蔡司EVO18电镜技术说明

钨灯丝扫描电镜技术文件仪器型号：EVO18目录附件一、品牌介绍附件二、设备用途附件三、技术指标附件四、供货范围附件五、计划进度及培训附件六、环境要求附件七、质保及其他服务附件一：聚焦·CARLZEISS世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司企业始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创立了数个第一：第一台静电式透射电镜(1949)第一台商业化扫描电镜(1965)第一台数字化扫描电镜(1985)第一台场发射扫描电镜(1990)第一台带有成像滤波器的透射电镜(1992)第一台拥有Koehler照明的200kV场发射透射电镜(2003)第一台拥有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)CARLZEISS其前瞻性至臻圆满的设计交融欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立到此刻，素来连续不断创新的传统，企业拥有宽泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的解析技术的加入、可为您供给钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIBandSEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。。其产品的高性能、高质量、高可靠性和牢固性已获得全球广大用户的相信与认可。作为全球电镜标准创立者的CARLZEISS将一路领跑高端电镜市场为您首创研究纳米科技的崭新纪元。CarlZeissSMT手下的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销企业和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。附件二：设备主要用途扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），尔后加以收集和办理，从而获得表征试样面貌的扫描电子像。扫描电镜（SEM）宽泛地应用于金属资料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属资料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。在资料科学、金属资料、陶瓷资料半导体资料、化学资料等领域，进行资料的微观面貌、组织、成分解析。各种资料的面貌组织观察，资料断口解析和无效解析，资料实时微区成分分析，元素定量、定性成分解析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相判断，晶粒尺寸、形状解析，晶体、晶粒取向测量。选配第三方附件：能谱仪：即X射线能量色散谱仪,简称EDS主若是用来解析资料表面微区的化学成分,解析方式有定点定性解析、定点定量解析、元素的线分布、元素的面分布。波谱仪：(即X射线波长色散谱仪,简称WDS)，用作微区成分解析。解析精度方面比能谱仪精度更高，能够做成分的定量解析。EBSD(电子背散射衍射仪)：EBSD主要可做单晶体的物相解析,同时供给花式质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特采用向图、共格晶界图、特别晶界图,同时供给不同样晶界种类的绝对数量和对比较例,即多晶粒夹角的统计解析、晶粒取向的统计解析以及它们的彩色图和直方统计图,还可做晶粒尺寸分布图,将多颗单晶的空间取向投影到极图或反极图上可做二维织构解析,也可做三维织构即ODF解析。离子溅射仪：样品镀覆导电膜（金膜），喷碳，使绝缘资料能够导电，是配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。附件三：技术指标EVO18是一台高性能、功能富强的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，供给高真空成像功能，可对各种资料表面作解析。