电子车间防静电管理工作指引

电子车间防静电管理工作指引QMD-GDWE04.001-2015c修订说明编制/修订缘由说明：为管控电子车间静电问题，特制定《电子车间防静电管理工作指引》，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作。章节号修订(内容)说明修订人/时间\6.1新编完善增加防静电服外观检验条款增加静电手环鳄鱼夹与地线连接特殊要求更新静电工衣（上衣/裤子）、静电帽的测试要求增加静电工衣/静电帽的管理要求更新防静电工衣、防静电帽的清洗要求李然/2015.01.043李然/2015.04.03范围本文件规定了电子车间防静电管理的工作要求，用于指导顺德三分厂电子车间的防静电工作，对电子产品制造工艺进行防静电爱护，削减或消退静电放电对电子产品的损伤，提高产品质量和生产效率，通过建立有效的高质量管理稽核程序，保证各项防静电措施的有效实行。同时规范了静电衣、静电鞋、静电帽、静电手套、静电袖套、车间地面、设备、工装夹具的定期检查进行规范，确保防护用品在满意防护要求条件下进行运用。本文件运用与三分厂电子车间。术语和定义本文件采纳下列定义：静电：物体表面过剩或不足的静止的电荷。静电场：静电在其四周形成的电场。静电放电：ESD(ElectroStaticDischarge)两个具有不同静电电位的物体，由于干脆接触或静电场感应引起两物体间的静电电荷的转移。静电电场的能量达到肯定程度后，击穿其间介质而进行放电的现象就是静电放电。静电敏感度：元器件所能承受的静电放电电压。静电敏感器件：对静电放电敏感的器件。接地:电气连接到能接受大量电荷的物体,如大地等。中和：利用异性电荷使静电消逝。防静电工作区：EPA(ElectroStaticProtectedArea)配备各种防静电设备和器材，能限制静电电位，具有明确的区域界限和特地标记的适于从事静电防护操作的工作场地。依据防静电材料的导电性能，可分为静电绝缘、耗散、导电、屏蔽四种。静电绝缘材料：表面电阻率≥1012Ω；静电耗散材料：表面电阻率105-1011Ω；静电导电材料：表面电阻率103-105Ω静电屏蔽材料：表面电阻率＜103Ω管理职责参加部门防静电物品管控工作是一项细致且许久持续的的工作，须要参加的部门有：工艺、生产、IQC、现场品质、选购 等部门。部门职责工艺主导防静电物品管控工作，建立规范并确保规范条款的落实。完善防静电物品管控工作。新员工防静电学问培训。生产遵守规范要求，定期更换超过运用期的防静电物品。依据清洗要求对防静电物品进行清洗。IQC对新到货的防静电物品依据比例进行检验。新员工防静电学问培训。现场品质：对生产正常运用的防静电物品依据比例抽检。选购 依据工艺要求的技术，找寻合适的资源（仪器、设备等），完善防静电物品管控工作。选购 开报检单，通知IQC进货检验。管理内容ESD敏感分类静电敏感等级的划分器件的ESD失效和一系列相互关联的效应有关。一些影响器件ESD敏感程度的因素包括：ESD电流、能量包络、电场强度、放电的上升时间、器件设计、制造技术和器件的封装类型等。能量型敏感器件的损伤是由于流过双极性结电阻、爱护电阻等的过电流引起。电压敏感器件的损伤是由于ESD电压超过了器件的击穿电压引起。为了比较不同器件的ESD敏感度等级，渐渐发展了三种测试模型，分为人体模型（HBM）、机器模型（MM）和带电器件模型（CDM）,其中常见的模型为人体模型(HBM)。静电敏感电压的分类静电敏感器件的敏感等级分别依据HBM、MM、CDM三种模式进行分类，一般来说，器件的静电敏感电压的凹凸在三种模式之间没有必要的联系。没有特殊说明时，本规范主要以人体模式来描述器件静电敏感电压的相关问题。静电敏感组件的等级依据其上所装的最敏感器件的敏感等级来确定。