充六氟化硫气体工艺

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A/01/3文件名称

抽真空氦检充SF6文件制订/修订履历

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技术部2023.11.16制订/修订日期2023．11.16审核/日期

版本A/0

制订/修改内容 编制康伟涛批准/日期文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/02/3文件名称

抽真空氦检充SF6

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技术部2023.11.161、操作说明开机前预备1、检查供给系统气动阀门和气缸工作的气源压力是否在正常范围内，正常范围为0.4~0.6MPa。2、翻开SF6气瓶总阀门，并检查气瓶内气体压力是否足够，缺乏则更换气瓶。3、检查系统电器掌握柜中是否全部断路器均处在ON位置，PLC是否处于RUN开机将操作台处电控柜上“钥匙开关”由OFFON面即1.1OFF旋至ON的位置后，按下“开机”按钮依次启动泵组以及检漏仪，泵组启动过程中开机指示灯闪耀，泵组和检漏仪启动完成后开机指示常亮。1.1系统开机画面检测工件时按下双开头按钮,系统将开头自动检测。文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/03/3文件名称

抽真空氦检充SF61.2信息提示

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技术部2023.11.16说明:1、假设系统消灭故障〔比方真空泵/压缩机宠保护,高压罐压力过高,高压罐压力低,高压罐内氦气浓度低,以及检漏仪出错,通讯不正常等系统将赐予提示〕；2、箱内急停被按下；3、检漏仪不在检漏状态或未启动完成。这些状况响对工件检漏，请准时解决消灭的问题。关机按下“关机”按钮依次停顿泵组，泵组停顿过程中关机指示灯闪耀，泵组停顿完成常亮。将操作台处电控柜上“钥匙开关”由ON旋至OFFN2,SF6,补氦气瓶阀门。2、系统工作流程系统工作流程如下(以自动模式为例):文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/04/3文件名称

抽真空氦检充SF62.1

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技术部2023.11.16STEP1 接头测试：开头键按下，先推断工件接头数量〔单接头时V45翻开，双接头时V45和V46翻开〕，再检测接头是否堵塞：先将接头抽空数秒，然后关闭抽空阀等待3秒，推断接头内压力是不是足够大，假设接头压力小则接头可能堵塞，否则接头通。接头抽空时间可在触摸屏中设定。相关参数：2：17、接头测试前放气时间，18、接头测试抽空时间，19、接头测试压力变化值。STEP2 关门：检查门运动方向上是否有异物，如有则停顿关门，并报错假设没有则关门。关门到位并合门到位后给执行2。假设关门后有异物阻挡或者门始终关不上，系统均有报警提示。相关参数：2：11、开/关门超时时间STEP3 箱体粗抽空/工件粗抽空：门关好后，运行指示灯亮，关闭VZ3、VZ2VZ1的压力，以便保证工件和箱体差压不超过设定压力。假设抽空过程中工件内压力和箱体压力超过设定的标准，则会发生报警，报警时只能按停顿按钮完毕。按停顿后箱体内放入大气后开门。文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/05/3文件名称

抽真空氦检充SF6

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技术部2023.11.16相关参数：13、箱体粗抽空压力，46、箱体/工件粗抽空超时，7、箱体抽空开阀时间，8、箱体抽空关阀时间，9、工件抽空开阀时间，10、工件抽空关阀时间。STEP4 大漏检测：箱体预抽完成后关闭箱体抽空阀VZ1，等待几秒钟待箱体压力平衡后，记录箱体平衡时的压力，然后再等待数秒钟进展保压，待保压时间到后，推断箱体内压力是否有变化，假设变化小于设定的值则合格，否则不合格。不合格则只能按停顿将箱体内放入空气然后开门。相关参数：1：1、检大漏箱体压力变化允许值，2、检大漏工件压力变化允许值，5、检大漏真空箱保压时间。STEP5 箱体/工件精抽：进入箱体/工件精抽，先将工件抽空阀V2翻开，然后将工件内压力向下抽空一个压力梯度，然后再将箱体抽空阀翻开将箱体压力向下抽空一个压力梯度，直到工件和箱体内压力均抽到精抽的压力。相关参数：用户参数2：11、箱体精抽压力，12、工件精抽压力，13、精抽超时时间。STEP6 工件测湿度：在参数设置中充氦前测湿度：使用。工件充氦前抽空完成后，系统记录此时工件的压力，经过设置时间保压后，计算工件压力上涨值，超过设定值认为湿度不合格，自动进入下步：抽空枯燥。湿度合格，抽空枯燥跳过，开头测本底。相关参数：系统参数3：27、湿度检测保压时间，28、工件枯燥超时时间；2：15、湿度检测压力平衡时间，16、湿度检测箱体变化允许值，17、湿度检测工件变化允许值，18、工件抽空枯燥时间。STEP8：氦检抽空：工件/箱体精抽完成后，需要将箱体压力连续抽低方可进展氦检。所以需要翻开VZ1连续对箱体抽空，翻开V2对工件抽真空，。假设箱体氦检抽空过程中压力超标则系统报警并等待处理，此时可按停顿按钮然后系统将同步对箱体和工件内放入空气然后开门。此过程中可通过P1相关参数：用户参数2：19、氦检箱体抽空压力，20、氦检工件抽空压力，21、氦检抽空超时时间。STEP9 本底推断：本底推断程序中，翻开检漏阀VZ2按开头键自动清本底至本底合格)，假设合格系统进入充氦工序。假设真空箱本底在超时时间内均大于报警值则本底超时，本底超时后可按开头按钮连续，按停顿按钮将工件和箱体内同步放入空气然后开门。相关参数：系统参数2：12、测本底响应时间，14、本底报警值设定。文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/06/3文件名称