而且拥有业界当先的X射线解析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像解析。主要参数：光学系统、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝拥有自动加热、自动对中功能。、聚焦：拥有手动及自动聚焦功能。、光阑：三级可调物镜光阑。、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。、图像电平移：±50μm。、放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。、分辨率：高真空二次电子像＜（30kV）；低真空背散射电子像＜（30kV）。、探针电流范围：pA~5μA，连续可调。、聚焦工作距离：2mm~145mm。、电子束气体路径长度：＜2mm。2、真空系统、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。、真空度：最高真空度：优于；低真空压力范围：10Pa~400Pa。、在低真空条件下，保持的工作距离，而且能够做能谱解析。3、样品系统、样品室内部尺寸：φ365mm×275mm。可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm、最大赞同样品重量：不小于5kg。、样品台搬动方式：五轴马达驱动。、样品台搬动范围：X125mm,Y125mm,Z50mm,0°~+90°倾斜，360°旋转。、样品台搬动精度：重复性<2μm；最小步长90nm；漂移<40nm/6min。、样品台拥有接触报警与自动停止功能。、具备样品地址感知功能。注：如配热台样品台XY轴搬动范围必定大于100MM4、探测器系统、具备高真空二次电子探测器。、具备低真空二次电子探测器。（选配）、具备背散射电子探测器。、具备X射线能谱仪接口。、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中随意地址显示其他一种图像。、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。、整机系统控制要求独立控制单元，为检修供给方便。图像解析度：3072x2304扫描点阵操作系统：WindowsXP以及简单友好的SmartSEM扫描电镜操作控制软件显示器：19"TFT5、牛津电制冷X射线能谱仪IncaX-Act、探测器制冷方式：电制冷型。、探测器：硅漂移探头。、有效探测面积：10mm2。20,000cps时的能量辨率：MnKa：≤129eVKa：≤66eVCKa：≤56eV、元素探测范围：Be（4）~Pu（94）、最大输入计数：>750,000cps蔡司电镜独有技术优势世界顶级光学品牌，可见光学和电子光学的领导者。其电子光学前身为LEO，更早叫Cambridge和ZEISS。1965年推出生界第一台商业化扫描电镜；1985年推出生界上第一台数字化扫描电镜。其电子光学产品包括钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、同步双束显微镜(FIBandSEM)、透射电子显微镜等。全部ZEISS系列的电子显微镜全部采用高效率无污染的涡轮分子泵真空系统1.束流牢固，可与电子探针媲美蔡司的扫描电镜配有自动法拉第笼。它安装在扫描电镜的镜筒内，由气动控制其进出，用以直接测量电子束流。镜筒内还含有闭环反响控制系统，以便对电子束流进行精确控制。其电子束流的牢固度优于%/h，已达到电子探针的水平。其他，束流牢固，特别有利于能谱解析，特别是波谱仪的解析工作(若是将来购买的话)。透镜：-----五种观察模式的电子光学系统蔡司是电子光学设计的领导者。其扫描电镜采用最先进的电子光学系统，在电子束对中、消像散、调焦等方面均处于业内当先地位。蔡司扫描电镜的每个镜筒均独立供电所以可供给五种观察模式：分辨率模式、大景深模式、广角模式、解析模式，鱼眼模式。分辨率模式使得高分辨率图像的观察简单；大景深模式有利于特别粗糙样品和大斜面样品的观察；ZEISS束流很大能够到5uA,所以景深度能够达到业内最好。广角模式使得观察的范围很大，最小放大倍数仅为五倍；而解析模式用于能谱波谱解析。鱼眼模式可同时观察九桩样品座的全貌。大景深模式3．设计优化无需复杂附件ZEISSEVO系列已经不需要冷却系统，冷却系统的需求与

