地面洁净技术基础培训教材

洁净技术基础培训教材张利群二OO六年十月目录空气调节和空气净化的基础知识（一）空气调节的基本概念1.空气调节及其分类2.湿空气的焓湿图及其应用=1\*GB2⑴湿空气的焓湿图=2\*GB2⑵焓湿图中的名词定义=3\*GB2⑶焓湿图的应用=4\*GB2⑷焓湿图应用的举例3.空调送回风的气流组织（二）空气净化的基础知识1.洁净室及其四大要素2.洁净室的应用及其分类3.洁净室与一般空调的差别4.工业洁净室与生物洁净室的差别5.洁净室洁净度的等级标准菜二．洁净室的昼建造特点垂建造的洁净室崭必须保证生产临工艺所要求的丛各项参数牲建造的洁净室最要具有一定的践灵活性乓建造洁净室需脂要较大的投资以洁净室运行耗恨电量大运行费星用高炉三．洁净室的脸竣工验收调试疑，性能测试和抖洁净室的综合断评价槽（一）调试前咽的准备工作木（二）单机试技车死（三）联动调倾试层（四）洁净室丝的性能测试和女综合评价橡四．洁净室的肉性能测试稀（一）洁净室鼻性能测试的目甚的破（二）洁净室敌性能测试的内羽容摄（三）洁净室礼性能测试的主惨要仪器和仪表径（四）洁净室蹄性能测试的方稠法付五．洁净室维瓦护管理的一问帜题乓过滤器的基本乔知识及其维护叛管理辰洁净室的发尘甜源和洁净室的品清埽垃洁净室的空气松品质忧洁净工作服及彼其清洗袖洁净区厕所的述设置苗值班风机的设胃置员吹淋室的设置营及吹淋效果部洁净室的正压促维持衣洁净室的消毒觉和灭菌读洁净室的颜色杆处理帆（十一）洁净革室的静电和静枪电的消除跳（十二）洁净腊室的防火和防是爆盐（十三）洁净盆室的能耗和节音能秧（十四）洁净炼室的竣工验收翻调试和在线测缎试惩（十五）净化箱空调系统的家想湿问题哭（十六）净化辽空调系统的管梨道保温和防结垮露问题删（十七）净化摘空调系统的加细热问题岛洁净室工程师箩培训教材脾一旋.畏浆空气调节和空伏气净化的基础散知识幕（一）空气调鼓节的基本概念累1奥、空气调节及禁其分类床空气调节就是活使房间或封闭耍空间的温度，鼠相对湿度，洁遍净度，和气流酷速度等参数均渔达到给定要求乖的技术。也就反是说，在人们写的生活和工作洞以及生产和科变研的某一个特脆定的空间内其克环境空气的温惠度，湿度，洁耀净度，和气流洽速度等构成了喊该空间的空气妻环境。采取必披要的技术手段认来创造和保持幸该空间内要求帐的空气环境就椒是空气调节的设任务。在空气绒调节系统中，遗空气处理设备浙即空调器是实灵现空气热，湿阶交换和空气过缸滤净化的核心帐部分。一个房斤间或一个空间寄，在一般情况剥下除了有来自划该房间内部的木围护结构，人温员，照明灯具屯及设备产生的催热，湿，粒子做，微生物或其凶他有害物的干阳扰外，同时还块有来自房间外冲部的大气，太孤阳辐射等的干极扰。为了消除脂上述来自室内去外的干扰，就痛必须采取必要欢的技术手段，理用在空气处理没设备中经热，焰湿和过滤处理偷过的空气来转聪移，置换，稀陷释和冲淡来自矩方方面面对房您间空气的干扰愚，来保证房间铸内一定要求的歪空气环境。空宝气调节的原例盯图见图一和图茂二。炼图与一字贝确空气调节原理潜图薄图京二村娘道净化空调原理衫图灵空气调节按使更用对象的不同觉又可划分为舒鱼适性空气调节翼和工艺性空气睛调节。先爸偏涛舒适性空气调扩节就是为了满挎足人们的舒适果要求而设置的尤空气调节。暴闸垂背工艺性空气调烂节就是为了满钳足生产工艺对纷环境空气参数举的要求而设置付的空气调节。仓环境空气的温偷湿度等参数均拔由生产工艺来忍决定。不同的悠生产工艺对环锦境空气参数的嫌要求也不相同馒。夺2夹、湿空气焓湿伤图及其应用湿空气的焓湿除湿空气就是我燃们生活和工作足的环境空气，桂就是生产和科拜学研究的环境伞空气。其主要仁成份是干空气繁和水蒸汽。所骆谓干空气就是揭不含水蒸汽的脆空气，其中芦有瑞78滚%脾的氮气别，卡21管%踪的氧气和不蔬足狠1党%摄的氩气，氖气锐等惰性气体和责少量的二氧化死碳。在湿空气谦中虽然水蒸汽慨的含量非常少交，但是它的作帮用却非常大。逗从某种意义上钱说调节湿空气质中水蒸汽的含果量就是空气调往节的重要任务负之一。弄湿空气的焓湿屡图是用来表示指湿空气的温度稿、相对湿度、今含湿量和焓值睡等空气状态参络数及其相互关痕系的线算图。烧是在一定的大陪气压力的条件跑下，以焓值为农纵坐标含湿量照为横坐标，其街夹角磨为因135很0虹的线算图。图肯中有等温度线愁、等相对湿度书线、等含湿量束线和等焓值线嚷。利用焓湿图草可以表示空气塘调节处理过程龄中所发生的混球合、加热、冷蛛却、加湿、去壤湿等所有空气单处理过程，并呀且利用焓湿图运可以计算出空觉气处理过程中锯所需要的冷量偷、加热量、加辽湿量等各种用很量。焓湿图见除图三。挪图浪三秩铲湿空气的焓湿那图萄②们普焓湿图中的名李词定义：帜a.疤钉干球温度：就旬是用干球温度翅计测出的空气西温度。泽b.斩山湿球温度：就溜是用湿球温度而计测出的空气畅温度。也就是乏说将温度计的平水银球用浸水脏的纱叉布包裹起来，桐所测得的稳定豆的空气温度。零从理论来说，闷湿球温度就是础室内放置一盆薄水，水吸收空梢气中的热量后由部分水蒸发成戏水蒸汽释放到败空气中，增加池空气的潜热，忍而空气失去了崭热量，温度降禾低失去了空气聚的显热。当这融一热湿交换达盯到平衡以后，阶空气所得的潜批热（水蒸汽）享和所失的显热泉（温度降低）远达到平衡后，允其空气的总热闯量（焓值）不够变时，此时的吗水面空气的温暮度就是空气的认湿球温腊度望<杂即增加的潜热零等于失去的显区热朱时小>塑。湿球温度也鲁就是相对湿锐度否100位%谎时的饱和温度捉。勿c.咐可相对湿度：空欢气中实际的水泛蒸汽的分压力猴与同温度下饱危和状态空气的霞水蒸汽的分压挡力之比。饱和鞭水蒸汽的分压别力酱为许100消%却。然d.责挑饱和水蒸汽的垒分压力：空气缩中的水蒸汽不帖断增加达到饱粗和时，空气中洲的水蒸汽就会锐凝结成水由空捷气中分离出来衔，此时的温度括为饱和温度，酿其相对湿度达缴到摸100蚕%什。昌e.贪薪露点温度：是律在一定大气压恐力的条件下，袖某含湿量下的帐未饱和空气因已温度不断地降袋低，相对湿度陡不断增加，达蜻到饱和状态空枝气中的水蒸汽夕凝结成水珠，灌从空气中分离占出来时的温度帖叫露点温度。而也就是空气中彩的水蒸汽分压料力随空气温度蝇降低不断升高售，达到饱和状软态口（骆100兆%咱）时的温度叫途露点温度。止f钩.讲含湿量：即环辱境空气壶中厘1狭公斤干空气所够含有水蒸汽的姑质量俭（脂g怨）。押g.速悠热湿比狂线：空调房间允内的全热负荷压与全湿负荷之折比。徒在电子工业产础热量大、产湿扇量小的洁净厂辟房一般的热湿稼比捉8000~1层000脱0山大开卡太/k够g恒趋近正无穷大馆。农对于医院的洁筹净手术部的洁皇净手术室的热亮湿比大约绍在早1800~2隶40隶0透大塌卡河/k君g吊。因为人多，证人的产湿量大形，但热负荷较鹰小。焓湿图的应用该在焓湿图上可界以划出空气调蚊节系统中各种棚空气处理的过街程线，并且可海以在线算图上涉查出各种空气歌处理过程的空幕气参数和各种变所需用量。圣a.台殃等湿加热：空充气含湿量不变该条件下的加热地。环境空气的超干球温度升高舞，相对湿度降声低。如：空气沸处理中用热水煌和蒸汽为热源类的热交换器加教热、电加热器借的加热。腹为正的无穷大抚过程图线。见干图四。悉b.旁法等湿降温：空置气含湿量不变剥条件下的降温菠。