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文档简介

EE4345-SemiconductorElectronicsDesignProjectSiliconManufacturingGroupMembersYoungSoonSongNghiaNguyenKeiWongEyadFanousHannaKimStevenHsuHISTORY19thCentury-Solid-StateRectifiers1907-ApplicationofCrystalDetectorinRadioSets1947-BJTConstructedbyBardeenandBrattain1959–IntegratedCircuitConstructedbyKilbySemiconductorManufacturingProcessSemiconductorManufacturingProcessFundamentalProcessingSteps1.SiliconManufacturinga)Czochralskimethod.b)WaferManufacturingc)Crystalstructure2.Photolithographya)Photoresistsb)PhotomaskandReticlesc)Patterning

3.OxideGrowth&Removala)OxideGrowth&Depositionb)OxideRemovalc)Othereffectsd)LocalOxidation4.Diffusion&IonImplantationa)Diffusionb)Othereffectsc)IonImplantationSemiconductorManufacturingProcess(cont)SiliconManufacturingCrystalGrowthandWaferManufacturingFABRICATINGSILICONQuartz,orSilica,ConsistsofSiliconDioxideSandContainsManyTinyGrainsofQuartzSiliconCanbeArtificiallyProducedbyCombiningSilicaandCarboninElectricFurniceGivesPolycrystallineSilicon(multitudeofcrystals)PracticalIntegratedCircuitsCanOnlybeFabricatedfromSingle-CrystalMaterialCRYSTALGROWTHCzochralskiProcessisaTechniqueinMakingSingle-CrystalSiliconASolidSeedCrystalisRotatedandSlowlyExtractedfromaPoolofMoltenSiRequiresCarefulControltoGiveCrystalsDesiredPurityandDimensionsCYLINDEROFMONOCRYSTALLINETheSiliconCylinderisKnownasanIngotTypicalIngotisAbout1or2MetersinLengthCanbeSlicedintoHundredsofSmallerCircularPiecesCalledWafersEachWaferYieldsHundredsorThousandsofIntegratedCircuitsWA返FE横R劈燕MA铁NU茫FA妖CT拥UR境IN挣GTh旨e普Si骨li知co榴n蜡Cr默ys度ta洒l挤is夸S声li锣ce竹d冒by程U爱si办ng豆a恋D武ia屯mo撞nd泰-T搬ip阵pe忽d驴Sa冻w额in狮to轮T吵hi布n回Wa只fe嘱rsSo务rt债ed记b拘y难Th丢ic乞kn她es气sDa渡ma获ge格d穴Wa乐fe伴rs盾R当em熊ov馋ed耐D尾ur涨in耀g论La筒pp障in朋gEt壮ch汁W扛af振er狭s贯in浩C旦he门mi匪ca梢l繁to黄R名em芳ov礼e半an秆y冤Re蛋ma倾in刃in笔g鲁Cr捏ys罗ta殿l盆Da脉ma白gePo砖li本sh龟in汉g蛮Sm厕oo登th情es贞Un叔ev漏en眠S甲ur摸fa悉ce滥L谅ef委t档by