抽真空氦检充SF6

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技术部2023.11.16用户参数3：22、清本底放气时间，23、本底超时时间。STEP10 氦检漏：氦检漏过程中先对检漏仪进展调零操作，即自动让检漏仪扣除当前的本底，以便读取真实的信号。本底扣除后，翻开V12向工件充入氦气，充气到设定压力后，等待一段时间推断工件漏率是否超标，假设超标则报警并提示是否进展“吸枪检测、放气开门终止检测或充SF6”三个选项；假设选择吸枪检则进入吸枪充氦，假设选择“开门终止检测、充SF6”则先进入回收工件内氦气然后直接向工件和箱体内同步放入空气后开门和对工件充SF6后放空气开门。假设合格进入氦气回收。假设在设定时间内工件无法充到设定压力则充氦超时，此时可按停顿按钮将工件内氦气回收然后开门。相关参数：系统参数2：13、氦检响应时间，15、氦检漏率报警值设定。2：19、氦检箱体抽空压力，20、氦检工件抽空压力。STEP11 氦气回收：氦气回收过程中翻开V31进展高压回收，然后关闭翻开V32将工件内氦气由回收泵回收低压罐内，然后再由压缩机压到高压罐中。直到工件内压力回收到设定压力，假设回收过程中在设定的时间内无法将工件内压力回收到设定值则报警，此时可按停顿按钮将工件和箱体内同步放入空气，然后开门。假设回收过程中长按停顿按钮也可以将工件和箱体内同步放入空气，然后开门。回收完成后进入工件清洗。相关参数：用户参数3：28、高压回收截止压力，29、低压回收截止压力，30、回收超时时间。STEP12 工件清洗：工件清洗过程中将先翻开V13，向工件内放入一个压力梯度的氮气，然后关闭V12V2空；此工序完成后再对工件进展抽空，抽空时间由触摸屏设定，清洗完成后进入充SF6〔假设工件清洗次数设定为“0”时，则氦回收完成后直接进入12，工件不进展清洗〕相关参数：4：31、充SF632、充氮清洗充氮压力，33、充氮清洗抽空压力，34、充氮完成气体平衡时间，35、充氮清洗充氮超时。STEP13---SF6：此程序中将先翻开VZ3V14V151个压力梯度的SF6，然后如此不断的反复直到工件内充气到设定压力〔压力到100000Pa后只用V15对工件进展准确充SF6〕。假设充注过程中箱体和工件内压力超标则系统自动进展平衡，SF6过程中长按停顿按钮也可对工件和箱体内同步充入空气然后开门。相关参数：用户参数4：36、充SF637、充SF6，38、充SF6开阀时间，39、充SF6关阀时间，40、充SF6STEP14 工件和箱体放气：此程序将会翻开VZ3向箱体内放入空气,翻开V52向工件内放入空气，然后进入开门，假设在此过程中文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/07/3文件名称

抽真空氦检充SF6

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技术部2023.11.16压力超标则只能进入手动调试窗口将工件和箱体压力平衡，然后断电重启动。相关参数：用户参数4：22、工件进气压力，23、箱体进气压力，24、箱体进气超时，25、箱体进气延时STEP15 开门：开门程序中先将门推出然后在将门拉开。停顿检漏或真空氦检不合格弹出操作画面流程：图2.2氦检不合格弹出流程手动停顿检漏处理按下停顿键，工件内氦未回收完成，则开头氦气回收，氦气回收完成，工件箱体同时进气，工件箱体进气完成，系统开门。氦检不合格弹出操作1：选则吸枪检，先点吸枪检，再点对应确实认开头，系统开头吸枪充氦〔工件充氦/箱体进气〕，吸枪充氦完成，系统自动开门。点“查漏点”后拿着吸枪沿工件外表查找可疑漏点，漏率超过吸枪报警值，面板报警灯会提示报警。查漏点完毕后点击“查漏点完成开头回收”，系统先关门，接着对工件进展氦气回收〔先高压回收，接着同步抽空回收〕，氦气回收完成工件箱体进气，工件箱体进气完成，系统开门。2：选择充注SF6，先点充注SF6，再点对应确实认开头，系统开头氦气回收，氦气回收完成，接着工件清洗、充SF6SF6/箱体进气，工件充SF6/箱体进气完成后，系统开门。以下状况使用此项，A:利用SF6检漏法查找漏点；B:试验品文件编号 CK/QR-JS-GG-015康晋电气 版本号页次/页数

A/08/3文件名称

抽真空氦检充SF6

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技术部2023.11.163：选则检漏中止，先点检漏中止，再点对应确实认开头。此选择类似工件内氦未回收完成手动停顿检漏的处理。先氦气回收，氦气回收完成，工件箱体同时进气，工件箱体进气完成，系统开门。相关参数：系统参数2：16、吸枪漏率报警值设定，用户参数5：41、吸枪充氦压力，42、吸枪充氦超时时间。3、工作窗口操作介绍工作流程图图3.1动作流程图工作流程图上供给了：1、工作流程框图。〔绿色表示正在进展的过程〕2、检