮带（如图a-a线），而在一块光栅的刻线与另一块光栅的缝隙相交处形成暗带（b-b），这种亮带和暗带形成明暗相间的条纹，这些条纹称为莫尔条纹。条纹方向与刻线方向近似垂直。第8页，课件共43页，创作于2023年2月若光栅栅距为W，两个相邻莫尔条纹的间距为BH（即莫尔条纹中两条暗纹或两条亮纹之间的距离）则有莫尔条纹这里θ是弧度，如果夹角为0.10，则θ=0.1/180*π,则BH=573W,相当于把栅距放大了573倍。第9页，课件共43页，创作于2023年2月运动方向：当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。因此根据莫尔条纹移动方向就可以对光栅1的运动进行辨向。莫尔条纹的特点第10页，课件共43页，创作于2023年2月莫尔条纹的位移与光栅的移动成比例：光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH；莫尔条纹的特点第11页，课件共43页，创作于2023年2月莫尔条纹具有位移放大作用：莫尔条纹的间距B与两光栅条纹夹角之间关系为BH=W/θ,θ越小，则BH越大。这相当于把栅距W放大了1/θ倍。如对于25线/mm长光栅而言，W=0.04mm,若θ=0.016rad，则BH=2.5mm(这样，可把肉眼看不见的光栅位移变成为清晰可见的莫尔条纹移动，可以用测量条纹的移动来检测光栅的位移。可以实现高灵敏的位移测量)莫尔条纹的特点第12页，课件共43页，创作于2023年2月误差的平均效应莫尔条纹由光栅的大量刻线形成，对线纹的刻划误差有平均抵消作用，能在很大程度上消除短周期误差的影响。例W=0.02mm,接收元件尺寸10×10mm2,在10mm范围内有500条刻线参与工作，某几条刻线误差对莫尔条纹位置和形状基本无影响。莫尔条纹的特点第13页，课件共43页，创作于2023年2月按正弦规律变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。通过光电元件，可将莫尔条纹移动时光强的变化转换为近似正弦变化的电信号，如图所示。其电压为：莫尔条纹的特点当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹的光强度随条纹移动近似第14页，课件共43页，创作于2023年2月莫尔条纹的特点第15页，课件共43页，创作于2023年2月

当两个光栅沿刻线垂直方向作相对移动时，莫尔条纹则沿光栅刻线方向移动（两者的运动方向相互垂直）。光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH，通过测量莫尔条纹移过的数目，即可得出光栅的位移量。光栅运动方向改变，莫尔条纹的运动方向也作相应改变。查看莫尔条纹的上下移动方向，即可确定主光栅左右移动方向.