E-beam的使用率有关

,若是利用率低耗休会较大需要冷却

,Zeiss对电子束利用率很高耗散很少所以不需要冷却

.而且自己电子束耗散大的话对Column也是一种耗费,会影响仪器寿命.所以Zeiss能够减少这些对仪器的不用要的耗费.所以也不需要空压机等附件，使用方便。其他厂家都需要空压机与冷却系统。4．优异的低真空技术蔡司专利的低真空二次电子探头解决了不导电样品在不做导电办理的情况下在低真空环境下的二次电子像问题。当前在低真空环境下宽泛使用背散射电子探头来获得图像，但是背散射电子信号其实不能够很真实的反响样品最表面的面貌信息，所以能够直接用二次电子信号成像是低真空二次电子探头在反响样品表面面貌信息时最大的优势。ZEISS是低真空技术的研发者。ZEISS的低真空技术能够做到400Pa,超低真空（环扫）可达3000Pa，对一般的非导体比方陶瓷,塑料,头发等能够直接观察,而且能够对含有水分的生物样品比方猪脑,细胞,植物,微生物也能够直接观察,但FEI,日本电子和日立的低真空可是到270Pa,对含有水分等动植物样品都不能够够直接做。技术Zeiss独有Beamsleeve（电子束套管）的专利设计（以以下列图）减小了电子束与样品的气体路径长度（可低到1mm），最大限度的将电子束与样品室内的荷电补偿气体隔走开来，使得在低加速电压时，电子枪的虚假电子源在光轴上的搬动距离最小，防备低电压下电子束斑在样品表面上的大范围离焦，保证在低电压和低真空条件下供给高分辨率的尖利图像，同时电子束能量没出缺失和扩散保证能谱解析的正确。Beamsleeve（电子束套管）还起到了间隔样品室的低真空与Column的高真空保护了Column不受污染,所以ZEISS的EVO系列几乎不需要去冲刷Column，同时由于其仪器的设计aperture（光阑）很难堵也是十几年都不需要更换（到此刻ZEISS大陆的钨灯丝的用户还没有更换过aperture（光阑）的历史）。而其他家的钨灯丝则需要1-2年更换aperture（光阑）,3年左右就需要冲刷Column。而ZEISSEVO系列是不需要的。最短的X射线解析工作距离：ZEISS的电镜能谱仪的解析工作距离能够低到8.5mm,为业内最低.一般能谱仪的分辨率都是用特地的样品吸附在能谱仪的探头上(以以下列图左侧探头)测的,实质使用样品与能谱仪的探头有很长的距离,所以实质使用是达不到标准的分辨率,而ZEISS的做工能够使能谱仪低到8.5mm为业内最低,所以能谱仪能够达到更好的分辨率.另一方面由于一般SE的成像若是上千倍工作距离是5-9mm,而也在5-9mm之间所以客户能够一边做SE的成像一边做EDS元素解析,使用特别方便.而其他家的能谱解析距离都是10mm,12mm,所以在做完SE成像必然要调整样品台等,而且需要重新聚焦等工作,而ZEISS不需要调来调去,直接SE拍完直接用能谱电脑进行解析,使用特别方便.EBSD的几何共面：在全部的EVO仪器中，镜筒的电子光学光轴，EBSD摄像机，EDS探测器和试样的倾斜方向均处于同一平面。这种几何上的共面设计最适合于先进的EBSD研究，还可同时进行能谱解析。而其他厂家的背散射衍射和能谱只能分开做。制造工艺ZEISS的电镜做工方面特别精巧，比方其样品室是近似于椭圆形的是由于其是由整个物体掏空做成的，所以其抗磁，防震，抗躁声的收效比较好。所以其仪器性能能够做的比较好.整台设备的电器部分只有四块电路板组成，故障率低，方便保护。超大样品室和样品台样品台的尺寸是决定其品位和价格的重要因素。蔡司扫描电镜的样品室超大，采用气囊式减震系统，接口升级空间大，数量达11个，为今后安装各种附件供给了最大的方便。样品台搬动范围大，X，Y，Z分别为125mm,125mm,50mm。便于多样品观察，同时可升级为用于原位观察的高温热台电镜。9、高定位精度的数码控制装置蔡司的马达样品台由于装备高定位精度的数码控制装置，在X、Y和Z，R,T五轴方向是高搬动精度的马达台，搬动精度为90纳米。而其定位精度即可达到2微米。当结合能谱仪在大范围内进行特点物的找寻并最后判断特点时，需要绝对精确的远程回位，此功能特别适用。10.创新的控制理念：蔡司独创的多功能控制键盘将电镜复杂的操作全部集成到一个多功能键盘上，可实现电镜功能的全部调治，大大提高工作效率。EVO18扫描电子显微镜软件功能：1．简捷易用的图形用户界面，实现整个电镜系统的操作、控制、调整、参数及状态显示。2．