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文档简介

JEM-2100操作说明一、合轴操作照明系统合轴找亮:当翻开灯丝,并且灯丝电流放射之后,应当在荧光屏上找到电子束,假设打球,撤除全部光阑,根本上以上操作可以解决大多数没亮的状况a球,撤除全部光阑,根本上以上操作可以解决大多数没亮的状况a00

10K左右,移动轨迹固然,也可以在用户模式下直接对子束了。

GUNNTRL!正常状况下就能找到电灯丝像调整:放大倍数为X40K,将光斑用beamshift移动到屏幕中心,渐渐降低灯丝电流,并且用BRIGHTNESS旋钮将光斑聚到最小, 随着灯丝电流下降,可以观看到灯丝像消灭。如以下图标准的六硼化阑灯丝像是均匀对称的四瓣花型的, 假设觉察花瓣不对称,说GUNTILT调整到对称即可。调整完毕后将灯丝电流上升到正常数值,即稍能看到一点灯丝像阴影。1、5合轴:将束斑调到SPOTSIZE5beamshift将束斑移动至屏幕中间,切SPOTSIZE1gunshift将偏移的束斑移动至屏幕中间,重复此过程直到当切换SPOTSIZE15时束斑根本上不发生偏移即可。CONDSTIG键将束斑调圆即可。加聚光镜光阑:聚光镜光阑红点位置表示退出,其余的点的大小表示当前所参与的光阑孔大小,顺时针参与光阑至适宜的孔径, 般用1号或2号光阑孔,加完后用beamshift将光斑移动至屏幕中心,这时顺时针转动 BRIGHTNESS将光斑放大到与屏幕同大,假设光阑没有加正,则光斑不是均匀掩盖屏幕,即光斑补随BRIGHTNESS同心放大,此时调整光阑前端和右侧的两个旋钮使光斑圆心与屏幕同心即可。(6IMAGEWOBBLEX或丫Z键直至将图像震惊幅度最小即可成像系统合轴(1) 电压中心调整:找一样品尖端处,将尖端移动到屏幕中间黑点处。按下HTWOBBLE让样品振颤,用BRIGHTTILT调整样品尖端在振颤时不偏离屏幕中间黑点,即样品同心收缩即可。细聚焦:调整OBJFOCUS按钮,使要观看的样品调至正交处,可通过欠交,正交,过交现象来确认正交。找一处孔的边界,在欠交下,孔边缘会消灭亮边,而在过交下,孔的边缘会消灭黑边,介于欠、过交之间,无黑、亮边时就是正交处。物镜消象散:物镜象散的消法是在X300K以上找一处微栅,边缘有非晶颗粒,不断变化欠交和过交位置,观看非晶颗粒外形有无方向性拉伸,假设有拉伸则说明有物镜象散,用OLSTIG调整至无方向拉伸即可。二、插拔样品杆黑*插入样品杆时,先将杆插入样品室,手微微向里顶住,将开关拨至

PUMP状态,然后等待样品室皮拉尼轨抽到30以下〔绿灯亮了就可以了〕,然后顺时针转动样品杆一个小角度,此时样品杆会到第一个转换点, 并被负压吸入样品室一小截, 然后再次转动样品杆至转不动为止,再渐渐将样品杆完全送入样品室。拔样品杆前留意先将样品室位置归零, 至拔不动为止,

逆时针转至转不动,再拔一小段距离,再转回起始位置,将开关拨至以上,即可将杆拔出。

AIR处放气,至皮拉尼值为220三、加高压[——一……wr~ihlhifiR 训1-[——一……wr~ihlhifiR 训1-TS—一~…一—二j—lw点自动上升压AUTOHT设步长STEP为0.5左右,时间为lOsec目标电压200K

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