盈S眠aw应in淹g湿Pr丝式oc责es肝sTH鹅E烤CR翅YS牺TA冤L窄ST么RU澡CT乡丰UR益E蛙OF分S论IL疑IC遗ONA狸Un焰it什C栋el弹l粮Ha旬s爹18岗S叛il悄ic衬on兼s务At译om帅sWe膝ak敢B槐on腔di吵ng绝A特lo绞ng鼻C莫le撕av洞ag包e虚Pl衡an坛esWa舰fe兵r筝Sp垒li散ts浊i肿nt垂o驴4混or灵6坟W飘ed透ge美-S滔ha窗pe胃d厘Fr才ag摆me惑nt划sMi滋ll扛er暑I弦nd屈ic屑es掌i汽s蓄Us跟ed妨t搅o胶As我si卧gn献t径o慎Ea扶ch就P皆os垃si令bl颈e穿Pl再an两e万Pa叨ss洽in谈g顷Th埋ro梦ug差h扒th旷e仆Cr岁ys恶ta舍l汁La哭tt杀ic题eSi壤li笔co悔n离Ma醒nu奖fa奸ct津ur智in致gPh炭ot勤ol砍it拼ho毅gr锋ap司hyPh涉ot缩慧ol机it撕ho演gr体ap歌hyPh鞭ot横ol淹it宾ho剑gr穷ap练hy庄i黑s摧a迟te鹅ch信ni愉qu楚e伞th倒at妨i父s若us敬ed级t援o那de油fi碌ne智t绑he影s址ha志pe纹o惰f怪mi死cr颤o-阵ma致ch怜in甚ed预s窝tr粪uc怪tu持re施s疏on穷a垒w跪af役er介.Ph季ot笔ol躺it督ho贞gr畜ap怨hyPh高ot鸡or松es佣is膜tTh咬e较fi拒rs栽t馒st枪ep李i病n捡th络e手ph篮ot霜ol俗it间ho州gr卸ap日hy昆p冈ro给ce僻ss漆i骨s径to匆d恐ev弦el认op思a略m醉as爱k,嘉w焰hi恼ch孤w旋il沫l蝇be桶t屑yp晃ic曲al糟ly叛b浑e到a递ch稍ro罗mi漂um销p糊at凭te庭rn浸o悉n安a渡gl隐as锐s框pl外at肆e.Ne很xt威,喜th友e火wa份fe井r省is坝t宏he饿n魂co惨at差ed坛w懂it骨h稳a苗po分ly燥me怖r吵wh民ic并h控is评s岸en效si浸ti充ve鞠t肌o同ul界tr健av全io宴le咳t论li割gh破t霜ca揪ll留ed桌aph驾ot宴or戴es聚is城t.Af茎te宰rw宾ar产d,灵t个he披p答ho艺to症re籍si策st科i恳s观th袍en制d红ev句el判op菠ed痕w贞hi偶ch恳t势ra贺ns饲fe怪rs破t蕉he杯p给at写te框rn联o脆n姜th疮e鸣ma闹sk佣t破o舟th祥e嗽ph著ot栗or差es呆is却t铁la魔ye牌r.Ph独ot皆ol它it朵ho贤gr鲁ap尘hyPh该ot龙or锋es伞is炼tTh摄er垒e棒ar经e迹tw庆o眨ba六si寒c排ty久pe叉s补of役P号ho赚to秀re辆si灵st热s耍Po贺si赶ti滴ve沿a子nd趟N躲eg岩at凭iv遭e.Po笋si泼ti妨ve姿r毯es晃is躁ts深.Po篇si卸ti短ve理r相es润is拒ts典d愿ec幅om公po杏se层s海ul梳tr翼av句io夫le殊t羞li眼gh恨t.急T陆he除r萍es布is板t抢is复e寸xp臭os突ed分w粥it加h宇UV甘l退ig钉ht侧w疫he材re肉ve宝r够th瞒e欲un扣de挥rl爽yi逐ng孙m动at超er孟ia默l胆is权t维o档be暗r师em姐ov蛙ed陕.著In针t链he桃se幅r历es哄is刺ts角,汤ex纱po帖su鼠re番t旋o转th赤e博UV暑l沸ig姑ht孟c床ha弦ng成es堵t滴he棚c谈he保mi彼ca赌l齿st糟ru什ct虚ur酷e济of旁t展he托r摆es强is桂t纠so称t俱ha妨t木it辰b宽ec侍om狼es忽m魔or余e赠so贪lu甚bl扫e付in培t谊he搂d锄ev律el么op慈er森.牛Th姓e堵ex朽po地se完d捏re壶si梦st鸡i阁s双th桨en续w贯as滋he亿d负aw镇ay翼b搂y脚th浑e禾de亲ve株lo奏pe汗r布so握lu租ti哭on售,施le螺av锋in辨g园wi胖nd闪ow姐s掘of辛t业he锹b幻玉ar胡e蜘un励de精rl跌yi范ng文m辟at久er纵ia腰l.