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文档简介

———NHR-5400系列60段人工智能温控器在单晶炉设备改造中的应用一、摘要

虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器适用于需要进行高精度多段曲线程序升/降温控制的系统，它可根据生产过程的要求，按照一定的曲线进行控制，多可分59段曲线对象进行编程控制，每一段均采用PID参数设定控制，使控制更为可靠，方便灵活的曲线控制功能，可实时监控曲线程序段的运行时间和状态，多种事件输入功能。通过多种曲线控制输出功能，可实现曲线控制暂停、曲线控制清零、曲线控制步进等功能，并可实现手/自动无扰动切换。

二、产品的市场背景

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉需要控制的内容包含晶体的直径、温度(功率)、原料(硅料)、泄漏率和氩气质量等，其中温度控制好坏直接影响到是否成为晶体的关键因素。虹润自主开发的虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器在单晶炉的温度控制中发挥着重要的作用。

三、产品的主要技术原理

1、软件采用人工智能控制算法，通过上电自动跟踪测量值变化，根据时间和所设定控制值的函数关系分段实现温度的升温、保温和降温的温度调节。

2、根据编程的生产工艺曲线，可实现曲线的步进、跳转、停止、清零等功能。

3、产品在整个单晶路温度调节中主要负责温度的控制。

四、产品的应用

虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器在单晶路温度控制原理图见下图：

电路说明：交流电源经变压器降压后使用，输出电压25V，输出电流28A、MJYD-JL-75为晶闸管智能模块，内含晶闸管和移相控制电路，输出大电压450V，大电流7，L1为过流保护熔断器，RSV为过压保护阻容元件。RW为电炉丝。

NHR-5400输出为0-10MA电流，经过1K电阻后，输出变为0-10V直流电压，满足晶闸管模块的输入电压要求。

主要控制设备：虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器

辅助设备：热电偶、可控硅、固态继电器、过压保护阻容器件等

根据单晶炉温度控制的特点，虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器设定工艺曲线如下：

按照上述的设定参数试验控制效果，控制精度可达0.5C。

产品图片:

五、结束语

采用虹润NHR-5400系列60段人工智能温控器作为主核心控制系统以来，碲镉汞单晶炉的控制运行状况良好，至今仍*出

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