LCD涂胶预固化作业规程

电子有限公司文件文件编号共6页版本A电子有限公司涂胶预固化作业指导书发布日期2009年3月28日生效日期2009年3月28日编制 审核批准一.目的:本指导书规定涂胶预固化工位的工作内容及步骤。二.范围:本指导书用于LCD玻璃涂胶预固化操作过程。三.设备及工装:涂胶机、抽滤瓶、砂芯漏斗、洗液瓶、预固化炉（热板炉）、粘度计、小型净化单元等。.材料：正性光刻胶、稀释剂、3M纸等。.工艺步骤:作业流程冷板冷却—►涂布光刻胶 —►光刻胶预固化一►曝光前涂胶检查主要参数及控制要点.冷板冷却冷却装置：内置冷却水（自来水）循环冷板；冷却水温度：室温；玻璃冷却时间：（2±1）s；玻璃表面温度：W28℃。涂布光刻胶光刻胶类型：正性光刻胶；光刻胶型号：AZ-RFP-230K2（日本Clariant）、RZJ-390PG（苏州瑞红）;稀释剂型号：AZ-1500（日本Clariant）、RZJ-3100（苏州瑞红）;胶粘度： （18~28）X10-3Pa.s（即18〜28厘泊）；环境温度：（21±3）℃；环境湿度：（45~55）%RH；泵流量：45~60（旋钮刻度）；泵周期：7~10（旋钮刻度）；传送速度：（6.0±1.0）m/min；胶轮压力（DoctorRoll压入量）：表显刻度（5.4±0.4）mm,实际压入量（0.6±0.4）mm；涂胶间距（CoatingRoll压入量）：实际压入量为0.08mm,表现刻度（（玻璃厚度-0.08>±0.04）mm，具体如下：1.10t0.70t0.55t0.40t(1.02±0.04)mm(0.62±0.04)mm(0.47±0.04)mm(0.32±0.04)mm5.3.11涂胶机净化单元：2档、光刻胶预固化预固化炉热板温度（±5℃）：25℃、40℃、60℃、80℃、100X6℃、80℃、60℃、40℃、25 ℃；预固化时间：（210±20）s（每片玻璃周期：15s玻璃热板停留时间：10s）。六、生产前准备开启涂胶机、预固化炉等机器,并确认无报警、异常震动、异常声音及其他异常现象,并将机器参数设定为与所要生产的玻璃规格相符；检查光刻胶及稀释剂的型号和日期,确认准确无误后方可开始配制；回收光刻胶须经砂芯漏斗过滤后,将粘度调至适用范围后再重新使用,调节方法如下：加少量稀释剂,充分摇匀后用旋转式粘度计测出其粘度,重复多次控制粘度在适用范围内；盛胶的瓶子应分开并做好标识,记录每瓶胶的类型（原胶、回收胶、过滤胶）、粘度、操作日期等,回收胶应尽快使用（不超过两个工作日）；每班生产前,涂胶岗位人员应检查胶轮是否生胶线（暗线）、划伤或其他缺陷,胶轮间距是否设置与玻璃厚度相适应；对在线控制参数进行检查、巡视,并登记在《图形制作工序过程控制检查表I》上。七、生产过程操作涂光刻胶前前清洗输出玻璃是否有裂角或破损（如有,报废）、玻璃放置（倒角）是否正确；前清洗输出玻璃表面干净、干燥、无异物。7.1.3涂布光刻胶检查涂胶机内供胶和回收胶瓶情况，及时补加和回收；供胶正常，胶轮上胶正常无胶线后，在玻璃出口处观察涂胶是否正常，如有异常，则在规定范围内调节涂胶参数至最佳效果；涂胶人员应经常巡视，巡视内容包括：传送正常，设定参数在控制范围内；无玻璃供涂胶或生产短暂停产时，涂胶机不停，可适当调小周期并调低传送速度；当出现胶线（暗线）时，可按常规的处理方法，处理无效报工艺人员处理；7.2、胶线的处理7.2.1出现胶线可能是因为胶的粘度不够、供胶不足、涂布压力过大（涂胶轮和支撑轮间距过小）、Doctor轮压力小、涂布过程异常如玻璃表面不够干净干燥等。7.2.2胶线的常规处理a、暂停玻璃通过，检查胶和供胶的状态，确保正常;b、增大涂胶速度并运行一会看胶线是否消失;c、增大胶轮压力，在原来的基础上再压入0.05〜0.40mm；d、暂时关闭“CONVEYOR”开关;e、保持较大的“转速”和“压力”，在胶线部分用M3纸醮适量高粘度光刻胶。f、保持较大的“转速”和小的“压力”，M3纸醮稀释剂把胶线及其附近地方的光刻胶清洁干净，用M3纸醮适量高粘度光刻胶轻轻擦拭或滴加高粘度光刻胶（手动）。7.3光刻胶预固化7.3.1当发生裂玻璃时，必须先停机，打开炉盖清理玻璃碎并彻底清洁，并把炉里的玻璃返工；7.3.2生产过程中，预固化炉炉盖不能打开。八、曝光前涂胶自检检查涂胶情况，形成的光刻胶膜须均匀，表面不能有针孔、黑点、胶线、胶点及异物，如有则须返工。检查频率：每换产品，中间过程15分钟检查一次。在生产细线间距产品（最小间距W30口）时，进行涂胶自检的玻璃不能直接生产使用，须返工。九、停产及交接班管理当生产结束时，如无继续生产，需检查预固化炉内无玻璃方可停止，同时应将胶轮清洁干净后方可停机。一个产品结束后，首先将涂胶机自动运转停止，待胶轮间距调节至与下一个产品相符时方可开始自动运转。交接班时需等接班人员到达后方可离开岗位，同时转交并确认已生产及在线玻璃数量，生产产品种类及特殊要求。十、注意事项及异常处理洗1、生产出现突然停电时，必须马上将胶轮（DoctorRoller和CoatingRoller）调