最初器件的ESD损伤主要采纳了HBM进行分析，随着电子技术和生产工艺的不断发展，MM和CDM类型的静电放电对器件的危害也越来越普遍，因此采纳MM、CDM模式进行分析的方法也渐渐发展。HBM模式的静电敏感等级分类静电敏感器件等级普遍采纳人体模式（人体带电与器件接触）进行划分，全部的静电敏感器件、组件依据人体模式静电放电损伤的阈值被划分为以下等级。车间元器件人体模式电压范围机器模式电压范围霍尔元件<1800V<200V集成电路（插件芯片）<1600V<200VEPA区域的划分防静电区域的划分应以该区域内是否可能出现静电敏感物品为准则，只要有可能出现静电敏感物品就应定义为防静电区，否则定义为非防静电区。前电子车间的防静电区定义为电子产品生产制造车间、电子材料仓库。静电管理的要求电子产品制造现场地面是防静电地板，防静电地板全部用铜片连接，在多次墙壁、梁柱位置设有与地板、地面、建筑结构形成的防静电网络。要求静电线与地线分开，禁止两种地线连在一起。生产用设备、仪器、焊枪等必需与设备静电网络接地连接，仓库中的电子货架必需接地。周转车、精益管架必需接地。安装防静电报警器，以确认静电环与地线的连接良好。各工作台、物料架面必需铺上防静电垫且与接地线连接完好。人体接触半导体、SMT半成品、成品等必需佩戴良好的接地带。全部进入电子产品制造车间人员必需穿防静电工作鞋、防静电衣服,戴防静电工作帽。半导体、SMT半成品、成品在中转、盛装、包装、运输过程中的物品(如框架、吸塑盒、包装袋、镊子及周转工具等)必需具备防静电性。设备接地与人员接地必须要分开接地，以免出现平安问题。静电防护区(EPA)的基本环境要求在进行EPA环境设计时，为达到静电防护的基本要求应遵循以下原则。抑制静电荷的积累和静电压的产生。平安、快速、有效地消退已产生的静电荷。确定静电防护应达到的程度，一般要求EPA内静电压的肯定值应小于100V。EPA必需具有如下的基本环境要求明确的区域界线和防静电警示标记。防静电工作台。防静电接地系统。防静电的设备、工具和包装转运材料，在EPA内禁止运用易产生静电荷的材料。工作区门帘、窗帘、区域隔离帘等应是防静电材料制成，表面电阻小于109Ω,禁止运用一般材料和化纤材料。EPA（静电防护区）温湿度限制EPA区域的温湿度限制要求：温度：20～28℃，湿度：30％～70％RH。产品物料对环境有特殊要求时，应依据物料的特殊需求和实际条件实行相应的局部环境保证措施。EPA区内应配置温湿度计，并在每班次上班前做一次记录。当相对湿度超出规定范围时，必需通知工艺人员协调维护，并实行相应的增湿或抽湿措施。防静电标识防静电工作区、防静电包装材料和转运工具、仪器设备的接地等都应具有防静电标识。防静电标识的作用是警示任何靠近防静电工作区的人员，区域内存在静电敏感器件的操作，警示任何接触静电敏感器件的操作人员，对该器件的操作必需进行静电防护。可接受的防静电警示标识为黄底黑字的说明，警示标识所在位置及其大小应保证在1米范围以内都能够清楚可见。防静电器材、工具和静电敏感物料都必需具有明显的防静电标识，防静电接地系统应有明显的接地标识说明。人体防静电要求人体运动和操作过程是产生静电的主要根源，任何进入防静电区域（警示胶带）或接触ESD敏感器件的人员，必需严格遵守防静电规范，贯彻执行静电防护措施。人体防静电要求接受防静电学问培训和教化是对每个员工的基本要求，是削减静电危害的根本方法和途径之一，EPA区域内的员工必需经过ESD培训并考核合格后方可上岗。任何人进入EPA内需穿戴防静电工衣、工鞋、工帽并通过人体综合电阻测试。工作服外严禁佩戴除工卡和笔之外的金属器件和塑胶制品，员工不得把个人物品如衣物、食品、香烟、各类塑料和纸类制品带入EPA区域内。更换工作服应在指定地点进行，不允许在生产现场穿、脱工作服。