cf-彩色滤光片的研究开发和生产-ln课件

cf彩色滤光片的研究开发和生产cf彩色滤光片的研究开发和生产1彩色滤光片显示器的应用

彩色滤光片显示器彩色手机笔记本电脑电子字典可视电话PDA监控面板游戏机彩色滤光片显示器的应用彩色滤光片彩色手机笔记本2

偏光片

彩色滤光片定向层

液晶

ITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在彩色STN显示器中的应用基板玻璃基板玻璃

3

偏光片

彩色滤光片定向层

液晶

TFTITO透明电极偏光片背光源彩色滤光片在TFT显示器中的应用基板玻璃基板玻璃

4深圳莱宝CF生产线2002年5月设备到厂，开始安装调试2002年9月投入试生产月生产能力：3万片填补了国内彩色滤光片生产的空白深圳莱宝CF生产线2002年5月设备到厂，开始安装调试5CF的研究开发和生产

前言一、彩色滤光片的构成二、彩色滤光片生产线简介三、试验和研究开发工作四、彩色滤光片的品质性能五、彩色滤光片设计要点CF的研究开发和生产前言6CF的研究开发和生产一、CF的构成

透过型----TRANSMISSIVETYPE反射型----TRANSFLECTIVETYPE（REFLECTIVETYPE）CF的研究开发和生产一、CF的构成7透过型CF的构造

红色光

绿色光

蓝色光透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜SiO2膜

白色光白色光白色光玻璃基板透过型CF的构造红色光8反射型CF的构造

红色光

绿色光

蓝色光

透明导电膜保护膜红绿蓝膜黑矩阵膜反射膜开口

白色光白色光白色光玻璃基板反射型CF的构造红色光9CF的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介

1、CF制做方法2、CF生产流程CF的研究开发和生产二、彩色滤光片生产线简介10彩色滤光片制做方法电着法印刷法光刻型非光刻型喷墨法

颜料分散法彩胶法彩色滤光片制做方法电着法印刷11颜料分散型光刻胶CF的制做光刻胶滴胶玻璃旋转涂胶

紫外线铬掩膜板图形曝光图形显像颜料分散型光刻胶CF的制做12CF生产流程

1000级净化

O/C线

B线

G线

R线BK线后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤现像曝光预烘烤旋转涂胶清洗后烘烤预烘烤旋转涂胶清洗CF生产流程后烘烤现像13CF的研究开发和生产三、试验和研究开发工作

1、工艺试验与结果2、研发工作CF的研究开发和生产三、试验和研究开发工作14BK膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶特点：生产流程简单成本低反射率低污染小膜厚0.8—1.5μm时，其OD值为1.8—3.5以上最小宽度：10μmBK膜特性材料：树脂类颜料分散型黑色光刻胶15BM膜厚----OD值BM膜厚----OD值16BK膜的样式BMBSBL(Blackmatrix)(BlackStripe)(BlackLess)BK膜的样式BM17R、G、B膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶2、特性：色度（透过型和反射型）透光率膜厚尺寸精度R、G、B膜的特性1、材料：树脂类颜料分散型彩色光刻胶18膜厚----色度0.60.50.4y0.30.20.1000.10.20.30.40.50.60.7x膜厚----色度0.619膜厚----后烘烤膜厚----后烘烤20膜厚----转速膜厚----转速21膜厚均匀性

膜厚偏差：±1.83%膜厚均匀性膜厚偏差：±1.83%22曝光能量----线宽MASK线宽：70um曝光能量----线宽MASK线宽：70um23现像时间、温度----线宽MASK线宽：70um现像时间、温度----线宽MASK线宽：70um24图形对位控制一、MASK的制做精度和套合精度二、采用先进的图象处理和对位技术，提高对位精度三、研究设计了曝光机精密温控装置，稳定对位精度四、采取有效的工艺控制保证对位精度图形对位控制一、MASK的制做精度和套合精度25O/C膜层一、材料：丙烯系树脂二、膜厚：1—2um三、功能

1、保护RGB色层

2、表面平坦化微观波纹度：无O/C层，0.860—0.1225um有O/C层，0.677—0.963umO/C膜层一、材料：丙烯系树脂26ITO膜层镀膜工艺：RF+DC镀膜温度：小于230℃电阻率：1.8x10-4Ω.cm面电阻：7--15Ω透过率：大于80%ITO膜层镀膜工艺：RF+DC27ITO膜电阻率----RF功率分量ITO膜电阻率----RF功率分量28CF的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能

彩色滤光片产品主要性能指标

CF的研究开发和生产四、彩色滤光片的品质性能29彩色滤光片产品主要性能指标（一）项目性能指标1.基片材料钠钙玻璃，抛光，镀SiO2膜长度300、400、420mm，14、16”宽度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al膜厚1000反射率≥90%开口精度±3μm彩色滤光片产品主要性能指标（一）项目性能指标1.材料钠钙30彩色滤光片产品主要性能指标（二）项目性能指标3.BM材料颜料分散型光刻胶膜厚1.0μmOD值≥1.7（3.0）图形精度±3μm4