洁净无尘室之定义

洁净无尘室之定义摘要：“洁净室”是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。关键字：洁净室气流速度洁净空间(一)洁净室之定义（供大家参考）洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。(二)洁净室之等级世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E和世界上其它各国制定标准作介绍与相互比较。209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，洁净室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此行推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中>=0.5(m之微尘粒子数目字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。美国联邦标准FS209D都以英制每立方英呎为单位，日本则是采用公制，即以每立方公尺为单位，以0.1(m微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class1，Class2，Class3……Class8表示，最好的等级为Class1，最差则为Class8，以每立方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。(三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。3.温度和湿度之控制。4.压力之调节。5.有害气体之排除。6.结构物与隔间之气密性。7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。洒10.蜻及节能之考量缸。嗓确(杂四季)嘴洁净室之分类经1闸.凶乱流添式刻(Turbu悦lentFl辈ow风)音：岭户空气由空调箱皱经风管与洁净类室内之空气过携滤药器魔(HEPA缘)纷进入洁净室，遥并由洁净室两露侧隔间墙板或搏高架地板回风描。气流非直线蚕型运动而呈不爹规则之乱流或验涡流状态。此糖型式适用于洁斩净室等叹级邮1,000-推100,00维0浅级聪。慌嘉优点：构造简而单、系统建造嘱成本，洁净室恨之扩充比较容章易，在某些特嗓殊用途场所，仅可并用无尘工循作台，提高洁进净室等级隶。铸收缺点：乱流造窗成的微尘粒子践于室内空间飘伤浮不易排出，重易污染制程产兔品。另外若系般统停止运转再指激活，欲达需通求之洁净度，抬往往须耗时相象当长一段时间显。让责2纸.获层流趣式仓(Lamin酱ar禾)喜：辈真层流式空气气小流运动成一均数匀之直线形，轨空气由覆盖夸率芦100久%势之过滤器进入帝室内，并由高株架地板或两侧宜隔墙板回风，廉此型式适用于凳洁净室等级需祝定较高之环境铅使用，一般其生洁净室等级熊为立Class妙1~10希0升。其型式可分伶为二种嘱：软席(1扔)插水平层流式：扩水平式空气自辉过滤器单方向晓吹出，由对边姨墙壁之回风系么统回风，尘埃牲随风向排出室谣外，一般在下暂流侧污染较严岛重友。久宅优点：构造简石单，运转后短险时间内即可变沈成稳定拐。亦侍缺点：建造费叙用比乱流式高贤，室内空间不满易扩充乱。评答(2穷)市垂直层流式：码房间天花板完镰全致以虑ULP冬A纺过滤器覆盖，牙空气由上往下辰吹，可得较高历之洁净度，在捧制程中或工作醋人员所产生的胡尘埃可快速排冰出室外而不会色影响其它工作齿区域精。欲沃优点：管理容焦易，运转开始释短时间内即可根达稳定状态，絮不易为作业状墙态或作业人员渣所影响著。故弦缺点：构造费买用较高，弹性旧运用空间困难趁，天花板之吊眨架相当占空间灿，维修更换过嗽滤器较麻烦厌。敢故3衡.怀复合谱式钳(Mixed胁Type奥)恳：笑酿复合式为将乱萄流式及层流式允予以复合或并遇用，可提供局境部超洁净之空忌气顾。贵梯(1封)驳洁净隧翻道饶(Clean东Tunne益l就)蔬：次以溉HEP茅A壤或教ULP手A艺过滤器将制程甩区域或工作区绳域赞100馅%姻覆盖使洁净度顾等级提高献至板1谦0藏级以上，可节扭省安装运转费奋用。此型式需有将作业人员之鉴工作区与产品俯和机器维修予触以隔离，以避电免机器维修时未影响了工作及爆品质躬，钞ULS需I雄制程大都采用庭此种型式。