环境空气的屈干球温度降低各，相对湿度增薯加但并未到露寨点，没有水凝惜结出来。如：分空气处理中的匪干表冷。即送所入表冷器中的宝冷冻水的初温花高于空气露点怎。此时栗为负无穷大的稠过程线。见图努五。遥图悠四蚁晨浓等湿加热过州程章项邻孟稿言写图浑五倘率锁等湿降温过程嫂c.脑蔬等焓加湿：空棋气的焓值不变默条件下的加湿趟。即空气和水尝直接并充分地绍进行热交换的祸过程。水吸收么空气中的热量铅后部分水被蒸灵发成水蒸汽进踢入空气，空气标失去热量温度樱下降。最终达贪到空气失去的凤热量等于空气近中增加的水蒸捕汽的含热量。纵其空气的总热饰量（焓值）不鲁变。过程线散是宪135药º平线，皇=风0挠，过程线见图墨六。空气处理葡过程中淋水室病（淋循环水）勿湿膜加湿、高独压喷雾加湿、晶超声波加湿等期加湿的过程线鲜。搭d.友惨生温去湿：空怒气的温度不断画升高含湿量不猴断降低的过程祖。固体化学去惰湿的过程就是荡生温去湿的过嘉程。即：固体饲吸湿剂吸收空早气中的水分发岸生化学反应放黎热使空气温度满升高，绝对含答湿量降低，相叔对湿度也降低栏。过程线近似芽等焓线。常见被的分子筛、氯恭化锂、硅胶等窝固体吸湿就是饥生温去湿过程弹。过程线见图扯七。悉图悠六显孟背等焓加湿过姨程刘邀虫逐娱包图架七莫口红升温去湿过程宽e.侨灭等温加湿：空可气干球温度不上变条件下的加害湿。向空气中胜喷入水蒸汽的锅过程就是等温炎加湿过程。空慧气的温度维持施不变，直接将冈水蒸汽喷入空帅气变成空气中怀的水蒸汽。空饱气处理中常用六的喷蒸汽、喷崭干蒸汽电极式罚、电热式的加圆湿器。过程线耀见图八。泄f.奇味降温去湿（降斥温干燥）：空占气的温度降低巴同时含湿量也处减低的空气处非理过程。向空剂气中喷淋低于垦空气露点的冷疤冻水，或将低临于空气露点的或冷冻水（冷媒守）通入表面冷猛却器，与空气耽接触后，使空姿气温度降低而泉且还使空气中悠的水蒸汽遇冷税凝结成水滴从银空气中分离出坦来，使空气的返温度降槽低厕,饥绝对含湿量减阔少。这是空气败处理中最常用区的降温去湿的挡方法，也是冷寒冻去湿的方法毅。过程线见图肤九。向空气中筋喷淋液体吸湿妙剂的处理过程毕也是降温去湿吹减焓过程，但谨工程中很少应烤用。翠图艳八帖宿粗等温加湿过唱程伪啦挽荷科殊图来九拘山歼降温去湿过程从g.宋拼升温加湿：向榨空气中喷热水星的处理过程，对是升温加湿的泥过程。在工程陵中很少应用。乳过程线见图十曲。兄h魄.你空气的混合过享程：两种不同黑状态的空气混冒合时，其空气聚的混合状态点蜻在两种空气状毙态点的连线上吧。线段长度之元比则为两空气喜质量之比。其返过程线见图十理一。替图忧十端堆唯升温加湿过豪程矛洽繁羞毯稀图十妙一桨秩回混合过程说焓湿图上几种鞋典型的空气处遣理过程见图十仪二。作湿空气状态的逗各种参数，如柄：干球温度，愁湿球温度，露说点温度，相对续湿度，含湿量愈和焓值等之间寒都是相互关连储的，只要知道皮其中的两，三摔个参数在焓湿堆图上就可以确锈定湿空气的状环态点。见图十筝三。迹图十铲二崖徐辫典型的空气处摔理过宪程他浩减菊卷图十哈三准敌遍空气状态点参盾数的确定肝④所焓湿图的应用环举例救一个洁净室的屈室内参数担为卡N起，送风参数匹为仓S刘，热湿比为贡，送风温差为曾。全新风系统戏。夏季室外计侍算参数夏为舌W桂s巩，冬季室外计曲算参数殃为旱W咽d蜘。现需将室外厦空气处理到送娱风参数用点针S乏后，用风管送赶到洁净室内就斯能满足洁净室冬的温、湿度要销求。可以采取骤下面多种方法救，对空气进行饱热，湿处理都飘能达到同一个锈目的。见图十慌四。嘱烈图十虑四适慢孝焓湿图上的空腥气处理过程傍如：夏季空调沈空气处理过程介可以有如下途由径来实现：段a.W井S呢→浩L告→团S求登冻用表冷器或淋材水室将室外空硬气降温去湿减惰焓处理后再等玩湿再热。低b.W瓦S仙→呜a葬→庆S界举脚用固体化学去裳湿将室外空气翅生温去湿再干延冷降温。亮c.W贪S由→祖S可般洁用喷淋液体吸屋湿剂做降温、赠去湿、减焓处忌理。谋又如：冬季空牌调空气处理过忽程可以有如下爬途径来实现：尼a.W捞d冠→杜b陶→山L英→拾S阳炸先用加热器对反室外空气预热企再等温加湿（杂喷蒸汽）然后裤用加热器再热船。旅b.W辽d漏→牌c恶→胳L债→掠S盟默先用加热器对薪室外空气预热祸再等焓加湿（婆湿膜等）然后玉用加热器再热仆。墓c.W末d很→今d叮→峰S析谜厨先用加热器对嘉室外空气加热炮再等温加湿（抚喷蒸汽）。疏d.W症d留→胡L卖→醒S雕总变先用喷热水对蓝室外空气升温宪加湿然后再热部。S用加热器加热+部分空气进行等焓加湿（用湿膜等方法）+再与未加湿部分空气混合银W砌d觉→贺e乒→骗L落1S用加热器加热+部分空气进行等焓加湿（用湿膜等方法）+再与未加湿部分空气混合范何e光3践、空气调节的勒气流组织守空气调节气流喜组织设计的任糊务就是要合理割地组织室内空方气的气流流动两，使工作区的婚温度，湿度，光气流速度和洁杆净度能很好地台满足生产和科嫌学研究以及人吩们舒适感的要辆求。气流组织懒不合理不仅直玻接影响空调房欺间的空调参数筛和空调效果，隆而且还要空调者系统的能耗。左空调系统送风移口射出空气射渔流是影响室内题气流组织的主类要因素，而空锄调回风口，从敞流体力学角度档是空气的汇流宪，起回风速度氏衰减很快，与交其距离的平方障成反比。因此巾回风口的位置未对室内气流组酱织的影响比较耽小。寨空气调节系统股的气流组织形豪式主要有：上眨送下回，上送嫌下侧回，上送收上回，侧上送自侧下回等形式搜。见图十五。泥图十陈五跌亡倘空气调节的气案流组织均（二俘）耕究空气净化的基暗础知识惊1私．洁净室及其吼四大技术要素爪根据生产和科放研的要求对室亩内空气环境的夏洁净度、温度饥、相对湿度以柳及压力、噪声丝、振动、静电城等参数都进行肥控制的房间叫致洁净室或洁净缠厂房。泛洁净室的四大奋技术要素就是场：粗效，中效叙和高效三级过兼滤，足够的净做化送风量，室楼内正压的建立喜和维持，以及娘終端高效或超闲高效过滤器的伪设置。励2吧．洁净室的应后用和分类左当今洁净室已割广泛地应用在鲜电子、航天、筛机械、化工、互制药、食品、庭医疗、生物工哨程私…丰…傅各行各业。而厚且，随着国民类经济和科研事故业的飞速发展僻，洁净室的应蚀用将越来越广酿泛，越来越重旬要，亚洁净室可按气迈流流型和使用谎用途以及控制笔的主要对象来事分类。=1\*GB2雪⑴阁、洁净室按气如流流型来划分倍单向流（层流泄）洁净室，其西中又分垂直单婆向流洁净室和捆水平单向流洁棵净室。索图十觉六撑观达单向流气流流线型猾非单向流（乱翁流）洁净室会图十衬七住轮真非单向流气流盟流型混合流洁净室角图十沃八挽渴掏混合流气流流态型孩矢流（对角流撞）洁净室骤图十偿九父犯修矢流气流流型掏各种气流的特第点、创造的洁瞒净度、应用范恳围和投资运行伴费。辉▲危清单向流气流的亮净化原理是活指塞和挤压原理别，把灰尘从一周端向另一端挤雷压出去，用洁尊净气流置换污斧染气流。包括朵有垂直单向流脊和水平单向流笔。稍艰阔垂直单向流是冈气流以一定的江速度（毅0.25m摇/s~艘0.5m壤/棋s烘）从顶棚流向诸地坪的气流流碑型。这种气流弊能创丢造贩10桌0禽级溜、汉1离0罪级娱、百1屡级或更高洁净肌级别。但其初盖投资很高、运处行费很高，工味程中尽量将其昆面积压缩到最椅小，用到必须碍用的部位。叶水平单向流是浸气流以一定的匪速度遵（领0.3m/s添~0.5m/灾s僻）从一面墙流咱向对面的墙的窝气流流型。该祖气流可创走造埋10静0高级的净化级别熔。其初投资和衣运行费低于垂努直单向流流型拉。停▲遗武非单向流气流世的净化原理是呆稀释原理。一妖般型式为高效剩过滤器送风口藏顶部送风；回搅风的型式有下里部回风、侧下狗部回风和顶部咐回风等。依不亏同送风换气次抓数，实现不同朽的净化级别，劲其初投资和运释行费用也不同帜。情▲彼候混合流气流是蠢将垂直单向流过和非单向流两坊种气流组合在晨一起构成的气储流流型。这种后气流的特点是鲁将垂直单向流拐面积压缩到最野小，用大面积桂非单向流替代栋大面积单向流箭以利节省初投舅资和运行费。偶▲冲巨举例给出不同给气流流型的送赵风量、耗冷量拨、初投资和运亮行耗电的具体饮指标见表一，精此指标是以电僻子工业洁净厂刘房为代表，具女体数据有参考赢价值，但不能扑随便套用。棒表徐一梅捷足不同洁净级别鼻洁净厂房的送姐风量、冷量投扭资耗电的指标挂气流流型泥洁净级别搜（级）骤送风量肢（钉m/夫s茅）（谜次狭/陪h越）勾耗冷指标猴（君W/m械2深）眠投资指标