OptiBeam功能：ZEISS专利，最正确电子光学性能与方便使用相结合。据有以下工作模式：a.分辨率模式：对于任何选择的探针电流，自动选择最小的探针直径。b.景深模式：自动选择最大的景深，致使于在低倍时保证清楚成像。c.解析模式：对于探针电流的改变，自动保持聚焦。d.视场模式：大视场与大景深结合的引导模式。3．样品引导：经过精确图形显现的样品台、样品室和探测器的地址引导。以便用户更快的找到所要观察的样品和部位。4．放大倍数预置与自动补偿预置：用户可自定义放大倍数表，可方便的表中选择放大倍数，很简单加入一个对于工作条件自动选择的可用的最低放大倍数。自动补偿：对于工作距离或加速电压的改变，正确地校正放大倍数。5．真空系统自动控制，各阀门的自动切换，真空状态及真空度的测量及显示，安全保护功能。样品室压力自动调治（VP模式）。6．样品台初始化、样品台坐标显示、极限报警与自停。7．样品台搬动控制：用键盘、鼠标在屏幕图形上或用可选的控制杆控制。矫捷度与放大倍数相协调。8．样品台引导、坐标记忆：使用拥有精确、可变倍的3D样品台视图和完满的EVO?MA10样品座清单的SmartSEM?图形。在样品上感兴趣地址的简图或坐标值能够被保存，以帮助今后的引导。9．样品台缝隙补偿，提高样品台的搬动精度。10．与其他隶属设备（如EDS）的通讯。11．图像收集、办理、储藏、输出。包括图像的复制、剪切与粘贴、信号反转等。12．自动选择电子枪偏压：从高出1000个数值的设置中自动选择，以保持对全部电子束能量的最正确电子枪状态。13．电子枪自动对中。14．自动电子枪启动：将电子枪状态自动设置到最正确状态或预置值。15．协助光栏对中（聚焦摇动（Wobble））。16．自动聚焦、自动消像散。17．自动亮度、比较度控制。18．EHT（高压）补偿：在整个电子束能量范围，自动补偿使聚焦变化最小。19．旋转补偿：对工作距离改变时造成的图像旋转的自动校正。20．动向聚焦：样品表面在-80°到+80°之间倾斜时，对聚焦进行校正。21．信号混杂：任何两个探测器信号输入能够被混杂，以增强和改进图像信息。22．扫描方式及速度控制。正常：全屏扫描。选区（小光栅）：可调的减小面积扫描以精巧调整像散、聚焦等。定点方式：赞同电子束斑定位于由X和Y随意确定的地址。电子束在样品上的地址由附加在样品冻结图像上的十字线来指示。线扫描：赞同在样品的一条线进步行屡次扫描。这条线的地址可随意调整。线轮廓：沿着选择的线扫描显示信号电平的变化，以便进行比较度和亮度的精确调整。扫描速度：十五种非隔行电子束扫描速度。最快扫描速度是每秒10帧，最慢的速度是21分钟一帧。23．扫描速度的快捷方式：赞同用户设定扫描参数、图像模式和降噪的特别组合法，以便使用更加方便。24．扫描旋转：在全部的扫描速率，进行360度连续扫描旋转。在不转动样品的情况下实现图像的旋转。25．倾斜校正：在倾斜样品时对图像的压缩进行校正。26．降噪功能：帧平均：帧叠加、行平均、行叠加。27．分屏显示：在一台监察器的两侧实时显示同一视场的图像，两侧的图像能够来自两个探测器。图像的一半能够选择办理和冻结。28．直方图：显示实时和储藏图像的灰度电平直方图。用光标控制能够显示任一个灰度电平的幅度。29．轮廓方式：沿着选择的线显示灰度电平强度。对于储藏图像，线的方向可随意调整。30．伪彩色：使用来自多达1600万种颜色彩色板的颜色查察表编写功能，可对图像进行伪彩色办理。31．数据区标准数据区：显示以下信息：加速电压、工作距离和比率尺。定制数据区：能够使用任何可用的系统参数组合成定制数据区，比方光栏、探测器等。数据区信息能够显现或不展此刻硬拷贝输出上。文本与背景颜色，包括透明的，随意可选。32．系统状态菜单：工作参数能够使用系统状态显示进行监察。任何可用的系统参数，如亮度、比较度，能够从显示中选择。状态显示选择表能够随意存贮和调用。33．说明：用户文本能够从键盘输入到储藏或实时图像上的任何地址。能够使用Windows操作系统的字体和尺寸，能够加上固定的和可调的微米标尺。文本的颜色、风格和背景可随意选择。依照需要，覆盖层文本能够单独储藏或与图像一起储藏。34．测量功能：线宽度：确定在实时或储藏图像上的一对垂直或水平线之间的距离。能够同时显示一个水平和一个垂直测量。点间距：确定在实时或储藏图像上的一对光标中心之间的距离和方向角。能够同时显示两组点间距测量。角度：确定在实时或储藏图像上由三个光标所决定的包括角。能够同时显示两组角度测量。