防静电工作服、鞋应勤洗、勤换，建议至少每两周换洗一次，工衣、工帽、工鞋不应有破损、污秽现象。进入防静电区域的全部作业人员、接触产品的其它人员。每天上班前应运用接地带测试仪对接地带进行测试，并做好测试记录；每天上班前应运用人体综合电阻测试仪对工鞋进行测试，并做好记录。接地带测试、人体综合电阻测试不通过者不得进入防静电工作区，不得接触ESD敏感器件及组件。接地带不通过者可通过更换重新测试，人体综合电阻测试不通过者首先要确保工鞋没有问题，然后更换静电鞋重测直至OK。外来参观人员原则上只沿通道走，不得接触产品，若接触产品要通过接地带测试。静电手环的佩戴要求佩戴接地带时,金属片必需干脆紧贴皮肤,夹子夹住接地线。每班上班前都必需用接地带测仪器检测全部所佩戴的接地带是否戴好或损坏。为确保静电手环的与接地线连接良好，静电手环的鳄鱼夹要与地线焊接在一起，离岗时静电腕带留在岗位上。防静电工作台防静电工作台表面应有静电耗散型材料制成。防静电表面应耐磨、耐化学腐蚀、耐热并牢靠接地（软接地，串接1MΩ电阻）。防静电台垫必需满意下列要求防静电台垫的尺寸应不小于工作台的尺寸。防静电台垫必需防静电面朝上（绿色、或灰色），导电面朝下（黑色）。防静电工作台垫必需串联一个1MΩ阻值的电阻后接到防静电接地线上。每个工作台只需接一条防静电地线，各个工作台的连接线不能串接，应以并联方式与接地母线连接。压接防静电台垫的静电接地线连接端子时，应从台垫的正面压下，使其贯穿台垫并压紧，以保证接触良好。防静电台垫上随意两点之间的表面电阻为1×106Ω～1×1012Ω。当防静电台垫上有绝缘性油膜、树脂和其它污物时，应刚好运用中性清洗剂或防静电剂进行清洁。每月初对生产线工作台上的防静电垫进行检查,将结果记录在《防静电台垫定期检查记录表》中。设备、仪器、工装、工具防静电工作区内的各种设备、仪器、工装、工具都应实行静电防护措施。为保证放静电效果、消退对人体及敏感器件的危害，应实行下列措施。运用高压电源具有金属外壳的的设备、仪器、工装、工具，必需选用三芯电源插座，并确保其牢靠连接到电源地线上。插头插入插座时，其接地端要首先接地；插头拔出插座时，其接地端要最终断开。防静电工作区的各种仪器、设备、工具、工装的防静电接地，由设备技术员定期检测、维护，每班开工前，由员工目检接地的牢靠性。工装、设备上接触敏感器件和靠近敏感器件的运动摩擦部件必需采纳防静电材料或导体材料（导体材料需钝化处理）制成，并保证这些部件具有牢靠的接地通路，这些部件禁止运用非防静电材料，设备上的导体部件必需实行硬接地。工具、辅材的应用留意事项EPA区域内运用的工具都应具有防静电功能。防静烙铁焊台必需有硬接地通路，焊台的硬接地电阻要求小于1Ω，由于烙铁头长期运用会氧化，日常检查测试时的电阻小于20Ω可接受。防静电焊枪、吸锡枪等电动、气动手工工具在运用前必需首先接地。清洁基板的毛刷必需为防静电毛刷，禁止运用一般塑料毛刷（如牙刷）。工具上接触静电敏感器件的部分应避开运用导体或绝缘材料，应为静电耗散材料。防静电包装材料静电敏感器件、组件、成品在生产制造、存放和运输中所运用的包装材料必需是防静电的，其防静电性能指标应满意：表面电阻：1×104Ω≤RS<1×1011Ω体电阻：1×104Ω≤RV<1×1011Ω摩擦电压：Vf<100V,或在2秒内下降到100V以下屏蔽袋的屏蔽泄漏电压：小于100V用于ESD防护的包装袋、包装盒、隔板应在明显的位置标有厂商名称、生产日期和ESD防护标识，防静电海绵、气珠袋类可无此标识。防静电塑料袋、泡沫、海绵、气珠袋等的材料颜色应采纳防静电通用的警示颜色,即粉红色。用于包装ESD敏感器件、基板、产品的防静电包装材料在温度为25±5℃、湿度为15±5％的环境下，应满意防静电性能指标要求，并且该材料进入公司后，防静电性能指标要至少保持1年。