烈T钱he举m摆as朋k,须t酿he梦re酸fo事re召,搂co舱nt塘ai琴ns朗a鹊n艳ex叹ac按t威co仿py柿o西f狮th撞e列pa默tt冶er陡n筑wh怨ic绣h榜is股t脊o遵re足ma化in米o呢n爸th上e假wa枣fe则r.Ph筝ot耽ol冻it某ho捆gr埋ap椅hyPh鼻ot早or铲es叼is界tNe还ga效ti牧ve车r球es带is傅tsEx喝po蜘su弄re薪t卵o丧th爷e泛UV桐l吗ig裕ht掏c返au绝se发s中th桨e悦ne故ga脱ti岛ve雁r柱es赵is比t忘to革b掠ec贴om僻e沈po屯ly命me亏ri珠ze它d,映a蚁nd扁m敞or焦e侄di缺ff技ic男ul弓t扁to籍d衫is术so幕lv贞e.泳T过he制re亡fo鸦re绿,慢th翼e微ne哪ga蛛ti倘ve幕r税es妖is役t躁re勺ma骄in乓s圣on害t缠he滤s充ur串fa异ce也w章he茧re岔ve宜r穴it吸i倍s财ex浆po院se病d,累a津nd姥t粱he松d埋ev燥el齿op经er累s序ol士ut泡io狮n匙re不mo惭ve坟s牵on曾ly投t载he蜘u乱ne城xp贡os肢ed弯p铜or设ti火on脏s.垫M使as缓ks俱u给se逮d都fo苦r军ne塑ga绪ti鸡ve柏p巷ho幕to福re券si执st督s,少t创he偷re该fo贞re租,尿co耐nt老ai忙n趴th脊e吴in涨ve烟rs勇e手(o悦r叫ph牵ot警og瓶ra死ph竞ic拆"锈ne倚ga喇ti糠ve昆")虽o孕f破th顶e王pa威tt斜er樱n患to山b位e灾tr荣an光sf梨er低re疤d.Ph军ot符ol初it消ho圾gr发ap支hy百M冲od异elFi闭gu过re倚1翅a阳sh潜ow笋s拘a胖th孕in啦f挑il准m秩of予s所om哭e怕ma如te乐ri道al影(懒eg催,元si珠li矮co响n委di颗ox牺id总e)拦o奇n蹲a扔su肌bs酱tr猎at置e省of属s赌om给e摧ot捕he葛r萄ma壮te袄ri机al饥(肥eg贼,踢a却si同li猜co匪n脑wa叫fe夺r)橡.Ph局ot扛or耳es看is的t令la右ye旋r宜(F副ig阴ur接e走1b乱)Ul疾tr宗av漠io颜le窄t牲li肉gh歇t史is企t若he俱n植sh披on食e忌th说ro题ug售h酱th已e颗ma枕sk伯o类nt氏o恒th骄e惰ph壮ot汉or累es西is幅t机(f门ig血ur脖e股1c代).Ph治ot端ol差it沃ho援gr列ap咳hy防M恐od黑el辞(挂co算nt尚)Th派e最ph顺ot述or株es蒸is案t雹is仿t抄he皱n雁de楚ve功lo岭pe械d讽wh运ic灰h抬tr病an挑sf尾er企s街th谱e嗓pa著tt肉er奸n示on班t真he妙m牺as雄k梦to停t势he定p骡ho己to堵re伯si柜st睡l饰ay脏er寇(片fi公gu浪re涉1苏d)篮.A渠ch迁em摆ic村al精(库or饿s坐om纤e沃ot治he择r乏me疑th蚕od间)袋is占t逮he左n捡us席ed糖t食o餐re讽mo慌ve督t浆he烈o雪xi遮de控w誉he贩re皮i短t蚊is否e滚xp泪os纵ed盏t料hr春ou犬gh冶t姜he鼻o沟pe侍ni涨ng辛s恒in否t记he多r叔es体is渐t城(f绳ig狸ur牺e校1e虾).Fi严na亩ll梅y扮th主e闯re中si烫st述i腊s庙re赶mo疤ve匠d韵le袜av拳in稿g蜓th响e是pa水tt摸er肺ne算d蚕ox似id惭e未(f堤ig具ur情e诞1f规).Ph州ot叨ol蝴it队ho隙gr卫ap鲜hy骄P沫ho雄to背ma铸sk置s筐an标d册Re骨ti悉cl祝esPh伏ot沉om教as俩kTh木is叔i源s任a辩sq每ua歪re赞g头la蔑ss危p慎la驳te斥w喊it宝h宋a峰pa查tt快er犁ne渴d是em嘉ul相si瓜on犯o廉f牺me馅ta依l中fi孔lm演o碑n丙on谣e胞si刘de切.报Th疫e就ma猫sk艇i咏s终al及ig察ne罚d晌wi烧th猜t译he思w安af遣er繁,堂so催t伤ha蚕t垂th例e室pa轨tt属er季n劫ca脖n载be棒t始ra陕ns正fe孙rr山ed粘o仪nt犯o宽th四e橡wa亚fe厌r彩su附rf绪ac砖e.绣E设ac搞h赔ma快sk鉴a悟ft丢er相t讲he授f饺ir刊st棚o贡ne聚m集us壳t妙be杏a闷li羊gn邪ed煤t钱o芦th灭e秩pr盯ev时io筛us湖p另at障te诱rn洋.Ph武ot虏ol禁it就ho庆gr驶ap木hy高P工ho州to价ma柏sk呼s妥an妥d想Re男ti迟cl卷esWh缴en赞a德i抵ma逮ge芒o银n平th畏e店p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