莫尔条纹的光强度随条纹移动近似按正弦规律变化。光栅移动一个栅距W，光强变化一个周期。因此可根据莫尔条纹移动的条纹数和方向，测出光栅移动的距离和方向。光栅传感器就是根据这一原理，实现对位移的检测。1.长光栅位移传感器的工作原理第16页，课件共43页，创作于2023年2月2.长光栅位移传感器根据不同的设计要求，光栅可以制成透射光栅和反射光栅。透射光栅的栅线刻制在透明材料上，要求较高时，可以采用光学玻璃；而指示光栅最好采用光学玻璃。反射光栅的栅线刻制在具有反射率很高的金属或镀以金属膜的玻璃上。第17页，课件共43页，创作于2023年2月由于采用不同形式的光栅，光学系统也各不相同，常采用的光学系统有：(1)透射式光路(2)反射式光路3.光学系统第18页，课件共43页，创作于2023年2月（1）透射式光路光源5发出的光线经准直透镜4变成平行光，入射到指示光栅3上，经过指示光栅3和标尺光栅2，再透射到光敏元件1上。一般标尺光栅固定不动，而光源、指示光栅和光敏元件固定在被测位移体上，莫尔条纹的移动信号被光敏元件接收。每当亮带通过光敏元件时，有一个相应的电信号输出。第19页，课件共43页，创作于2023年2月透射式光栅第20页，课件共43页，创作于2023年2月（2）反射式光路光源1发出的光线经聚光镜2及场镜4后以平行光束射向指示光栅5上，再经标尺光栅6反射后形成莫尔条纹，通过反射镜3和物镜系统7把莫尔条纹的信号送入光敏元件8上.当指示光栅与标尺光栅有相对位移时，光敏元件可接收到移动的莫尔条纹信号。第21页，课件共43页，创作于2023年2月反射式光栅第22页，课件共43页，创作于2023年2月长光栅式位移传感器的特点长光栅位移传感器的测长精度可达0.5～3m(3000mm范围内)，分辨力可达0.1m,可进行无接触测量第23页，课件共43页，创作于2023年2月用两块刻线数目相同，切线圆半径分别为r1、r2的切向圆光栅同心放置，所产生的环形莫尔条纹如图所示其条纹间距为4.圆光栅第24页，课件共43页，创作于2023年2月环形莫尔条纹播放动画播放中……单击准备演示第25页，课件共43页，创作于2023年2月用两块刻线数目相同的径向圆光栅偏心放置，偏心量为e，这时形成不同曲率半径的圆弧形莫尔条纹如图所示4.圆光栅其条纹间距为动光栅固定在转轴上，因此，可将轴旋转的角度量变换成莫尔条纹信号。通过光电转换元件，将莫尔条纹的变化转换成近似于正弦波形的电信号。测角精度可达0.15”，分辨力可达0.1”，甚至更高。第26页，课件共43页，创作于2023年2月播放中……圆弧莫尔条纹单击准备演示播放动画第27页，课件共43页，创作于2023年2月由前面分析，光栅每移动一个栅距W，莫尔条纹移动一个条纹间距BH，光电元件输出就变化一个周期2π，经信号转换电路输出一个脉冲，若按此进行计数，则它的分辨力只有一个光栅栅距W.为了能够分辨比W更小的位移量，就要提高分辨力，一种方法是可以采用增加刻划密度的方法来减少栅距，但这种方法受到制造工艺或成本的限制，如倘若要读出位移为0.1m，势必要求每毫米刻线1万条，这是目前工艺水平无法实现的。5.细分技术第28页，课件共43页，创作于2023年2月另一种方法是采用栅距细分技术，在一个栅距即一个莫尔条纹信号变化周期内,发出n脉冲,每个脉冲代表原来栅距的1/n。由于细分后计数脉冲频率提高了n倍,因此也称之为n倍频。细分后可以在不增加刻线数的情况下较大地提高光栅的分辨力。——常用的细分方法有四倍频细分法、十六倍频细分法、计算机细分法等。5.细分技术第29页，课件共43页，创作于2023年2月四倍频细分法：在一个莫尔条纹宽度上并列放置四个光电元件，如右下图(a)所示，得到相位分别相差π/2四个正弦周期信号。用适当电路处理这些信号，使其合并得到如右下图所示的脉冲信号。每个脉冲分别和四个周期信号的零点相对应，则电脉冲的周期反应了1/4个莫尔条纹宽度。用计数器对这一列脉冲信号计数，就可以读到1/4个莫尔条纹宽度的位移量，这将是光栅固有分辨率的四倍。此种方法被称为四倍频细分法。5.细分技术第30页，课件共43页，创作于2023年2月光栅传感器的应用长度计第31页，课件共43页，创作于2023年2月长度计光栅传感器的应用第32页，课件共43页，创作于2023年2月长度计光栅传感器的应用计量和生产控制第33页，课件共43页，创作于2023年2月长度计光栅传感器的应用位置测量第34页，课件共43页，创作于2023年2月数控机床位置控制框图光栅传感器的应用第35页，课件共43页，创作于2023年2月课堂练习第36页，课件共43页，创作于2023年2月1、在下述位移传感器中，适宜于测量大位移的传感器是A、电阻式传感器B、电感式传感器C、压电式传感器D、光栅式传感器第37页，课件共43页，创作于2023年2月2、若光栅式位移传感器的光栅栅距为0.04mm,栅线的夹角为

1.80，则相邻莫尔条纹的间距为（单一）A、0.022mmB、0.07mmC、1.27mmD、3.99mm第38页，课件共43页，创作于2023年2月3、四倍细分式光栅式位移传感检测系统，当用4个光电元件接收莫尔条纹的移动信号时，分辨力为0.004/mm脉冲，则光栅的栅距为（）用四倍细分，则分辨力是光栅栅距的1/4，则光栅栅距为分辨力的4倍。4*0.004=0.016mm第39页，课件共43页，创作于2023年2月4、四倍细分光栅式位移传感检测系统，如果栅线为50线/mm,当用4个光电元件接收莫尔条纹的移动信号时,则分辨率为（）分辨率是一个光栅栅距，即1/50=0.02mm，若用四个光电元件，即经过四倍细分后，则光栅栅距为分辨力的4倍。分辨力为0.02/4=0.005mm第40页，课件共43页，创作于2023年2月5、为了提高检测系统的分辨率，需要对磁栅、容栅等大位移测量传感器的输出信号进行（）（模拟四）细分第41页，课件共43页，创作于2023年2月6、已知光栅式位移传感器的栅线为50线/mm，主光栅和指示光栅的栅线的夹角为0.2º。（1）求光栅莫尔条