用于ESD防护的包材不能靠表面喷涂、浸泡防静电液来实现防静电功能，而要通过材料本身具有的物理特性或塑料材料通过掺杂导电材料的制作方式来实现该功能。防静电包材的防静电性能指标要匀称。用于ESD防护的包材不能有异味，不能对器件有腐蚀作用。周转工具用于EPA内、EPA间的防静电周转工具其性能指标必需满意：表面电阻：1×103Ω≤RS<1×109Ω体电阻：1×103Ω≤RV<1×109Ω摩擦电压：Vf<100V,或在2秒内下降到100V以下常用的周转工具有：防静电周转车、防静电周转盒、L架，一般为黑色或深色。防静电周转工具要贴有醒目的防静电标识。作业人员对生产运用的防静电容器、防静电周转箱应定期清洁，保持容器和周转箱的清洁和整齐，表面不得有灰尘或其它明显可见的脏物。组长每月组织对防静电桌垫、工具和容器等用酒精进行清洗，保持物件的清洁和整齐。防静电敏感器件的存储存储环境：防静电敏感器件的一般存储条件为温度：20～28℃，湿度：30％～70％存储环境：当存储区域的温湿度不能满意要求时，可通过运用空调、增湿机、抽湿机来调整，直至满意要求为止。对环境有特殊要求的器件或物品（如潮湿敏感器件），请参照相应的作业指导书来设定环境温湿度。静电敏感器件存储区域不得有强电场、强磁场、强辐射场存在。存储器具要求存储静电敏感器件及组件必需采纳防静电的包装材料或器具，并保证存储的封闭性。可用于干脆存储静电敏感器件及组件的器具有：防静电屏蔽袋、IC管、防静电托盘、卷盘卷带、吸塑盒、防静电周转箱、基板周转车等。存储操作要求静电敏感器件及其组件不得干脆放于货架或不具有防静电功能的周转箱内或周转车上，应通过防静电屏蔽袋或防静电周转箱等存放。静电敏感的基板及组件主要采纳屏蔽袋、吸塑盒、防静电周转箱、基板周转车等存放，当采纳防静电周转箱（盒）、基板周转车较长时间存放单板时，应采纳防静电屏蔽袋罩住周转车、采纳屏蔽袋或周转箱盖板盖住箱口，以保证其防静电效果并除尘。静电敏感器件尽量保持原包装状态，严禁随意拆封。用于静电敏感器件的散装清点、分料、发料的工作台必需铺设防静电台垫、并牢靠接地，人员作业时必需带手套、指套或防静电腕带。接地接地是静电释放的关键措施，EPA区必需有牢靠的防静电接地系统，以保证工作中产生的电荷平安有效的释放，避开静电积累。防静电接地必需有一个平安牢靠的防静电接地母线（防静电地线），全部人体、设备、工作台、台垫、工具等以并联方式接入防静电母线。防静电地线的设置防静电地线专供防静电工程器具和人体释放静电荷运用，它不得连接在电源零线上，也不得与防雷地线共用。方法为：从特地埋设的地线接地体引出的接地线，单独铺设到生产线的防静电作业岗位，单独铺设的接地导线通常运用3MM厚、约25MM宽的紫铜皮或用截面大约为4～6mm2的铜芯软线单独引入。埋设地线的原则是埋设地点的土壤电阻系数越小越好，接地体与土壤的接触面积要大，接触密度要高，接触要紧。埋设地线时需留意：接地线与接地体接头要焊接坚固，要有足够的机械强度，引线不要过长；要采纳耐腐蚀的接地体金属。电气爱护地线应当依据动力配电平安管理制度定期进行检验维护，每半年至少检测一次地线配置系统电阻值，要求室内电气爱护地线到大地的接地电阻小于4Ω。EPA内接地方法EPA区域内的全部设备、仪器、AC工具必需牢靠接地；人体接地带、防静电台垫、防静电地板须要串接1MΩ电阻后连接到地线配置系统上。防静电设施的接地，须要运用横截面面积不小于2mm2的多股铜芯软线或电缆作为接地线，要求接地线采纳黄绿色线，接地点应当采纳螺钉、焊接、双线交绕的紧固连接方式，保证连结点连接牢靠、接触电阻小。用万用表测试电源相线与配电房输出的地线之间电压为100V±10﹪,则判定地线相通。用接地电阻表检查接地线与配电房输出地线电阻值小于5Ω为OK。每半年检查一次接地线状况，将结果记录在《地线定期检查表》上。