直径：确定在实时或储藏图像上由两个光标中心所决定的圆的直径。能够同时显示两组直径测量。35．鱼眼方式：用于使用超大视场进行快速引导，能够观察在九桩样品座上的全部样品桩。牛津仪器IncaX-Act能谱仪详细配置及功能专利的X-Act解析型SDD硅漂移探测器SuperATW窗口，10mm2大面积活区；在MnKα处的分辨率:优于129eV(计数率>20,000cps)；解析元素下限：Be4独立封装FET，圆形SDD晶体两级电子制冷不用时无需通电，即热循环设计通电2分钟后即可达到牢固的工作温度无漏磁准直器设计高性能，低噪声，专利的X-sight电荷复位技术；2.INCA系统显微解析办理器(分立式设计)IncaX-stream显微解析办理器探测器高压偏压电源。6个程序可选时间常数和4个能量范围(10,20,40,80KeV)的数字信号办理器计算机控制的数字脉冲办理器，输出最大计数率300,000CPS,可办理最大计数率700,000CPS,在全部办理时间常数上全自动校正活时间校正。三个鉴别器覆盖全范围的反脉冲积聚，直至下限铍。数字零点牢固器。探测器控制系统。IncaMics显微解析办理器带有储藏器和协助电路的高速微控制器，用以收集和办理X射线信号。IEEE1394数据接口，用以高速传输数据到/自系统计算机。二个RS232串口或一个RS232串口和一个LASERBUS口。在线(板上)的诊断包括测试脉冲发生器，连续监察：电源探测器指示波形机箱温度线性电源吻合美国和欧洲电磁规定，并执行CE标记。SUPERSCAN–先进的超级数字扫描系统。使用数字信号办理器(DSP)控制扫描和图像收集，以达到最正确的性能和速度。电子图像最大清楚度2048*2048全谱面分布图最大清楚度1024*10242MB的VRAM用于图像数据。4MB的DRAM用于SmartMap的数据缓冲储藏器(传输到PC从前的数据)包括Kalman噪声限制程序，在快速扫描和限制图像噪声之间兼顾和控制。同步图像收集和数据传输到PC(零等待)。12位DAC用于数字化电子束定位。电镜图像接口电缆。INCAEnergy软件导航器真实的32位软件独一无二的导航器界面,特别友好，中英文自由切换,引导用户从启动解析项目到打印实验报告的全部显微解析过程。用户可简单地在导航器之间切换，直接面对工作流程和IMS，以便直接看到自动解析过程的进展。Advisor专家顾问Advisor是一个专家多媒体显微解析教育系统，并全集成到应用软件的各个层面。其拥有以下特点：在线式中文帮助系统，在显微解析的每个步骤上给您建讲和指导-多媒体显微解析百科全书，供给显微解析原理，和实验的综合说明指导。-附送显微解析多媒体光盘,寓教于乐信息管理系统(IMS)独到的数据树结构设计。每个项目都将数据有逻辑的组织成与感兴趣区对应的‘样品’。数据包可有保护的从一个感兴趣区拷贝或搬动到另一个感兴趣区。样品可在下面之间拷贝或搬动。数据可在用户定义的时间间隔保存。应用软件之间可共享数据。灵便的数据保护或共享。实验报告打印预览。文字框,可输入解说。单键生成Word,或HTML等格式的报告输出。生成文字文件。在电子图像和X射线分布图上解说。可拷贝谱，图像，X射线分布图，线扫描等数据到其他软件，如WORD以各种文件格式输出谱，图像，X射线分布图，线扫描。报告模板生成器可拟定您自己的报告格式。IncaX-Act包括个导航器：Analyzer定性定量解析导航器Point&ID选点及电子束控制收集导航器Mapping元素面分布解析导航器IncaX-Act包括以下软件和功能：Beam&StageAutomation电子束,样品台自动化控制系统――可在牛津能谱仪的计算机上实现对扫描电镜电子束的控制Point&ID电子束控制收集模块，含有特点王组件――控制电子束对选定的点、地域、复杂形状或同样成份的地域进行解析ElementMaps多元素的面扫描――可获得随意多种元素的分布情况,并可用不同样颜色表示SmartmapSpectrumReconstruction;Smartmap谱重构――全部数据一次Mapping收集,能够随意增加删除元素,进行谱图重构.