寨（贱元险/m糠2唱）债耗电指标盯（罚W/m掌2枯）必单向流颂垂直异10励100崖>摔0.25m谜/s匆1300~1庆500来10000~磁13000技1.25~1慧.35防水平怨100票>瑞0.3m仰/s接800~10项00牺5000~6进000怜0.9~1.华0赴非单向流灵1000舌50~6筐0侮次衣/h蹄600~70染0含2800~3宇000啄0.25~0益.33就10000内25~3划0狼次已/h妈500~60奖0竖2000~2嫌200事0.22~0父.26汽100000婚15~2塔0珍次姑/h蛙350~40具0侮1400~1止600椅0.13~0牵.16烫注：表中的送羊风量、单向流乌以断面风速表阻示，非单向流穗以换气次数表台示。揉表中冷量指标边一般指电子工伞业洁净厂房。隆表中的初投资倍包括洁净厂房诊的围护、冷冻申供应系统、空庄调净化系统，垒不含土建结构线和自动控制的贩投资。颈表中的耗电量身系指制冷系统告和空调送风系赛统耗电，不含接电加热和电加飘湿的耗电量。=2\*GB2虽⑵务、按使用的用臂途或控制的主掌要对象划分寄①誓暗工业用洁净室巨：以控制灰尘睬为主要对象。汽用于电子、航扩天、机械、化掠工、化学制演药窑…欢…暑。授②亿馅生物洁净室：拜以控制细菌（忍微生物）为主协要对象。用于尘生物制药、医宪疗、食品、生俱物工程、动物晌饲养、生物安孙全冤等扯…妻…倡。狠3芬．洁净室与一塌般空调的差别迷见表二井表誓二的冰只洁净室与一般劝空调的差别遇比较项目柄一般空调痒净化空调坏原理返送风和室内空贪气充分混合以凳达到室内温湿钓度均匀正乱流为稀释原湾理，层流为活板塞原理，送出锄的洁净室空气险先达工作区，骡罩笼洁净工作逮区层目的秃为了控制温度注、湿度、风速萍和空气成份的递目的新除了一般空调墨的目的之外，底更重要的是控慧制粒子的浓度可手段胁粗、中效过滤货加热湿交换因除空调手段外更还要加高效、昏超高效过滤器倡，对微生物还葬要有灭菌措施盯送风量猴（泪次争/投h爪）净一般降温空快调纤8~1阀0体次岁/h忆一般恒温空菊调膏10~1包5健次庸/h育单向慨流违400~60仗0枣次帆/h铁非单向姻流骤15~6毕0富次促/h兼初投资究（珠元沫/m累2钓）廊一般降回温突50馋0痰元触/m透2步一般恒艳温兄80相0饮元巷~100伐0绘元写/m粗2教单向匪流绢5000~1循500驰0比元丑/m廉2户非单向苦流黄1500~3舞00怠0榴元眼/m伐2智运行耗电抱（华Kw/m喂2拢）演一般降良温冬0.04~0趴.06Kw寨/m蛛2由一般恒阀温册0.08~0笛.10Kw萝/m域2最单向叨流洗0.9~1.垄35Kw/傲m场2奥非单向挤流受0.13~0此.33Kw拦/m走2闯冷量指标京（粪W/m睛2问）榜一般降卷温判150~20迈0W/m皆2首一般恒让温贺200~25式0W/m乎2铁单向挑流攀800~15傻00W/m着2擦非单向暗流遗350~70映0W/m饱2腿4绍．工业洁净室液与生物洁净室限的差别见表三殊表正三如隔婆工业洁净室与返生物洁净室的运差别表差比较项目衔工业洁净室阁生物洁净室根研究对象惰（主要）房灰尘、粒子只闯有一次污染。肆微生物、病菌功等活的粒子不尼断生长繁殖，榜会诱发二次污悄染（代谢物、科粪便）。诉控制方法吵净化措施雕主要是采取过芬滤方法。粗、衔中、高三级过扶滤，粗、中、捷高、超高四级歼过滤和化学过嘱滤器等。陕主要是采取：割铲除微生物生慢长的条件，控吃制微生物的孳持生、繁殖和切趴断微生物的传坐播途径。过滤辩和灭菌等。累控制目标躁控制有害粒径贪粒子浓度。值控制微生物的液产生、繁殖和鉴传播，同时控疏制其代谢物。戚对生产工艺珠的危害漠关键部位只要航一颗灰尘就能绣造成产品的极痒大危害。水有害的微生物剧达到一定的浓宜度以后才能够许成危害。副对洁净室建筑孙材料的要求配所有材料（墙晴、顶、地等）丢不产尘、不积涛尘、耐磨擦秃所有材料应耐淹水、耐腐且不祝能提供微生物弹孳生繁殖条件网。司对人和物进入放的控制脱人进入要换鞋形、更衣、吹淋村。物进入要清浪洗、擦拭。人虹和物要分流，贝洁污要分流。反人进入要换鞋界、更衣、淋浴台、灭菌；物进室入要擦拭、清事洗、灭菌；空俊气送入要过滤限、灭菌，人物与分流，洁污分术流。哭检测单灰尘粒子可用链粒子计数器检摄测瞬时粒子浓雁度并显示和打旦印。垃微生物检测不仗能测瞬时值，属须晶经榴4狂8宇小时培养才能淹读出菌落数量带。绑5侍．洁净度的等农级标耕准致ISO-14什644非ISO-14痕64绣4倍是国际标准，板现在美国、欧跑洲、日本、俄炉罗斯和我国都缠采用此标准，污美国原来应用枪的是美国联邦晴标准蕉209A率、徒B舰、浇C耀、贪D厚、讲E协，现在美国也警不用了。原来节我们熟悉孝的隐10弓0犁级富、送100菌0押级扇、兵1000贴0们级凳和洒10000旅0绘级都是源自美碍国联邦标瘦准浙FS209灯B搞，现在它们分插别被国际标烤准际ISO-14薯64挺4调标准中缘的罗5赔级习、绪6城级难、进7身级慈和请8枪级所替代。尖ISO-14伐64仅4轨的洁净度等级维标准列表四如迎下。单表淋四疤许惠洁净室及洁净孩空气中悬浮粒腰子的洁净度等泛级私ISO-14唤644票空气洁净度等行级速（呢N工）牙≥晌表中粒径的最黄大浓度限值（擦个袍/m薯3妇）秩0.纳1械μ龟m舌0.必2辽μ绢m妨0.沫3踢μ轻m轻0.鹿5校μ躁m膏1穷μ稼m立5榜μ花m皇1糕10题2樱/辜/强/逢/怕2铺100华24级10佳4次/欠/罩3悦1000还237授102竟35精8蓝/乏4踪10000冶2370众1020奶352牵83律/野5萄100000隆23700侦10200圣3520企832讽29取6脸100000宽0英237000身102000阀35200六8320岂293吴7市/途/法/掠352000哥83200忌2930为8吵/牲/澡/荣352000呆0专832000弱29300棒9谁/径/朽/奴352000累00曾832000沫0利293000睡注纳：渗①背坦每点应至少采霸样兼3冲次。死②理榜本标准不适用春于表征悬浮粒倒子的物理、化很学、放射及生壁命性。惰③事垃根据工艺要求参可确蒜定阅1~松2宫粒径。首④锯学根据要求粒验径器D件的粒子最大允府许浓度由下式容确定（粒肥径颤0.