检验要求整体点检要求检验范围：电子车间防静电物品、设备、工装、地面。测试环境：常温常湿。新品检验作为进厂检验项目，选购 开报检单，通知IQC进货检验，IQC依据抽检标准对新购静电防护用品进行检验。现场品质人员对正常运用的静电防护用品随机抽取检验。到货的静电衣发觉的不合格品退货，抽查中发觉的不合格静电物品报废处理。清洗后进行全检，车间、品质部共同负责全检，并记录测试结果。ESD物品点检清单NO名称检查项目负责部门1静电工衣对地电阻IQC、巡检2静电帽（新）对地电阻IQC、巡检3静电鞋表面阻抗车间4静电手环表面阻抗车间5静电手套表面阻抗IQC、巡检6静电指套表面阻抗IQC、巡检7电烙铁接地电阻班组8包装箱子表面阻抗巡检9波峰焊夹具表面阻抗巡检10L架表面阻抗巡检11工作台台面表面阻抗对地电阻巡检12流水线表面阻抗对地电阻巡检13周转车对地电阻巡检14物料架子对地电阻巡检15防静电椅对地电阻巡检16生产设备接地电阻表面静电压巡检17车间地面接地电阻表面静电压巡检检查要求静电工衣（上衣/裤子）、静电帽测试仪器：接地数显电阻表合格标准：对地电阻要求范围：106~1012欧姆。测试方式：将数显接地电阻表接地鳄鱼嘴连接到地线，电阻表的两个金属片与工衣接触，长按测试仪器的PUSHSTART按键，待显示稳定后读数一套静电工衣测试12个点，上衣测试6个点，分别为：上衣左袖、上衣正面左边、上衣正面右边、上衣右袖、上衣反面左边、上衣反面右边；裤子测试4个点：裤子正面左边、裤子正面右边、裤子反面左边、裤子反面右边；帽子测试2个点：帽子外面一点，帽子里面一点。c、测试后记录实测数据，品质人员确认合格后方可运用。静电工检验频率：新购静电工衣，IQC依据抽检标准进行检验；正常运用的静电工衣做抽样检验，每周抽样检验20件，抽检不合格的静电工衣要求水洗，去掉表面的脏污、异物直至合格为止。外观检验合格标准：静电衣/静电帽干净整齐，表面无脏污、异物，衣服及帽子上没有毛絮。静电鞋/静电手环测试仪器：人体静电测试仪器。合格标准：绿灯亮表示测试合格。测试方式穿上静电鞋，站立于电极板上。将测试按键打至“工鞋”，按住测试按键2-3秒。绿灯表示通过。佩戴静电手环于手腕上，静电手环另一侧插入测试孔中。测试按键打至“手腕带”，按住测试按键2-3秒，绿灯亮表示测试通过。步骤1步骤2步骤3步骤4留意事项留意测试操作时手不要触摸到其它金属类部位。假如蜂鸣器报警，应检查静电环本身或接口连接是否正常。电池欠压指示灯亮时应更换电池，更换电池时要留意不能装反电池极性。若静电鞋与脚电极板之间因尘土或潮湿等缘由引起报警，可用无水乙醇清洗并烘干即复原正常。测试频率：每天上午、下午上班前、每次进入电子车间时进行测试，若静电环、静电鞋出现异样应马上更换，将测试结果填写到《PCBA静电测试表》。防静手套/指套测试仪器：数显接地电阻表（型号：3143）。合格标准：阻抗值要求范围：106~1012欧姆。测试方式：戴上防静手套/指套，把表面电阻测试仪的两极按在防静电手套（手指套）上，长按测试仪器的TEST键，测试后记录数据。测试频率：新购防静手套/指套，IQC依据抽检标准进行检验；正常运用的静电衣做抽样检验，每周抽样检验20件。包装箱子测试仪器：数显接地电阻表（型号：3143）。合格标准：表面阻抗值要求范围：106~1012欧姆。测试方法：将包装箱子表面清理干净，将测试仪器按在箱子表面，长按测试仪器的TEST键，待数据稳定后记录数据，一个箱子测试5个点，地面测试一个点，四个侧面各测一个点。测试频率：每周抽测50个箱子。留意事项：不合格的箱子隔离处理，不能再次运用。波峰焊工装/L架。测试仪器：数显接地电阻表（型号：3143）。合格标准：表面阻抗值要求范围：106~1012欧姆。