半导体划片操作

半导体划片操作1第一页，共三十五页，编辑于2023年，星期日目录1.划片的目的2.DAD321型划片机总介绍3.划片流程及划片前的检查工作4.开机操作步骤5.机器的预热6.操作面板各键的功能7.测高功能（Setup）8.DEVICEDATA参数9.切割的操作10.划片过程中的校准11.划片刀的更换12.关机方法13.安全操作说明2第二页，共三十五页，编辑于2023年，星期日1.划片的目的将连在一起的芯片分成单个芯片。已贴膜的硅片已划过的硅片3第三页，共三十五页，编辑于2023年，星期日2.DAD321型划片机总介绍载盘监视器急停按钮电源开关电源指示灯BLADE冷却水流量计SHOWER冷却水流量计真空指示设备运行状态指示灯显微镜操作面板防水盖气枪亮度调整旋钮维修开关焦距调整钮4第四页，共三十五页，编辑于2023年，星期日3.划片工序流程5第五页，共三十五页，编辑于2023年，星期日3.1划片刀是否已安装好如果划片刀没有安装,按照后面介绍的安装步骤进行安装划片前的检查工作3.2去离子水压力＞0.3MPa6第六页，共三十五页，编辑于2023年，星期日3.4活性剂打开相应划片机的活性剂开关3.3去离子水电阻率:0.5~2MΩ.cm实际去离子水电阻率值设定去离子水电阻率值7第七页，共三十五页，编辑于2023年，星期日3.6检查没有工具或异物在设备里.3.5压缩空气打开8第八页，共三十五页，编辑于2023年，星期日打开压缩空气开关，并确认机器的后面压力表压力在4.0-6.0kgf/C㎡。4.开机操作步骤9第九页，共三十五页，编辑于2023年，星期日打开主轴冷却水和切割水开关。（要求压力≧0.3MPa）打开机器背后的主电源开关，确认电源指示等点亮并检查机器前后EMO开关是否被打开。10第十页，共三十五页，编辑于2023年，星期日旋转机器前面板上的钥匙开关到“ON”的位置。此时机器被打开（操作面板上自“SETUP”指示灯到“C/TVAC”指示灯依次闪烁），并在30秒后显示器上将出现“DISCO”标记，然后进入主菜单。机器启动完毕。注意:

关闭电源或按下急停按钮后,等待一分钟后才能重新启动设备。关闭电源前确认主轴已停转.11第十一页，共三十五页，编辑于2023年，星期日5.机器的预热机器启动后会提示“系统初始化”。按操作面板上“Systeminitial”键，对机器系统进行初始化。大约30秒后，机器的各个轴将分别移动到它们的初始位置。按操作面板上“F4”选好“DEVICENO.”(划片程序)，然后按“ENTER”键确认。再按“EXIT”键返回主菜单。按操作面板上“SPINDLE”键，主轴被开启并将逐步升到所选的“DEVICENO.”中设定的主轴转速。（在执行此操作前，机器的防水盖必须关好。）按操作面板上“CUTWATER”键，打开切割水。通过调节流量计，达到工艺要求设定的水流量(1.2~2.0L/min)。通过防水盖观察喷水是否正常。保持此状态2分钟，机器的预热完毕。12第十二页，共三十五页，编辑于2023年，星期日单一功能键