除1时μ队m~茧5制μ井m周）寄缺刺会姜（浪个劝/m坐3荡）狭线胳吩式诉中市N词为洁净度等级乘在稍1~滋9旧级中间可奉以请0.诵1甚为最小单位递久增量插入。苦国标洁净等级维标蝇准概ISO-1伪464疯4疤与各国洁净度揉等级标准的比克较见表五。汁表材五鸡裙木国际标携准酬ISO-14闭64疗4心与各国标准的衡比较表凡国际标准费ISO-14勤644蠢中国标准虎GB500狠73哄美国标准链FS209治E慈俄国标准产TOCT5犁0766语日本标准葵TIS99跃20歌德国标准炕/病/勉/辞P0页/稳/粘1妨1辫/播P1扇1筹1店2奋2毛/慨P2肠2季2店3善3见M1.5陆P3穿3煤3飞4捕4挎M2.5怠P4驳4选4医5稼5晓M3.5技P5妙5畏5煎6增6扣M4.5另P6母6园6夕7班7据M5.5配P7女7树7墓8跪8撇M6.5各P8驴8震8锡9饥9甩/秧P9感/蚕9欲二．洁净室的挖建造特点担（一）建造投轮资费用高密红要高级别洁净室起的建造费用很水高，一般来说烦，诞10握0鸟级垂直单向流澡的洁净室，其锁室内装修（墙喊、顶、地、门露、窗等）和空迅调净化系统（妈包括制冷空调孤设备和管道配叙件、净化设备幻和配件等）的坡初投资大约废为熊1000胡0卡元人民拴币深/m脆2勇；如果加上纯丰水制备设备和松系统管道，纯茎气发生和系统厨管道，废水治迷理设备和管道同，消防系统，栗供配电和自控仗系统，真空清释扫系统等等，京其单位面积的评建造投资费用虫要高狼达疼25000~买3000苏0棒元人民纠币扒/m伪2垃。班就拿已投产的屈上海华丹虹截NE烂C翅超大规模集成暗电路芯片生产扫线洁净室举例点来说，华做虹架NE难C域为月投怒片膀3000牛0灭片渣8菌"吐硅片集成电路撕前工序生产线蓄，有洁净室面桶积某约乓12000m摇2蒜，其盗中协10000蓝m株2选是在中心部位棒，题另厕2000m刘2急在边跨上。在拘中心部位言的压10000趴m面2限洁净室中塞有怕4000m皮2炒的惧1驴级志、虚1愚0戴级冲和原10碧0哨级的垂直单向耕流洁净室，另杨外锁6000m假2叔分别栗为数100倍0额级雄和田1000附0旱级的非单向流伶洁净室，总送惹风量悬约陪6,400,拍000m洲3堤/译h夕。狗于宴199挨8叫年底建成投产您。杜该项目总投资冠约防10悼0妨亿人民币，其评中动力设备和删土建投资净为吨2拦0坐亿人民币，占禁总投资的五分口之一。单核心周部分碗的熔10000穴m删2殖的洁净室的建听造费用就高畏达吵600拾0赴万美元（苗约姿5匪亿人民币）（麦日本三机株式熟会社施工），蝶折合每平方米说建造费用廉约壶5000他0谦元人民沉币适/m庙2疼。虎（二）运行管趟理费用大另因为高级别洁因净室净化风量窃大，新风量也峰大，温湿度要粱求严格，所以狮空气热湿处理夏和空气输配的偶能量消耗大，百耗电多，运行容费用贵。潜还拿上述华打虹扶NE谨C却为例，其核心涛部言分父10000料m汗2辟洁净室总的送箱风量兔为胸6,400,挽000m元3千/誓h内，输送净化空座气的风机耗电蓄量葛为扣3840K旅w/柿h谱，全年电费迹为冬165脾9株万元（每度电连按动0.拣6炒元钢/畅设计），空气欧热湿处理的耗胀电量迈约芒10000漠Kw/剃h卫，全年电费溜为助600桂0址万人民币。全删年空调净化系旗统本身的运行匪费用就高崭达抖765拿9符万元人民币。另折合每年单位药面积的运行费居用贺为完765购9葬元各/m换2案年。废（三）灵活适授应性强栽因为，科学技垒术的发展很快像，高科技的产么品不断出现，糊尤其是电子工宅业的发展更是膊日新月异，像穷集成电路的发什展屑2~议3灶年就更新一代躲，姜TFT-LC嚷D结的发展速度更之快侨1~泄2沾年就上一个台妙阶。这就要求愧为其服务的高纠级别的洁净室歇必须能适应其粒发展速度，有应极好的灵活性锤和适应性。因鲜为建造一个洁炮净厂房是百年还大计，不是一壮、二年就会拆剩掉重建。因此订，在设计和建驻造洁净厂房时架，就要考虑到笛工艺的发展、零变更，就要考脾虑到洁净厂房董的灵活性和适滴应性。从一个为洁净厂房的灵走活适应角度，易可将其分为三丸个层次，第一幕是不可变的部棋分。无论怎样拥改都不能改变爬的部分。如基芳础、梁、柱等仪结构部分；第低二是可变但不恳容易变的部分步。如洁净室的落围护、装修等晃；第三是可变巩而且容易改变条的部分。如动逮力、空气、水滋、气体溶剂的混供给部分和废亚气、废水、废避料等排放部分盆。鸽（四）安全、全可靠性好嚼从前面（一）鞭、（二）两条锣特点可以得出赞建造和使用这推样的洁净室要夹付出何等的代肝价。但是为了绕生产出高可靠螺、高质量的高够科技产品也必纽须具备这样的菊生产环境。因干为，建造洁净医室的目的是为阴使用，是为了须得到高成品率虚合格产品。为煮了达此目的，祖设计和建造洁巨净室必须把安偿全可靠放在第纳一位。保证所毯建造的洁净室炊在洁净度、温浊湿度、风速、烘压力等所有参墙数必须满足生疤产工艺的要求粮，保证安全、霜可靠、不出事片故。这一点绝仅不能马虎，更保不能打折扣，即要万无一失，绝只有这样才能元有效益，才能重达到建造洁净练室的目的。扩三．洁净室的县竣工验收调试强，性能测试和不洁净室的综合爽评价馅竣工验收的调锅试工作要分以君下四个步骤进拉行然。臂①猫调试前的准备霉工作臭。津②富单机试车恭。纤③艳联动调试悄。序④乳洁净室的性能亲测试和综合评葛价。灌（一）调试前奉的准备工作煮1吹、调试的组织柜准备：日成立以建设单停位（业主）为摆组长的有设计继单位、施工单够位、监理单位壶人员参加的调逆试小组。调试辆小组领导调试寸的全面工作，乡调试小组协调纺各方面的关系傍，调试小组为闻调试工作提供盈各种软硬条件熟。泊2养、编制调试大惭纲活在调试小组领御导和组织下，余编制调试大纲肿。调试大纲是化调试工作的指市导性文件。调表试大纲的内容积包括：组织分肚工、人员安排赴、物资调动；场调试项目、调裹试方法、调试边仪表；调试程坑序、调试进度闸、调试计划安弱排等。调试大行纲的编制使调腾试人员思想明吨确、认识统一馅、步调一致、亭行动整齐，使麻调试工作顺利售进行。网3孤、施工现场质嗽量的会检。鹿在调试小组的泥领导组织下，悲有建设单位、叮设计单位、施典工单位、监理宿单位的有关领蛮导和技术人员济参加，对施工此现场、施工质在量进行全面会革检。从冷冻站腊、换热站、锅她炉房、变配电叉站、空调机房胸到供冷、供热乎、供电系统、妖空调净化系统致和自动控制系防统。从设备（溪冷冻机、锅炉贞、水泵、冷却成塔、空调器等跃）、配件（阀瘦门、风口、消沫声器等）、管盯道和管线到保泊温、设备基础汽、管道支吊架茶等的工程施工监质量进行全面索会检。看是否椒按图施工、查俯与设计图不符唐之处，找施工涉质量不合格项逢目并查其原因纵。并对施工、求加工、安装等告质量问题逐一庭填笋写础“雄缺陷明细懒表搁”耻，提出整改意是见，限期（正吊式调试之前）你整改完毕。林4惯、空调设备、妇空调系统的清爱扫：歌①栋调试之前对洁胡净室进行全面茅、彻底的清扫践是十分必要的垮。对洁净室的留地面、墙面、土吊顶、门窗进折行认真、全面鲜、彻底的大扫悦除（最好请专押业的清洁公司笛）；对空调设荐备、空调管道涉（送风管、回迎风管、新风管寒），空调配件旨（清声器、阀苏门、风口等）粘进行检查、检篮漏和擦试。达虚到洁净要求为阔止。造②烟安装粗效、中薪效过滤器进行冷第一次空吹。海在彻底清扫的饰基础上，安装虹空调器内的粗佣效和中效过滤挪器。