测试方法：把数显接地电阻表按在被测的波峰焊工装/L架上，长按测试仪器的TEST按键，待显示稳定后读数，波峰焊工装在与焊锡接触面选点、L各在1个点，测试完毕后记录数据。测试频率：每周抽测50个波峰焊夹具/L架。留意事项：测试不合格的工装/L架隔离处理，不能再次运用。工作台台面测试仪器：仪器1、数显接地电阻表（测试表面阻抗）。仪器2、重锤式电阻测试仪（测试对地电阻）。合格标准：表面阻抗：106~1012欧姆，对地电阻：106~1012欧姆。测试方法表面阻抗：把数显接地电阻表按在被测的工作台台面上，长按测试仪器的TEST按键，待显示稳定后读数，波峰焊工装在与焊锡接触面选点、L各在1个点，测试完毕后记录数据。对地电阻：把一个圆柱型电机放在工作台台面上，另一个电极与接地线连接，长按重锤。式电阻测试仪上的TEST按键待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱形金属电极3-5次，登记测试的最大数据。数显接地电阻表重锤式电阻测试仪测试频率：每月对工作台台面测量一次。留意事项：不合格的台面喷涂静电喷涂液，再次测试不合格时换掉台面的防静电材料流水线测试仪器：仪器1、数显接地电阻表（测试表面阻抗）。仪器2、重锤式电阻测试仪（测试对地电阻）。合格标准：表面阻抗：106~1012欧姆，对地电阻：106~1012欧姆。测试方法表面阻抗：把数显接地电阻表按在被测的流水线皮带上，长按测试仪器的TEST按键，待显示稳定后读数，波峰焊工装在与焊锡接触面选点、L各在1个点，测试完毕后记录数据。对地电阻：把一个圆柱型电机放在流水线皮带上，另一个电极与接地线连接，长按重锤式电阻测试仪上的TEST按键待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱形金属电极3-5次，登记测试的最大数据。数显接地电阻表重锤式电阻测试仪测试频率：每月对流水线测量一次。留意事项：不合格的流水线喷涂静电喷涂液，再次测试不合格时换掉台面的防静电材料。周转车/物料架测试仪器：重锤式电阻测试仪（测试对地电阻）。合格标准：对地电阻：106~1012欧姆。测试方法：把一个圆柱型电机周转车/物料架上，另一个电极放在防静电地板上，长按重锤式电阻测试仪上的TEST按键待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱形金属电极3-5次，登记测试的最大数据。测试频率：每月对全部的周转车/物料架测量一次。留意事项：不合格的周转车/物料架喷涂静电喷涂液，再次测试不合格时换掉周转车/物料架。防静电椅测试仪器：重锤式电阻测试仪。合格标准：对地电阻：106~1012欧姆。测试方法椅子靠背：将防静电椅子放在钢板上，把一个圆柱形电机放在椅子靠背上，另一个电极放在钢板上，长按重锤式电阻测试仪上的TEST按键待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱形金属电极3-5次，登记测试的最大数据。椅子座垫：将防静电椅子放在钢板上，把一个圆柱形电机放在椅子座垫上，另一个电极放在钢板上，长按重锤式电阻测试仪上的TEST按键待数字稳定后读数。挪动台面上的圆柱形金属电极3-5次，登记测试的最大数据。测试频率：每月对全部的防静电椅子架测量一次。留意事项：不合格的椅子更换处理，不能放在车间运用。生产设备检查仪器：仪器1、万用表。仪器2、红外线静电电压测试仪。合格标准：接地电阻＜1欧姆。表面静电压＜100V。测试方法接地电阻：运用万用表正极连接被测设备，负极与接电线连接，待仪器上的读数稳定后读数并记录数据。静电电压：打开红外线静电电压测试仪的开关，在被测设备上把红外线静电测试仪射出的两条红外线的点合并一点，读数并记录。测试频率：每月对全部