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超高真空系统的设计与组装1.1超高真空靶室及管道的设计也为了清洗简单在设计焊接结构的时候也要注意避免处于真空中的焊缝中有积了隔离空穴它就会成为一个缓慢放气的源泉。个法兰连接的密封可靠。而对于某些必须要处于较高温度工作的真空橡胶密封下壁厚已经有了标准尽寸，当然也可以计算出来。进出水管位置要一下一上，而且设置流水隔层，让水沿着一定路线流动。而在设计真空系统测量真空规管座的位置时应该注意到由于每个密封面都道CF100管道法兰接后级管道道的连接一维移动探测器接泵相连接。最后一个接口与大靶室相连接。如图10所示。与大靶室相连接然所设计的系统的形状以及尺寸涉及到了制造所需要的工艺，也是与成本有关1.2后期超高真空系统的组装组装过程主要包括清洁处理，真空封接以及后续辅助设备安装。为了对管道实现冷却，我们计划在设计管道上方以及左侧缠绕固定水冷却金属管。

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