输入和编辑功能键轴的移动键备用键操作键6.操作面板各键的功能操作面板由五部分构成。13第十三页，共三十五页，编辑于2023年，星期日单一功能键：SETUP用来做内定方式的“SETUP”DISPLAYMODE转换不同的显示模式，为能在显示器上得到较合适的图形效果。SYSTEMINITIAL执行机器系统初始化操作。SPINDLE手动控制主轴旋转和停止。CUTWATER手动控制切割水的开启与关闭。CHUCKTABLEVAC控制工作盘的真空系统的开启与关闭。14第十四页，共三十五页，编辑于2023年，星期日输入和编辑功能键：0~9，·数字键和小数点+/-输入正值和负值。CE清除键。光标移动到下一个位置。ENTER输入确认键或执行功能键。EXIT退出当前被显示的界面且返回前一个界面。他也可被用于取消一个操作。∧<>∨光标移动键。HOME将光标返回到界面的内定原点位置键。F1~F10在操作界面中所使用的功能键。DEVICEDATA按此键可直接进入“DEVICEDATA”清单界面，以便选择所需的“DEVICEDATA”。HAIRWIDE用来增大基准线宽度键。HAIRNARROW用来减小基准线宽度键。SHIFT换挡键。按亮此键后，键盘上左下方的符号才能被使用。15第十五页，共三十五页，编辑于2023年，星期日轴的移动键：INDEX按亮此键后，再按X轴、Y轴或θ轴时，它们将按照“DEVICEDATA”中设定的步进值移动。SLOW按亮此键后，再按X轴、Y轴或θ它们将按照操作维护参数中设定的低速值移动。X<,X>X轴左，右移动键。Y∧,Y∨Y轴前，后移动键。Z∧,Z∨Z轴上，下移动键。此操作仅在“CONDITION”功能中才有效。θ，θθ轴的顺时针与逆时针转动键。16第十六页，共三十五页，编辑于2023年，星期日备用键：OPTION此键仅在某些设备选择特殊功能后才起作用。操作键：ALARMCLEAR/HELP此键用来清除错误提示和消除报警声音。START/STOP此键用来开始或暂停机器的切割。ZEMZ轴紧急制动键。按此键，Z轴升到最高点且X轴、Y轴、θ轴立刻停止运行，并发出报警声。17第十七页，共三十五页，编辑于2023年，星期日7.测高功能（Setup）按“SPNDL”键，旋转主轴。按“CUTWATER”键打开切割水，保持此状态10分钟。然后再按“CUTWATER”键关闭切割水，再按“SPINDLE”键停止主轴旋转。若划片机没有非接触传感器（NCS），按操作面板上的SETUP键测高。若划片机有非接触传感器（NCS），设备断电，关机后重新开机，压缩空气中断后重新恢复正常，设备维护人员若移动了载盘需要按照下面的操作步骤执行测高。否则直接按操作面板上的“SETUP”按键测高在主菜单下，按“F5”键进入“BLADEMAINTENANCE”界面，再按F3键进入“SETUP”界面。按F4：传感器校准“SETUP”（先执行工作盘接触“SETUP”，然后移到传感器上，再做传感器校准。这是为以后非接触“setup”作基准参考值。）18第十八页，共三十五页，编辑于2023年，星期日无论选用那种“SETUP”，在执行“SETUP”前，都应首先确认：主轴转速、刀片外径、工作盘尺寸、工作盘种类。确认无误后，按照屏幕提示执行“SETUP”。注：在执行非接触“SETUP”和传感器校准“SETUP”前，应确认非接触传感器（NCS）灵敏度的读数在100%±2%之间。从“BLADEMAINTENANCE”界面中，按F8进入非接触“SETUP”传感器清洗界面（或从非接触“SETUP”界面中按F6也可进入该界面）。进入清洗界面后通过按F1和F2来分别控制水和气的开闭，在仅打开气的情况下检查敏感器的值。如果敏感器的值低于98%，请用蘸了去离子水的棉签清洁“NCS”的表面（切记不要用酒精棉球）并按F1打开水进行冲洗，然后关闭水并打开气，检查敏感器的值。反复几次若还达不到要求，请维护人员来调整“NCS”的放大器。如果敏感器的值高于102%，请维护人员来调整“NCS”的放大器。然后再做SETUP。非接触传感器(NCS)19第十九页，共三十五页，编辑于2023年，星期日8.DEVICEDATA参数在主菜单下，按F4键，或者从操作面板上按“DEVICEDATA”键。进入“DEVICEDATALIST”界面。20第二十页，共三十五页，编辑于2023年，星期日ROUNDWORKSIZE：

硅片直径WORKTHICKNESS：硅片厚度。TAPETHICKNESS：蓝膜的厚度。BLADEHIGHT：未切割的厚度。FEEDSPEED：切割时X轴（工作台）移动的速度。YINDEXCHI：Y轴在CHI方向上的步进量。