对整个净辅化空调系统进饼行空吹，空吹炊时间诊为尘24~3抵6稠小时，使整个浸系统得到初步要的净化。精③串安装高效过滤雕器。系统空吹救后可以安装高魂效过滤器。高轰效过滤器在安只装之前，要求奖对其逐一进行棕检漏，对有泄供漏者进行堵漏锣。检漏在临时诚检漏台上进行炒，尘源利用大汤气尘。被检合兰格的高效过滤油器方能进行安都装，安装完毕网后对高效过滤盛器的安装密封驻再进行检漏（尼利用尘埃粒子另计数器扫描）拜，达到安装合蓝格。焰④遵高效过滤器安柴装检漏合格后鸽再对净化空调吸系统进行第二临次空吹。空吹肾时叔间猴2荒4郊小时，然后方睬可进行入调试弓程序。创5关、测试仪器、壳仪表、工具的非准备岂①坚调试前要对调锣试中所用的仪蔽器仪表进行调蛙试和标定（超徐过使用时间还孙需重新进行标死定）。所用的铃仪表包括测量讨风速、风量、金温度、相对湿巨度、压差、噪译声、振动、转披数、时间、大迟气压力和洁净腥度的仪器仪表捕等。暴②沫调试所用的器灶材、工具的准械备。如：电工告工具、管工工偿具、扳金工工惊具、钳工工具尺以及爬高上下惧的梯子等。并辆且请施工单位忌配合电工、管络工、扳金工和印钳工。朴③描调试和测试工仿作所用的图纸禁和记录表格的行准备。鞋（二）单机试失车符单机试车是对稀工程中的所有到的设备、配件疏等单体进行试伟车。单机试车找的目的是对这折些设备、配件欧的安装质量和子产品出厂质量遍的检查和考核袋。单机试车的铁主要内容有：氧水、电先行。费即首先对供水渣供电的设备和惩系统进行检查省和考核。如水键泵、变压器、窄配电箱、开关告等。要保证供描水、供电的正脖常、可靠。统进而，对供冷阅设备（冷冻机需、冷却塔、冷很冻水泵、冷却娱水等）、供热灌设备（锅炉、盲换热器、热水利泵等）、空调纳设备（表面冷扶却器、加热器辛、加湿器、过如滤器、风机等境）、自动控制卵设备、仪表、继阀门以及各系捕统的配件进行辞单体考核。看辟是否能满足设暖计要求和正常轿运行。尤其对屡转动设备如风测机、水泵要试味转看是否运转沙平稳，有无杂停音和碰撞和反征转现象；用电冠设备接线是否穷正确；冷冻机赏和锅炉是否能棕达到设计要求刑；空调器中表威冷器的降温去杯湿能力、加湿薄器的加湿能力浮等等进行单体雀检查、考核。匆如果出现故障枪和发现问题，仅应立即排除。夹对于大型设备竟如冷冻机、锅踩炉、空调器等赢（尤其是进口沃设备）在单机孕试车时最好有柴生产厂家的调嫩试人员现场指路导或由生产厂达家负责试车，经待运转正常后锹再移交给使用五单位。单机试苏车为联动调试贫做好各个单体舒设备的准备工呈作。炼（三）联动调南试璃联动调试一般次情况下分为两夺个阶段进行，孔即风量分配阶所段和联动调试专阶段。浓1趴、风量分配：倍风量分配即将狗各个洁净室的欠送风量、回风洋量、新风量、住排风量全部按挡设计要求调整谷到设计风量。天因为一个洁净用厂房可能有多培个空调送风系估统和排风系统内，或一个空调死送风系统要负里担多个洁净室拳的送风。因此鹊，风量分配调通试工作是一项卸工作量大、时握间长、耐心细唤致的工作。风燕量分配调试工崇作也是整个调制试工作的重点贡工作。常用的眯风量分配调试祖方法采用标准韵风口法。抹标准风口法：沫一个洁净室可克能有几个、几脚十个空调送风危口、回风口。原因为它们之间觉都是相通的，胀当调整某一个费风口送风的风者量时其他送风纪口的风量也会培跟其变化。因问此，采用标准问风口法。辞所谓标准风口晚法，就是在风菌量分配之前，标将所有阀门都洞开到最大的情赖况下，在所有祝的送风口这中睁找到最不利的体送风口（送风鸡量最小的送风尚口），将此风间口作为标准风失口。在标准风详口上设一监测确仪表，随时测们试标准风口的镜风量变化。然行后调整其它所合有风口风量。闲因为调整任何荒一个风口风量邻时，都会影响荣已调整过的风筋口的风量的变复化；因此，在蜂调整任何一个元风口风量时，助都要以标准风辜口当时风量为稠参照风量，使虑所有被调风口砍的风量均随标困准风口的风量闯变化而同步变肤化。乱当一个净化空骄调系统负责多下个洁净室空调纱时，调试要以禾洁净室为单位幼由末端向总干册管方向进行，胆对各洁净室首崭先调整其送风短量的相对关系优量，然后，再寨用系统的总阀窝门来将每个送胞风口，每个洁荣净室的送风量左都调整为真实之的设计送风量伸。2、联动调试欠联动调试在风自量调整和单机酸试车后进行。庄联动调试就将的净化空调系统好和为净化空调餐系统服务的所蒙有系统即：供辰冷系统（冷冻笋机、冷却塔、至水泵以及供冷抚系统上所有的隙配件）、供热捐系统（锅炉、这水泵以及供热低系统上所有配缎件）、供电系吹统（配电箱、鸦变频梨器句…妥…讽）和自动控制肿系统全部投入梁运行，考核各扩系统的综合性升能和联动性能态。必要时，在延洁净室内人为副的设置一定量北的负荷，考核航温、湿度探头忧、中间仪表和尼执行机构的联膛动是否敏感、甩协调；考核温膛、湿度探头是炮否准确，精度环是否合格。辞（四）洁净室伙的性能测试和篇综合评价缠在风量调整和什联动调试的基塑础上，洁净室减空调净化系统叔以及为其服务乳的所有系统，剧均处于正常运厘行状态。接着霸进行洁净室的吴性能测试和综替合评价。刊1雁、洁净室的性絮能测试：晨洁净室性能测捷试内容包括：寒洁净度测试、版风量测试、正尿压测试、风速树测试（单向流歪洁净峡室旦皂）温度、相对备湿度测试、噪傲声测试等。葵①准洁净度测试：渣采样点布置在代工作面上盛（棵0.8~1.际0盲m只），采样点数票量悄N=A到1/2抄（俩A奉是洁净室面怖积耳‘震m阳2您’注）。尘埃粒子蒸计数器的采样砌量要大粱于傍1你升贼/钞分；每个采样桥点连续有效采昼样三次。取其页平均值做该点孝的测量值。全区部测点的测量战值的平均值作起为洁净室的洁渗净度。挨②纤风量或风速测诊试：单向流洁搅室测量断面风禽速、非单向流零洁净室测其风身量。型断面风速的测给量：距吊顶上理送风高效过滤财器龙（经HEP限A足）转300m住m清处布置测点，轧测点间距抛为喘600m怎m嚷，用热球风速政仪测其各点风东速。次风量测试：在侨送风管或送风摸口上测送风风虫量。方法是用叶比托管和微压童差计，测风管世内各点的动压够，测点间距统为腊100m并m汗。再计算送风殃量。全③虏正压测试：在斯关门的状态下详，测洁净室的竟正压。采用补戒偿式微压计测粪量。拘2感、洁净室的综慈合评价。析在对洁净室性低能测试的基础守上，根据对洁凡净室洁净度、啄温、湿度、正戏压、风量、噪河声等测试结果谣，对洁净室的虎建设和性能进亲行竣工验收的络综合评价。刃四．洁净室的曾性能测试划器(录一肝)嗓针洁净室性能测变试的目的思浴洁净室性能测爽试的目的主要抢有两项：其一衬是为了洁净室合的竣工验收，像其二是为了检腹查洁净室的运馒行是否正常。变净室竣工验收坡的性能测试领根据（洁净室蜘施工及验收规淡范）和（洁净号厂房设计规范塑）的要求，洁全净室竣工验收矿分两步进行，安第一步是竣工灌调试和性能测谦试，第二步是召洁净室性能的案综合评价。洁页净室性能的综侦合评价是洁净途室工程竣工验朗收的重要环节签，而洁净室性坛能测试又是洁张净室性能综合息评价的基础。槐洁净室性能测蚊试所需要测试室的项目以下：饿①展通风机的风量饲和转数；忙②降风量及其平衡并；浊③文室内静压及其待调整；=4\*GB3喷④雾自控系统的联槐动；=5\*GB3搜⑤伟高效过滤器的劳检漏；=6\*GB3晶⑥塔室内的洁净度斩；等六项。其婚中主要三项是肺，洁净度，风谁量和室内静压醉。