而且Mapping数据能够被其他导航器(Analyzer和Point&ID)调用,以便脱机办理及定量解析ElementExaminer元素侦探功能――可对特定元素,如重叠严重及含量较低的元素进行鉴别,并判断其分布ElementLinescan多元素的线扫描――能够获得随意多种元素在所选随意方向的直线上的分布情况ProfileOptimization峰形优化――对元素峰形进行优化,能够对复杂峰重叠正确去卷积BackgroundRemoval本底扣除――能够收集本底信号的面分布图及进行线扫描,所以在面扫描和线扫描时也能够进行手动本底扣除运算SpectrumReconstruction谱图重构――能够手动对谱图进行重构,直观地检查复杂峰形可否标定正确CheckTotal检查总量功能――依照谱峰和本底的强度来检查重构的谱和收集到的谱图的一致性SpectrumComparison多谱比较――将多个收集到的谱图或储蓄的谱图进行相互比较SpectrumSubtraction谱的相减――对两谱图进行相减,能够去除基体的影响,改正确的判断微区的成分LightElementQuantitativeAnalysis轻元素定量解析程序，采用XPP模型，比ZAF精度高数倍――最新显微定量解析修正程序，大大提高解析精度QuantOptimization定量最优化――将仪器校正到最正确状态,以保证极高要求的定量解析结果Normalized&UnnormalizedQuantitativeAnalysis归一化及非归一化解析――能够很方便地获得归一化及非归一化定量解析结果Standardized&UnstandardizedAnalysis无标样解析及有标样解析――能够采用完满无标样法,也能够成立自己的标样库ProcessOption:AllElements,ElementByDifference,ElementByStoichiometry多种定量结果办理方法――除对全部元素定量外,还可以够选择用差额法及化学式法进行办理,以适合各种不同样种类的样品的定量解析，化学式法同样能够获得非归一化结果。FastAcquireSpectra快速收谱――快速收集能谱图AutoElementIdentificationandLabeling,includingsumpeak元素自动鉴别及标定――能谱图中谱峰的自动鉴别并标定(包括和峰的鉴别)InteractiveVolumeDisplay电子束作用区大小实时显示――只须点击右键即可显示当前状态电子作用区的大小ImageProcessFunction图像办理功能――可测量数字图像中不同样灰度所占的面积比,测量颗粒大小,调治比较度,亮度,输出为其他格式等SpectrumManipulationandDisplay谱办理以及显示――对谱图进行运算并显示结果IMS(InformationManagementSystem)信息数据管理系统――全部项目，样品清楚了然的以树状结构及小图标显示Project项目管理――表记项目，利于项目结果查找和标准化管理Sample样品管理――表记样品，利于样品，结果查找和标准化管理MicroscopeSetup电镜设定――对电子束，计数率等作最优化设定AutoColumn自动电镜镜筒控制和参数读取(KV，电流，WD，放大倍数等)――可读取电镜参数DataExportinmanyofformat数据以多种方式输出――包括图谱，图像等，便于编写和交流CreateWordDocument生成WORD文件――单击图标即可自动生成WORD文件ProjectExportas‘以HTMLHTML’格式输出项目――有利于减小文件容量，便于网上传输和发送AccesstoOxfordInstruments’web协助site进牛津网站――单键点击进入牛津网站,下载多种合用程序或最新产品AccesstosomeISISapplications可进入ISIS能谱仪应用软件区并可使用――可使用牛津ISIS软件，查察ISIS格式的结果OfflineAnalysisFunction离线解析功能――全部解析结果均能够脱机今后进行再办理,并进行谱图重构,离线定性定量解析,图像显示及办理EasyUpgradeonIncaPlatform在Inca平台上轻松升级――可轻松追加波谱和EBSD,三位一体共享同一计算机,大大扩展电镜功能附件四、供货范围ItemProductDescription项目产品说明BasicUnitEVO18.Tungstenemissionsystem,airadmittanceto400Pa,5-axismotorisedstagewithsoftwarejoystick,SE-detector,andmultilingualWinXPProItem