CH2：Y轴在CH2方向上的步进量。SPINDLEREV：主轴转速。21第二十一页，共三十五页，编辑于2023年，星期日9.切割的操作切割前应首先确认操作面板上“SETUP”和“SYSINIT”键上方的指示灯是否点亮。如果“SYSINIT”键上方的指示灯没有点亮，首先执行系统初始化。（按“SYSINIT”键）如果“SETUP”键上方的指示灯没有点亮，首先执行“SETUP”操作上述工作完成后，可以执行切割操作。具体操作如下：从主菜单界面下，按F4进入“DEVICEDATALIST”界面，通过光标选择要使用的“DEVICENO.”，按“ENTER”键进入该选用的“DEVICEDATA”中，确认参数无误后，按“EXIT”键，界面将返回主菜单。将被加工的工件放在工作盘上，按“C/TVAC”键，确认机器前面上的真空表指针是指在绿色区域内。22第二十二页，共三十五页，编辑于2023年，星期日从主菜单界面上，可选择切割方式。切割方式有两种：F1：全自动切割在自动切割中，机器将连续的切割CH2和CH1。具体操作如下：（1）从主菜单界面上，按F1键，工作盘自动的移到显微镜下，此时自动切割界面出现，调整显示器右边的光线调节旋钮和显微镜右侧焦距调整钮，使得工件在屏幕上清晰的显示。（2）用“θ顺时针旋转”和“θ逆时针旋转”及Y∧和Y∨键，在慢速状态下，校准工件“CH1”角度。按F5（角度校准）键，工作盘自动的移到左边，再进行校准后，再按F5键工作盘自动的移到右边。反复上述操作直到被切割工件的切割区与基准线平行为止。注意角度校准完毕后请按“θ顺时针旋转”键结束操作。此键也称θ的离手键。（3）用Y∧和Y∨及“HAIRWIDE”和“HAIRNARROW”键，移动切割区与基准线重合并使基准线宽度与切割区相符。注意结束该校准前，请按Y∧键结束。此键也称Y方向的离手键。（4）按亮“INDEX”键，用Y∧和Y∨键来确认Y步进值与被加工工件在CH1方向上的步进相符。（5）按“ENTER”键结束工件CH1的校准，此时工作盘将自动旋转90度，以便执行工件CH2的校准。方法同CH1校准相同。（6）按“ENTER”键结束CH2的校准后，按“START”键开始执行自动切割。此时机器上面的信号塔的绿灯亮起，主轴自动旋转到设置的转速，切割水自动打开。切割先从CH2切，待CH2切割完毕后，然后工作盘自动旋转90度，开始CH1切割（CH2和CH1切割方向均为从前向后切），直到切割结束。（7）按“C/TVAC”键，再按“C/TVAC”键，工作盘自动的向右移动且显微镜移到后面，然后真空关闭。此时可取下工件。23第二十三页，共三十五页，编辑于2023年，星期日F2:半自动切割在半自动切割中，机器仅能切割一个CH。具体操作如下：（1）从主菜单下，按F2键，工作盘自动的移到显微镜下。此时半自动切割界面出现。通过调整显示器右边的光线调节旋钮和显微镜右侧的焦距调节旋钮，使得工件在屏幕上清晰的显示。（2）按F4键，单一街区校准界面出现。CH1的θ校准和切割区与基准线校准及步进效验方法同自动切割相同。（3）完成上述调整后，在执行切割前，应通过选择F5（向后切）和F10（向前切）来选择切割方向。确认切割方向后，按“START”键，此时半自动切割开始，机器上面的信号塔的绿灯亮起，主轴自动旋转到设置的转速，切割水自动打开。直到CH1切割完毕。注意：切割的起始点，可以自选。（4）按“C/TVAC”键，再按“C/TVAC”键，工作盘自动的向右移动且显微镜移到后面，然后真空关闭。此时可取下工件。24第二十四页，共三十五页，编辑于2023年，星期日基准线校准修正：在切割中，为了使切割痕与基准线保持一致即，使切割在所校准的位置上执行而作的修正。具体操作如下：（1）在切割过程，按“START/STOP”键，机器会暂停切割，工作盘移动显微镜下，修正界面出现。（2）用Y∧或Y∧键使基准线与实际的切割痕调到相吻合。注意：应用Y∧结束调整。（3）按F1键，机器将修正基准线与切割痕的偏差。（4）按“START/STOP”键，机器将重新开始切割。（5）再按“START/STOP”键，检查修正是否精确，如若需要继续修正，重复上述过程。（6）按“START/STOP”键，机器重新开始切割。10.