诞2垃、洁净室运行斯状态下的定期芬性能测试柿根据（洁净厂太房设计规范）谅的要求，因生震产的复杂性和览维护管理工作路的主，客观原倒因造成洁净室烦性能的下降，园必须对洁净室桐进行定期的性钞能测试，检测国的频数见下表犬。少喜月表十围四喂唤者洁净室性能测老试的内容和频畏数问贱洁净度等级壤项目俩1~3仁4羊、灿5眼、唯6统7员8抵、凳9纱温度崭循环监测赏每班二次宏湿度膨循环监测运每班二次艰压差值眉循环监测糕每周一次袭每月一次经洁净度框循环监测幻每周一次苗每烤3烦个月一次间每舍6约个月一次由风量怒循环监测塘不得超将过串1歉2晌个月严（二）洁净室坝性能测试的内捉容括表十党五稿捡繁洁净室检测内副容缴序号阻测试项目瘦JGJ71-初9该0湾规定呈GB5007寸3-200稳1索规定春低炊于幼10鹅0失级哪10剑0弓级兼100蔑0骆级及以下户1游室内送风量，填系统总风量，病室内排风量，问检测家检测步2梢静压差累检测联检测冠3散风速和风量考检测芹不测场检测敏4炎断面风速不均骄匀度鬼检测瓣必要时测夹不测羞未规定泄5里洁净度级别庙检测住检测锡6举浮游菌和沉降烦菌甩必要时测茶选测掘7远室内温度和室晕内相对湿度鼻检测祥选测避8奴温湿度波动范格围和区域温差删必要时测妻未规定苏9初室内噪声级轻检测扁选测瓦10色室内倍頻程声耀压级纲必要时测灵选测趟11以室内照度及其目均匀度弊检测脉选测泽12杜室内微振缺必要时测垮必要时测裳13辜表面导静电性逐必要时测舌必要时测秩14势室内气流流型摊不测争必要时测摔选测迟15柿流线平行度庸检测赞必要时测宋不测芳必要时测烧16缠自净时间软不测寨必要时测盛必要时测罗选测余17述过滤器安装检眼漏盯未规定帆选测使18爱污染泄漏掩未规定辅选测巾（三）洁净室蓄性能测试的主蓬要仪器和仪表蚕（三）洁净室吃性能测试的主延要仪器和仪表僚1资、风压测试仪间器：主要用于奥测定洁净室之据间和洁净与非尚洁净区之间微庄压差，也可利坟用压差法测量倾风速，计算风蔬量。免①棉液体压力计：蹲液体压力计具递有使用方便、系价格低廉、精炸确度较高、制姑造安装方便等讽优点，但有测挑量范围受限制却、玻璃管易碎间等缺点。睬常用的工作液榨体有：酒精、仅水、水银等，宴在洁净室测量诵中主要是酒精具和水。浴液体压力计主逮要有镜：现U荒型管压力计、杀斜管压力计、剩补偿式压力计勉。已②法弹簧压力计：奖弹簧压力计是到根据弹簧元件眯在所测压力作搜用下发生变形配，其变形量与遮所测压力成函谋数关系这一原顷理制成的，其定优点是构造简睬单、便于携带艺、安装方便、闯价格低廉。补常用的弹簧压凯力计主要有：后弹簧管压力计易、膜片管压力桥计和膜核压力若计。=3\*GB3黄③呜电学压力计：潮电学压力计是星利用压电原理眨或高压下电阻冒变化等电学方纲法来测定压力傲的压力计，适型用于测量变化存极快、数值很骄高或近乎绝对节真空时的压力顿。杨2炉、风速和风量律测试仪器园：恼葛风速测量仪的塔作用原理有：或机械式、散热车率式和动力测兼压式等。帆a用．机械式风速桃仪：如翼形风虽速仪，它是利秋用流动气体的殃原动压推动机闹械装置来显示梢其流速的仪表踪。台b柱．散热率式风挑速仪：是根据浊流体中受热物辨体的散热率与望流体流速成正牵比关系制成，加测定传感器的孔散热率，即能咸测到流体的流敌速。碗常用的散热率就式风速仪有：处热线风速仪和商热球风速仪等识。挎②啊风量测量仪：灾在洁净室中总普风量的测试常踢用风管法，各茎房间送回风量疯多用风口法进巩行测量，其原次理为平均风速就乘以断面面积援。=3\*GB3堡③到洁净度测试仪见：孕a乱．尘埃粒子的祥检测仪表：目毛前洁净室洁净压度的检测主要品用光散射尘埃严粒子计数器，离它又分为白只储光尘埃粒子计所数器和激光尘躲埃粒子计数器蹲。克它的原理是利叙用空气中的微况粒对光线的散脑射现象，将采颠样空气中的微浅粒的光脉冲信涂号转换为相应衔的电脉冲信号鸭来测定微粒的哲颗粒数，利用致微粒的光散射坟强度与微粒粒哗径的平方成正烟比的关系来测锦量微粒粒径的根大小。柿b酸．生物粒子的榜检测仪表：目严前生物粒子的面检测方法主要翁有采用培养基闯法和滤膜法，熊所用的仪器分译浮游菌采样器槐和沉降菌采样循器。屡浮游菌采样器受主要有：固体等撞击式采样器衣、离心式空气龙微生物采样器渗、气旋式微生炉物采样器、液雾体冲击式微生饶物采样器、过雁滤式微生物采唐样器和大容量胀静电沉降采样紧器等。咳沉降菌采样器刺主要有：高压用消毒锅、恒温惧培养箱和培养厘皿等。=4\*GB3奉④刮温度测试仪：冲通称温度计，纹按其作用原理吩可分为膨胀式盒温度计、压力岩式温度计、热忙电偶温度计和注电阻温度计。忌a班．膨胀式温度建计：分固体膨诚胀式温度计和镇液体膨胀式温遮度计。半b解．压力式温度碑计：可分为充电气压力计式温找度计和充蒸汽邀压力计式温度达计。液c执．热电偶温度洗计：是根据热绍电效应原理制虽成的，当两种故不同金属节点蚂温度不同时就千会有电动势，欠如已知一点温细度，测出电动洁势就可推算另花一点的温度。架d早．电阻温度计秤：基于某种金择属及其合金或达半导体的电阻照会随温度变化册而变化，精确馆地测定电阻就胆会测出温度。钞电阻温度计的略优点有：精确申度灵敏度高、足反应快；测温绩范围宽；不需悟冷节点补偿；裂可用于远距离眨温度测量。=5\*GB3穷⑤港湿度测试仪：箱湿度测试仪按妨其原理可分为破干湿球温度计趴、毛发温度计广、电温度计等浑。=6\*GB3捏⑥丑噪声测试仪：能噪声测试仪它启的原理是用电孤容式传声器将侮声能变为电能渴，再经放大器模、检波器等一票系列处理，最陈后给出声压值好。=7\*GB3绳⑦完照度测试仪：揉常用的便携式清照度计它的原祸理是用一种光诵敏元件做探头渗，当有光照时钉就会产生光电谋流，光线越强北光电流越大，闪测量电流时就长可测出照度。警（四）洁净室深性能测试的方盲法烤1亲．风量和风速煌的测量框①役．测试前的准插备工作妈：丢央测试前首先检帜查风机运行是凯否正常，系统器中各部件安装衔是否正确，有芦无障碍，所有暮阀门的开启位扎置是否正确并漆且固定可靠。狭单向流洁净室兴风量的测定：疮垂直单向流洁代净室和水平单弄向流洁净室的婚风量是采用断属面平均风速和抖断面面积的乘但积来计算的，要断面的选取和贫断面上的测点调布置见下表。姿表十揉六幅鹊音施工验收规烤范殿JGJ7蚊1窝和设计规企范层GB5007穿3撇的比较吓内侧春弯容祸施工验收规秋范讽JGJ71基设计规劣范堆GB5007卡3蓝垂直单向流只垂直单向流跳垂直单向流肆水平单向流薯测定断面的选泰取狂距地湖面裂0.8m穷距送风幻面晕0.5m浴距高效过滤占器璃0.3m轧测点的布置劳间距不大醉于砌2蔽m告均匀布置鸣间距不大专于惑0.6扰m复均匀布置道最少测点数意1鹿0处点，算数平均祥5湖点，算数平均遇测定仪器及热球风速仪须未作具体规定问评定标准务应大于设计风泻速喷,桐且不超次过绢2钥0粪％耍1~尖4茫级恼0.3~0.去5均不均匀的均方仰根差不大俘于视0.25痛5代级睬（岭10柿0许级）毕0.2~0.纤5=3\*GB3蛮③庭画非单向流洁净猎室风量的测定迈：寿非单向流洁净波室风量的测定征可采用风管法棒和风口法愈风管法测风量损：耗风管法测风量符中风管测定断柿面应选择气流版比较均匀稳定锦地方，且与局以部阻力的距离笑，测定断面在响局部阻力前时不不小玉于壮3耕倍风管管径长括度，测定断面纵在局部阻力后孤时不小佣于型5缺倍风管长边长帅度。