ProductDescription项目

产品说明EVO18

主机。钨灯丝发射系统，低真空工作可达

400Pa，带有软件控制杆的

5轴马达驱动计算机居中样品台，二次电子探测器，

WinXPPro操作系统。19"colourflatpaneldisplaymonitor19"彩色平板显示器DualJoystickStageController双控制杆样品台控制器Forsimultaneousandcompensatedcontrolofall5motorisedstageaxis.用于同时与补偿控制马达驱动样品台的全部5个坐标。Controlpanelwithrotarycontrolsandkeyboard.UKEnglish旋钮操作控制面板ChamberscopewithIRilluminationdisplayedtofullscreen(stagedoormounted)带有红外照明的样品室观察StagedoormountedCCDcamerawithIRilluminationforinternalchamberviewing.TheCCDimageisdisplayedontheSEMdisplaymonitor.样品台门上安装拥有红外线照明的CCD摄像机，用于样品室内部观察。CCD图像显示在SEM显示器上。CentrePointandCentreFeature.Tobringapoint,orarea,tothecentreofthefieldofview中心点与中心特点软件。把一个点或地域移到视场的中心OptiBeammodeforverylowmagnificationimagingduringnavigation.鱼眼模式用于低倍率观察AdvancedMeasurement.Additionalangularandradialmeasurements高级测量软件LM4QBSD-1kV16mmdiode.背散射电子探测器ItemProductDescription项目产品说明Externalscaninputandvideooutputcable外面扫描输入与视频输出电缆（能谱仪接口）ExternalInterfaceenablingexternalcontroloftheSEMscanningsystem,withvideooutconnectionsfordetectorsignalanddotmapinput.能够进行SEM扫描系统的外面控制的外面接口，对于探测器信号与点分布输入用视频输出连接。OxfordX-ActEDX牛津电制冷能谱仪X-ActSpareParts备件12.Rotarypumpoil旋转泵油2升Carbonconductibleadhesivetape碳导电胶带4卷灯丝20粒(含一年保修，运输费）附件五、计划进度及培训Attachment6:Plan&Training交货期为收到L/C后六个月.Systemdelivery:6monthsafterreceiptofL/C供方与需方配合进行：1．设备到达需方地址后，供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。Aftersystemarrives,sellerwillstartinstallationwithin14daysuponarrivalnotification.2．安装调试达成后，马上对用户人员进行培训。Aftercompletionofinstallation,on-sitetrainingwillcommence.培训内容：-电镜及附件的操作MicroscopeBasicOperation电镜及附件的平常保护Microscopedailymaintenance样品观察、解析、获得图象SampleAnalysisandimagetaking3．培训时间3-5天或可针对用户情况延长时间。Standardtrainingtakesminimum3-5andcanbeextendedifnecessary.附件六、环境要求Power电源

100-240V50/60HzSinglePhase100-240V50/60Hz单相Consumption2kVA–3kVA(dependentonaccessoriesfitted)功耗2kVA–3kVA（取决于安装的附件）AmbientTemperature环境温度RelativeHumidity相对湿度CompressedNitrogen

groundoflessthantoΩearthisrequired.A5-meterlongearthcableissuppliedwiththeEVOandshouldbeconnectedtoaseparateM8earthstud.进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于SEM需要一个13安培的电源插座，另加一个用于旋转泵的插座（如果系统是带有两个旋转泵的EP，则另加两个插座）。用于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给周边可能产生异常搅乱的仪器。需要一个小于Ω接地电阻的保护接地。一根5米长的接地线与EVO一起供给，并将连接到独立的M8地线螺栓上。20-30oC.Itisrecommendedthatforoperatorcomforttheroomtemperatureismaintainedbetween22oand24oDegC.20-30oC。为了操作者的酣畅，建议室温保持在22oC和24oC之间Lessthan65%小于65%Drynitrogenishighlyrecommendedforchamberandpumpventilationduringspecimenexchanges.Theminimum压缩氮气

pressureshouldnotbelessthan

bar;otherwise,强烈建议，在样品更换时期用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于

bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必定限制在

bar。在高于周围压力bar时，在样品室打开时氮气的耗资量大体是3l/min。氮气的纯度应约为%。供给的管子为4mm内径和6mm外径。RotaryPumpExhaust旋转泵排气

Therotarypumpproducesoilmistduringpumpdown,thiscancontaminatetheenvironmentandcreateahealthhazardwhenusedinenclosedsurroundings.Theoilmistfiltersuppliedand/oranexternalexhaustmustbeconnectedtotherotarypump.Thepipeshouldbeaplastictubewithaninnerdiameterof10mm.在抽真空时期，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必定连接供给的油雾过滤器和/或外面排气。管子应为内经为10mm的塑料管。VibrationVelocityLessthan6μm/secrms.from0-30Hz.震动level:Lessthan12μm/secrms.above30Hz.速度水平：Measurementdirections:XYandZ小于6μm/secrms。从0-30Hz。StrayMagneticField杂散磁场

小于12μm/secrms。30Hz以上。测量方向：X、Y、Z-7Themaximumpermissiblestrayfieldintheroomis3x10T(peaktopeak)=3mG(peaktopeak).室内最大赞同杂散磁场为3x10-7T（峰-峰值）=3mG（峰-峰值）。Theenvironmentalandutilityrequirementsaretheresponsibilityofthecustomerandshallbeprovidedatthetimeofinstallation.Failuretocomplywiththeseconditionsmayadverselyaffecttheperforman