开，并用稀释剂将胶轮上的光刻胶清洗干净；2、较长时间停产之前及复产时必须先用稀释剂清洁胶轮、泵及过滤芯，并将胶轮（DoctorRoller和CoatingRoller）调开；3、胶轮应小心谨慎，用力均匀适当，切勿在胶轮上横向滑动以免损伤胶轮的纹

理结构；4、每班开始生产及每换产品时应对玻璃在清洗机里的情况进行跟踪，防止玻璃

重叠、堵塞，生产过程中应每10分钟巡视一次；5、当胶轮出现胶线时（在玻璃涂覆区或边缘非涂覆区），均应立即暂停玻璃通过，

待处理稳定后再让玻璃通过；6、收取返工玻璃应采用插架方式，插架时应从上到下，注意插框不能叠放；7、有紧急情况时，可先按急停键（STOP）停机，再作处理。一、清洁操作要求11.1每周周一、周四需进行大清洁，较长时间停产时需清洁，复产时需进行大清洁；11.2清洁规程 ，涂胶机的清洁(步骤a、g可进行也可不进行) (厂CA、关泵，打开过滤芯的排放阀放掉过滤芯、管道中的光刻胶;b、关闭排放阀，把光刻胶换成稀释剂并把装回收胶的瓶换成空瓶；c、开泵，把泵流量及泵周期调到最大，让稀释剂充分清洗过滤芯、泵、输送管和辊轮；d、调小传送速度，用M3纸醮光刻胶稀释剂分别清洁两个胶轮(CoatingRoller和DoctorRoller)，清洁干净后把两个胶轮分开；e、用M3纸醮光刻胶稀释剂清洁传送胶轮及传送轴；f、关闭电源，用M3纸醮光刻胶稀释剂清洁涂胶机底下机腔及机壳；g、打开过滤芯的排放阀放掉过滤芯、管道中的稀释剂并使处于打开状。涂胶预固化炉的清洁：①、关闭炉电源，②、过10分钟后打开盖子；用M3纸或白洁布蘸丙酮擦拭盖子底部、底部边缘、密封圈橡胶、炉子内壁、机械手及机械手横杆，除去表面污垢和凝结物。③、盖上盖子，用拧干湿毛巾擦拭炉盖和炉身的外壁，擦去表面灰尘。④、打开炉子底下机器挡板，用吸尘器吸去表面灰尘，再用M3纸或白洁布蘸丙酮擦拭机器支架、线盒表面污物和油污。⑤、用拧干湿毛巾擦拭挡板内外侧，盖上挡板；清洁完毕。十二、生产防护使用光刻胶和稀释剂时均须带手套或手指套，操作细心谨慎，防止溅到皮肤或眼睛，如有接触，应及时用大量清水冲洗；当溶液溅到眼睛时，切勿用手搓、揉眼睛，必须及时用大量清水冲洗，严重时须及时找眼科医生就症；设备运行时身体切勿直接接触加热板、传送轴