们对于矩形风管沸将测定断面分劈成若干个相等晨的小截面，尽训可能接近方形铲，边长应不大降于遮200m拌m锯。测定点在小洁截面的中心。拐整个测定断面感的测点数不少韵于略3苹个。撒对于圆形风管柳将测定断面分彩成若干个面积邮相等的同心圆奴环，每个圆环相上党设歼4学个测点抚，护4阅个测点应在相伪互垂直的两条材直径上。踏图三十砍六列狡矩形风管的测霜点布窃置凑纠混米决图三十时七旅梳愿圆形风管的测沿点布置燕b.级急风口法测风量抱：钩在施工验收规亲范庸JGJ7裂1泉中规定了两种而方法：其一是立对于有过滤器福的风口，可根劫据风口形式选捧用与风口断面摔相同的辅助风凶管，其长度为钥两倍风口的边嫁长，连接于被劳测风口外部，脱在辅助风管的以出口面上，最治少布掌置飞6辫个测点，用热零球风速仪测个乓点风速，再用间断面平均风速形乘以风口净面泊积来计算风量社。其二是对于临有同类扩散板榨的风口，可根贤据扩散板的风科量阻力曲线和傲实测扩散板阻远力来查出风口递的风量。=4\*GB3头④奸风量测定结果初的判定：撇实测风量应大板于设计风量，愈但不应超铲出幸2完0羽％。逼b.身客实测新风量与剧设计新风量之刑差不应超阁出矛1肢0某％。垂c.么芒实测个风口风筋量与设计风量慎之差不应超仰出份1玉5镜％。话2叠．洁净度的测价定：街在施工验收规菠范径JGJ7症1既中规定如下：飞最低采样点数度见下表，每个券测点最少采样揪机抚3勒次。金表十记七证耐达最低采样点数刚表府面积揭（质m匆2菌）丽洁趋吨是净捆满俩度锤10茎0奴级和高叼于贯10刮0判级绕100维0煎级谊1000享0抹级院10000圆0挪级粘小纷于此10宴2~3哄2升2酱2戚10比4茂3户2益2匪20俩8功6危2痕2管40精16腊13云4库2颈100随40撑32纱10往3协200葵80戴63务20鞋6触400奋160细126任40盆13讨1000替400园316贵100商32六2000森800亩633更200择63嘱测定洁净度的砌最小采样量按缴下表：股表十戏八见百孤最小采样量祖表蕉(叛L)秒洁净度级别（役级）除粒榆炸椒径急（渠m宾m早）缴0.1笨0.2自0.3宾0.5维5.0酿1月17杆85训198逮566护10未2.83叠8.5袍19.8颂56.6华100菌2.83垄2.83没5.66却1000膨2.83蚂85圈10000澡2.83加8.5效100000准2.83拥2.83曾对于单向流洁旋净室采样口应惭朝着气流方向滥。对于非单向选流洁净室采样艰口宜朝上。采脱样速度尽可能态接近室内气流玩速度。即（等伙速采样）。晌测点的布置原新则：每层不少蔬于爽5念个测点，多狼于女5亲点时可分层布封置。测点布置五在距凡地父0.8柏m贫高的科对直壁迟角线上。森②结影洁净度测定结白果的判定：班a.粉衔如实测状态（宏空态，静态，危动态）与事先生约定的状态相钳同，以其洁净腔度级别上限作钢为评定标准。及如实测状态为执空态或静态，所则动态时的粒失子数肯定会高艳，有时可用空屯态粒子数般的哗5~1堆0费倍来估算动态使时的尘埃粒子袄数。虫3碌．微生物粒子斑的测定：党①咽．采样点的布尤置和要求箱：堆垃浮游菌测定时折，其采样点位堂置可以与悬浮申粒子测定点的粉布置相同。测赞点距离地暖面舍0.8~1.沉5m祸,弟送风口测点位词置距送风傻面狭30c竿m疮左右。根据需免要可在关键部椒位增加测点。悟测点布置要均即匀。见下表：煮表十玻九逝寸水浮游菌测定最想少采样点数表振面积堡（议m春2畅）街洁笼桥鸭净狗美氧度众10眉0大级妈1000它0品级少10000思0校级真验证腊监测毒验证坚监测症验证逝监测羊小寸于待10诵2~3老1冶2脖1照2陵－益10~20河4便2君2师1豆2绞－写20~40狸8览3坑2限1驳2杜－跨40~100境16火4乓4沈1欺2秩－挽100~20弱0遮40日10丰3服－内200~40房0烈80浓20床6绢－顺400渴160雪40啦13沃－腿沉降菌测定时脑，其采样点位滑置可以与悬浮拿粒子测定点的赌布置相同。测希点距离地吐面孕0.8~1.螺5伪m疗。根据需要可辱在关键部位增躲加测点。测点返布置要均匀。乏对于沉降菌法盯不仅仅满足于住最少采样总技数法,威还需满足最少踪采样培养皿总盒数。见下表：伟表二等十何蚊信沉降菌测定最触少采样点数表锅面积第（习m跑2枪）座洁纯搁寻净吸定援度挂10扫0甘级默1000队0鸟级身10000耗0道级曲小嫂于扣10本2~3毛2腐2骡10~20惕4策2净2争20~40寿8趋2循2矩40~100弹16煌4碑2哀100~20链0鼠40痛10借3闸200~40必0养80治20窝6挂400~10挨00幕160龄40师13贡1000~2元000飘400盟100粉32哄200寒0堤以上放800金200侧63渗表二十渡一进浴位沉降菌测定最竟少培养皿数表艰洁净度等级（百级）公9木0讯培养皿数（以仰沉码降增0.5附h张计）杠高评于欣100手44恳100饼14姿1000半5危10000佩2举100000妖2布浮游菌测定法解最小采样量应降按不同洁净度姥等级来确定。援见下表计表二十失二钳茄乏浮游菌测定法秒最小采样量表渐洁净度等级（未级）犯采样吼量稠/L恨·峰次颜日常监测斤环境验证钥100挤600时1000默10000薯400抖500训100000痰50杨100违②杆恢微生物粒子测帽定方法：插浮游菌的测定袋法铸首先，要对测箱定仪器，培养未皿，采样器等湿进行消毒灭菌至，采样口和采唤样管在使用前蕉必须用高温灭她菌。斧第二，采样者杨应穿与洁净室寸等级相应的洁纹净服，放入或叫调换培养皿前带，双手要用消震毒剂消毒。灶第三，仪器消译毒后放入培养厦皿前，先开动而真空泵抽气，猪使仪器中的残侨存消毒剂蒸发偶，时间不小绝于抄5mi宜n挑。真第四，关闭真假空泵，放入培蛛养皿，盖好盖挑子后调节采样黑器。钻第五，置采样材口于采样点，但依次开启采样荡器，真空泵，种转动定时器并刃根据采样量选撤定采样时间。昂第六，采样结娘束后，将培养摆皿置唤于开30~50º僵C化恒温培养箱中考，时间不小禾于耍4卸8慢小时。大第七，用肉眼亭计数，然后低用垦5~1谣0牌倍的放大镜检筝查，是否有遗盼漏店。灌烤已考灾.b.轨输沉降菌的测定杜法揪首先，要对测横定仪器，培养捷皿等进行严格言的消毒灭菌，然在他37º铁C汽恒温培养箱中针，进行不小石于系4剩8扰小时的培养和老观察，确认无棋菌后方可使用独。皱第二，一般采统用婆90m纺m碗的沉降平皿，匪注覆入船20m酬L必培养基，放在液测点处，开盖哲暴粒露驴30min曲,除将培养皿盖盖厉上倒置，然后斥在猪30~35º鲁C旬恒温培养箱中腥，进行不小央于蕉4芹8忽小时的培养并替用肉眼计菌落定数，并记录生挑成的菌落数，澡然后处用马5~1尿0素倍的放大镜检晓查，是否有遗赴漏。删4割．静压差的测阿定：喝静压差的测定治要求：隔首先，静压差简的测定是洁净从区内所有的门遇全关闭状态下球进行的。说第二，应从洁干净度高到洁净弊度低的房间顺悠序进行，一直观到直通室外的妙房间。社第三，测管口孝设置在室内不蛾受气流干扰的配地方。台第四，所测数翼据应精确迎到领1.0P馋a沃。美②阳承静压差的测定衔步骤：每首先，是将洁帝净区内所有的羽门全处于关闭榴状态下。歇第二，用微压犹差计测量洁净域室之间，洁净枯室和走廊之间霜，走廊与外界输之间的压差。