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超高真空系统简述超高真空系统的配置获取设备有机械泵，分子泵，离子溅射泵和钛升华泵。机械泵利用机械的方法抽气获得真空的设备都称为机械泵。其大致的原理如图1图1分子泵原理示意图从泵中排出去。分子泵到泵的出口。复合分子泵是由以上两种分子泵串联起来组成的复合型的分子泵。的过程中要注意启动分子泵所需要的最低真空度。而且分子泵对氢的压缩比较低，需要使用升华泵来克服这个缺点。离子泵2溅射离子泵(200～400L/s)10-5～10-7PaArCH10-8Pa，因此要4求离子泵在10-7Pa范围内仍保持其名义抽气速度，同时要求泵极限真空1×1-9PaRIB10-7Pa无法正常工作。

图2离子泵原理示意图升华泵VACOM钼合金丝(85%钛，15Ar，是制作钛升华泵的理想材料。3变化时一般不会损坏。图3钛升华泵示意图超高真空搭建的几种方式图3钛升华泵示意图有一下几种方式：由分子泵串联机械泵组成的超高真空系统，这种系统要求在机械泵的分子泵串联分子筛吸附泵,则它们就构成了无油的超高真空系统，这个系统比较清洁。械泵的入口管道上要加过滤器来捕集油。由扩散泵串联扩散泵(作为中间泵)然后再串联机械泵组成的真空系统由扩散泵和钛泵并联作为主泵,让扩散泵单独串联前级机械泵组成的真空系统。如钠灯超高真空封接炉系统。它可以达到的极限真空度为1.33×10-6Pa的主要成分是H2，约占90%左右，其余成分以CO，水份等为主。钛升华泵抽H2及CO的效果非常好，但对惰性气体几乎没有抽速，而溅射离子泵对惰性气体的抽速很高，因此我们可以搭配溅射离子

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