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人工宝石及宝石优化处理教育部职业教育宝玉石鉴定与加工专业教学资源库GemsandJadeIdentificationandProcessingTeachingResourceLibrary化学气相沉积法的原理化学气相沉积法的原理CVD的机理是复杂的，那是由于反应气体中不同化学物质之间的化学反应和向基片的析出是同时发生的缘故。基本过程:通过赋予原料气体以不同的能量使其产生各种化学反应，在基片上析出非挥发性的反应产物。化学气相沉积法的原理图3.14表示从TiCI4+CH4+H2的混合气体析出TiC过程的模式图。如图所示，在CVD中的析出过程可以理解如下:化学气相沉积法的原理图片来源-----百度文库化学气相沉积法的原理①原料气体向基片表面扩散;②原料气体吸附到基片;③吸附在基片上的化学物质的表面反应;④析出颗粒在表面的扩散;⑤产物从气相分离;⑥从产物析出区向块状固体的扩散。CVD的化学反应必须发生在基体材料和气相间的扩散层中。谢谢观看！

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