划片过程中的校准25第二十五页，共三十五页，编辑于2023年，星期日切割位置修正：在切割中，为了使切割痕位置处于切割区的中心所作的修正。这一操作在软刀换硬刀,硬刀换软刀时尤其重要。具体操作如下：（1）在切割过程，按“START/STOP”键，机器会暂停切割，工作盘移动显微镜下，修正界面出现。注意：若发现基准线与切割痕不重合应首先做基准线与切割痕的修正。（2）用Y∧或Y∧键将基准线与切割区调到相吻合。注意：应用Y∧结束调整。（3）按F5键，机器将修正切割痕与切割区位置的偏差。（4）按“START/STOP”键，机器将重新开始切割。（5）再按“START/STOP”键，检查修正是否精确，如若需要继续修正，重复上述过程。（6）按“START/STOP”键，机器重新开始切割。26第二十六页，共三十五页，编辑于2023年，星期日切割速度的改变：在切割进行或切割暂停中，切割速度可以被改变。具体方法如下:在切割进行中的方法：（1）在切割界面中，用数字键在“速度改变”栏中，输入新的速度。（2）按F7键，机器在切下一线时，开始执行新的速度。在切割暂停中的方法：（1）在切割暂停界面中，用数字键在“速度改变”栏中，输入新的速度。（2）按F7键，再按“START/STOP”键，机器在切下一线时，开始执行新的速度。27第二十七页，共三十五页，编辑于2023年，星期日11.划片刀的更换在主菜单界面下，按F5键，进入“刀片维护”界面，然后再按F1键，进入“刀片更换”界面。此时主轴停止旋转，切割水停止喷出且Y轴向后移动到换刀位置。打开防水盖，取下前喷水盖。如若机器带“BBD”（刀片破损检测器），还应将“BBD”升到最高点，以便卸刀。使用换刀工具卸下固定刀的螺母，取下刀片。28第二十八页，共三十五页，编辑于2023年，星期日用蘸了去离子水的棉签清洁“BBD”传感器的表面（切记不要用酒精棉球），按F10键，进入“刀片破损检测的调整”界面。检查灵敏度的读数是否在90%至100%范围。反复清洁几次，仍达不到要求，找设备维护人员执行放大器调整，使之达到正常范围内。装上新的刀片，并确认刀片与刀架之间应接触良好。用设有大于30kgf.cm扭力矩上紧刀片固定螺母。如若机器带“BBD”（刀片破损检测器），调节BBD的下降旋钮并在“刀片破损检测的调整”界面中检查并确认敏感器电压在5％－15%之间。BBD传感器29第二十九页，共三十五页，编辑于2023年，星期日检查并确认刀片种类、规格是否正确。否则按F5进入，再按F10键，进入刀片库中选出正确的规格。硬刀选用27HECC,软刀选用SOFTBLADE再退回“刀片更换”界面，此时界面已经更换了新的种类及规格。或者手动输入刀片的各项参数。将光标移到“新/旧”拦，按F1键，选择新刀或旧刀。硬刀换软刀或软刀换硬刀时要更改主轴转速和使用寿命。硬刀:30000rpm,4500feet软刀:18000rpm,850feet再按“ENTER”键确认刀片已更换。装上前喷水盖，关上防水盖。按“SYSINIT”键，机器执行初始化。按“EXIT”键，界面将返回“刀片维护”界面，再按“EXIT”键，界面将返回主菜单界面。更换新刀片后,会自动调用磨刀程序。30第三十页，共三十五页，编辑于2023年，星期日硬刀装配示意图31第三十一页，共三十五页，编辑于2023年，星期日软刀装配示意图32第三十二页，共三十五页，编辑于2023年，星期日按”EXIT”将画面退到主菜单界面下。让主轴带着切割水自由运转5到15分钟。关闭切割水，再让主轴自由运转15分钟。关闭主轴，按“SYSINIT”键，对机器做初始化。用X轴方向键，移动工作盘到左端。打开防水盖。戴好防护手套，用镊子将碎屑捡出，再用软刷清理右边“BELLOW”上的赃物。关上防水盖，用X轴方向键移动工作盘到右端。打开防水盖，用镊子将碎屑拣出，再用软刷清理左边“BELLOW”上的赃物。关上防水盖，按“SYSINIT”键，对机器做初始化。将机器前面板上的钥匙旋转到“OFF”位置，此时钥匙上方的电源指示灯熄灭。将机器后面电路断路开关旋转到“OFF”位置。关掉变压器开关。关掉主轴冷却水和切割水以及压缩空气的阀门。12.关机方法33第三十三页，共三十五页，编辑于2023年，星期日13.安全操作说明

13.1只有在划片刀轴停止转动后，才能去掉保护装置。

13.2当机器处于工作装态时，不要把手或其它东西放在机器运动部件的附