洁道净隧道另有二爱项优点太：永A宁.删弹性扩充容易饱；而B留.夏维修设备时可抬在维修区轻易赵执行兰。内是(2因)聋洁净管忍道蜻(Clean挠Tube计)惜：将产品流程世经过的自动生纹产线包围并净桃化处理，将洁歪净度等级提猾至区10窃0包级以上。因产厉品和作业员及经发尘环境相互员隔离，少量之揭送风即可得到艰良好之洁净度泡，可节省能源摧，不需人工的泛自动化生产线查为最适宜使用柳。药品、食品释业界及半导体坛业界均适用瞎。塌迁(3寿)棉并装局部洁净贫室携(Clean缓Spot兆)罚：将洁净室等测级误10,000祸~100,0将0裹0扒之乱流洁净室福内之产品制程速区的洁净度等握级提高惨为捞10~100病0寨级以上，以为款生产之用；洁散净工作台、洁雀净工作棚、洁满净风柜即属此居类支。肆痛洁净工作台：淋等恭级漂Class绸1~10配0岂级浓。命垃洁净工作棚：拌为在乱流式之浙洁净室空间内凡以防静电之透华明塑料布围成房一小空间，采饥用独立绑之特HEP赶A酿或饶ULP捕A亦及空调送风机堆组而成为一较螺高级之洁净空笋间，其等级肉为险10~100河0独级，高度在糠2.属5咱米恢左右，覆盖面渴积约韵10M2江以下，四支支丘柱并加装活动敬轮，可为弹性抱运用侍。浑谜(壳五乳)辨洁净室气流之汇流动晒洁净室的洁净协度往往受到气睛流的影响，换行言之，即人、帖机器隔间、建忌筑结构等所产隙生的尘埃之移丰动、扩散受到瞎气流的支配壁。底括洁净室系利麦用债HEP祥A诵、扭ULP辅A夏过滤空气，其禁尘埃的收集率鲜达企99.97~姐99.999泪95读%疮之多，因此经焰过此过滤器过首滤的空气可说屑十分干净。然界而洁净室内除叨了人以外，尚洁有机器等之发企尘源，这些发祸生的尘埃一旦荣扩散，即无法元保持洁净空间体，因此必须利珠用气流将发生慈的尘埃迅速排橡出室外吊。毒诱洁净室内的气愧流是左右净室明性能的重要因崭素，一般洁净枣室的气流速度孙是选咏在汽0.25~胜0.5m艰/晨s面之间，此气流追速度属微风区属域，易受人、尝机器等的动作押而干扰趋于混到乱、虽提高风虹速可抑制此一塑扰乱之影响而碎保持洁净度、核但因风速的提战高，将影响运馒转成本的增加踢，所以应在满粥足要求的洁净绪度水准之时，参能以最适当的雪风速供应，以赖达到适当的风彩速供应以达到储经济性效果燕。掘深另一方面欲达铺到洁净室洁净悉度之稳定效果饮，均一气流之歪保持亦为一重来要因素，均一眨气流若无法保骆持，表示风速群有异，特别是付在壁面，气流西会延着壁面发朗生涡流作用，播此时要实现高害洁净度事实上台很困难谣。脖猜垂直层流式方肚向要保持均一瑞气流必须俯：惠(a并)菠吹出面的风速个不可有速度上贸的差异致；备(b座)凡地板回风板吸凶入面之风速不安可有速度上的杠差异。速度过慎低或过紧高逮(或0.2m浸/炊s奥，朝0.7m无/s蓄)嗽均有涡流之现他象发生，而晒0.5m页/视s极之速度，气流或则较均一，目挨前一般洁净室扮，其风速均取胁在余0.25~志0.5m谱/岭s吐之间顷。防貌影响洁净室的扎气流因素很多雀，如制程设备宜、人员、洁净觉室组装材、照同明器具等，同暗时对于生产设姑备上方气流的骨分流点，亦应摊列入考虑因素敞。叨顿一般操作台或盆生产设备等表斤面的气流分流明点，应设于洁畏净室空间与隔出墙板间滤距诵2/赶3通之处，如此可垦使作业人员工疑作时，气流可炊从制程区内部龙流向作业区，望而将微尘带走闸；若分流点配配置在制程区前息方，将成为不脾当的气流分流遍，此时大部份晨的气流将流至顽制程区之后，朵作业员操作所防引起的尘埃将贝被带到设备后拖面，工作台因码而将受到污染缺，良率也势必锁降低萄。喇帽洁净室内的工梁作桌等障碍物汪，在相接处均链会有涡流现象朗发生，相对地尸在其附近之洁丘净度将会较差疤，在工作桌面怠钻上回风孔，丙将歹使涡流现筋象减少最低；层组装材料之选挡择是否恰当、换设备怖局是否像完善，亦为气担流是否成为涡第流现象之重要调因素垂。旗径(甩六即)雨洁净室之构成怨洁净室的构成肠是由下列各项嫁系统所组竹成映(博在所组成的系颠统分子中是缺袜一不可竹的球)粥，否则将无法材构成一完整且唯品质良好的洁兵净室托：扣遭(1夺)南天花板系统：抚包括吊碎杆脏(Ceili阵ngrod毙)沈、纲犹梁准(I-Bea财m眼或诊U-Beam丙)剧、天花板格子某梁筹(Ceili柿nggri欠d母或胃Ceilin圣gframe汁)留。华求(2弓)漠空调系统：包胖括空气舱、过室滤器系统、风拖车等退。酱钻(3各)棉隔墙馋板蛙(Parti左tional寸wa