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MEMS技术及其应用主要内容MEMS技术简介口MEMS技术应用口微机槭制造技术口MEMS器件MEMS简WhatisMEMSTechnology?MEMS(microelectromechanicalsystems)aredevicesthatinvolveintegratedmicro-devicesorsystems,usuallycomprisedofelectricalandmechanicalcomponents,producedusingmicroelectronics-compatiblebatch-processingtechniquesThesesystemsmergecomputationwithsensingandactuationtoperceivethephysicalworldataminiaturizedlevelMEMS定义早在二十世纪六十年代,在硅集成电路制造技术发明不久,研究人员就想利用这些制造技术和利用硅很好的机械特性,制造微型机械部件,如微传感器、微执行器等。如果把微电子器件同微机械部件做在同一块硅片上,就是微机电系统MEMS:MicroelectromechanicalSystemo由于MEMS是微电子同微机械的结合,如果把微电子电路比作人的大脑,微机械比作人的五官(传感器)和手

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