搞第三，记录在希案非=3\*GB3同③嫌城静压差测定用够的仪器：供静压差测定一踪般采用的仪器授为居YJB-15灌0加型补偿式微压蚁计，倾斜式压垄力计，精密指坐针式压力计或总灵敏度小奏于况1.0P马a骤的其它压力计赌。=4\*GB3敲④咏缓合格标准：播首先，不同级态别的洁净室（圆区）与非洁净碧室洁净室（区白）之间的静压子差应不小丹于威5P捷a半。经第二，洁净室需（区）与室外燕的静压差应不只小湾于籍10P薯a马。复第三，对于洁视净度等级严磨于酷5栗级的单相流洁体净室在开门时查，门睬内忽0.6截m钉处室内工作面娱的含尘浓度应骂不大于相应级吨别的含尘浓度庄限值。报5枪．温度和相对践湿度的测定：器①寄温湿度的测定接要求圣首先，温湿度胞测定前，净化幸空调系统应连者续运闯行道48和h膜以上。边第二，应根据剧温湿度的精度滴范围，选择有见足够精度的测移定仪表，并经述过校验标定合自格。姑②参温湿度的测定带方法：她第一，温湿度畏的测点应距离哨地懂面姓0.8子m浙，距离外衰墙吐0.5家m昼。良第二，应根据弹温湿度的精度辞范围的要求，校测定宜连续运瘦行选8~48涝h遣，每次读数间听隔不大咸于会30mi灶n蓬。修渗第三，对于没什有恒温要求的锣房间，其温度照只测房间中心裳一个点即可。普第四，对于有仔恒湿要求的房夺间或区域，测跌点应放在送，静回风口处或具轰有代表性的点所。=3\*GB3筒③您良合格标准：界有督90艰%蚂以上的测点其课温度的偏差值模在室温要求的切范围内，为符欲合设计要求，贤反之为不合格逮。蜓6励．照度的测定隶：重照度的测定要滴求猛室内照度的测枣定必须在室温胁稳定，光源光葛输出稳定后再熟进行测定。膜②说照度的测定方师法：魂第一，照度的献测点应距离地获面竟0.85惰m休，按间踩距狼1~2轧m吸布点，测点距劝离翅墙摆1甩m携。及第二，记录实垫测值并计算总政的平均照度爹。裕说第三，照度测尖定一般是不含拌局部照明以外耕的一般照明。=3\*GB3肌③陈薯合格标准：旧应符合设计要予求，根据（洁漫净厂房设计规鉴范）的要求，孟洁净室内一般形照明的均匀度弱不应小燥于醉0.挠7责。最7弃．噪声的测定衫：僻①叶残噪声的测定方隔法：炸当房间的面积向不大合于下50m讲2续时，仅测定房雕间中心一个点隆。当房间的面俱积较大时，每忍增霉加炸50m购2浑增加一个测点副。测点距离地怀面笛1.0说m鼻。当有条件时汉，宜测房间静慕态工况的噪声戏和本底噪声。聚②翼乔合格标准：办应符合设计要剧求，根据（洁镜净厂房设计规辅范）的要求，医洁净室空态情新况下非单向流服洁净室的噪声正不应大鱼于揭60dB(A桃)书。单向流和混蒙合流洁净室的做噪声不应大折于伪65dB(元A退)葵。祸8藏．自净时间的枣测定：陈①宵自净时间的测栏定方法：洗以大气尘为基役准测定时，洁舟净房间必须停趋止运行一段时门间，待空气中边含尘浓度接近婚大气含尘浓度陷时，然后开机跌，直到含尘浓境度达到最低稳研定值为止，其浪所需要的时间止为自净时间。超以人工尘（香词烟，巴兰香等例）为基准测定截时，在洁净室牧中央距离地瑞面盘1.8腹m谈的高度发烦烟押1~2min蒙即停止，再稳岭定仗1~2mi五n膀，然后开机，烧直到含尘浓度乐达到最低稳定鹊值为止，其所字需要的时间为战自净时间。净9劝．安装后过滤并器的检漏：①检漏要求：本被检过滤器应共检测过风量并凭在设计风量震的逢80%~12印0厦%岂条件下运行。案被检过滤器上傅游的粒子浓度铃被检过滤应满拾足下列要求：梅对受控粒典径窄≥饲0.穷5氧μ比m丛的浓度，应不陶小泽于虏3.5x10赵4贯pc/L竟对受控粒祸径熄≥粗0.龟5根μ夺m陪的浓度，应不慎小业于剪3.5x10叼4殃pc/L②检漏方法：攻用粒子计数器博对安装的接缝浊和主断面进行鹰扫描检漏。检肺漏点应距离被忧检表钞面慰20~30m冷m齐。扫描的速距度晨5~20mm晨/闻s鸦，术咽扫描检漏的部攀位为过滤器整渡个断面，封头篮胶，安装框架教等处。扫描检剑漏用的粒子计惜数器的最小采少样量应大救于创1L/mi籍n靠。=3\*GB3果③卷馋合格标准：籍被检过滤器下忙游的粒子浓度诸换算成穿透率经，高效过滤器勇不应大于出厂摇合格穿透率的句两倍。纵五，洁净室运蒙行管理的一些泥问题：吹（一）过滤器矩的基本知识及凝其维护管理湖1虑，过滤器的基渗本知识睁过滤器是洁净惠室的主要净化累设备，是空气哄净化的主要手趋段。因此，对映于从事洁净室蛋设计、建造和切维护管理人员捞了解和掌握过辞滤器的基本知秘识是十分重要弄的。怀a糖、过滤器的分侵类疼按过滤器的性升能（效率、阻耀力、容尘量）鞭来划分，通常燕将其划分成粗坦效、中效、高诊中效、亚高效啦、高效奖（幕HEP切A饼）和超高效航（满ULP咽A逝）六类过滤器蓬。金我国国家标准丧《空气过滤器顶》滑GB/T1熊4295-9恩3绝中将不同过滤辅器的效率和阻底力规定如下：揪表二十榜三动王锣过滤器的效率静和阻力启（炒GB/T1踢4295-9篇3暂）丛屡惧饮性能指标粉性能类别游额定风量下的售大气尘限径计蜻数效率季（坦E针%镜）上额定风量下的芽初阻力绑（购P阔a渡）辅粗效办≥夕5.截0要μ泡m玉80糠>缓E腹>下20穷≤雪50治中效威≥雅1.包0漏μ抚m仓70御>推E外>薪20属≤言80兼高中效同≥泊1.城0佣μ陪m斯90峡>泊诸E>贼70率≤败100棕亚高效搁≥馆0.右5敢μ代m没99.9伐>嫁E箱>饭95反≤嫌150蕉国家标准《高封效空气过滤器胁》泼GB135召54-9塞2术中规定将高效欲过滤器按性能园划分绒为优A断、歌B据、衬C喉、鸡D吊四类谈。胃D惹类又通称为超须高效过滤器（持或称章为槐0.牧1逮μ各m拢高效过滤器或颠超低透过率过缘滤器）。样表二十颠四捡嫂肥过滤器的效率受和阻力孟（殖GB135岔54-9叶2睡）要享垂性能指标也性能类别会效衰泽配率泡（胸E茂%性）脖额定风量下的丈初阻力胸（用P榨a真）自A勾额定风量下的章钠焰效率锣≥桑99.9造≤矿190付B蹄额定风量饼和粒20稠%亏额定风量下的言钠焰效率岭≥洽99.99技≤辜220红C供额定风量盐和猛20帖%煎额定风量下的狐钠焰效率读≥芒99.99绩9塘≤帆250产D夺额定风量俘和油20母%蚀额定风量下菌的翻≥伞0.圾1驼μ滩m范粒子效率陷≥灶99.99恋9浪≤牌280顷国外将超高效茧过滤器钉（填ULP汁A逐）的过滤效率脱指标规定为对宏于秤≥色0.1买2林μ厚m让粒子的过滤效穗率利E汽≥贱99.999亡5跟%滚。府关于我国和欧殿美对过滤器的贺分类比较如下三：富表二十匹五视辞固过滤器的分类闸表照我国标准达GB/T1抢4295稠一般通风用孤洁净室用上粗幅曾秘效咱中效妙高中效吉亚高效建高赛撑贡效舒超高效孩美国缘申慨凯C1佳C2仗C3票C4叨L5擦L6府花句汽聋缩是雅豪H15您H16词叠没唤UH20拆欧洲新标准血G1狡G2肺G3饱G4粱F5歪F6绘F7笼F8筑痒渡H11盗H12锁H13独H14嫂分汗枕欧洲老标准脑EU1奏EU2捡EU3墙EU4尽EU5钳EU6庄EU7混EU8乔EU9乞EU10雀养羞费EU14灯妙效眯率蒸E如（总%蚁）狠65滋80闻90戒60赖姥80灶90乱85梁95合99悟.5栽99.95出99.99陵59央9.9995应99.被99995表计重法葱比色法丘MPP沈S门法险（妖DO乓P贡法）捐b揭、过滤器的过枣滤机理值过滤机理主要核有拦截（过筛圈）、惯性碰撞乖、布朗扩散和悔静电等。悄①殿冤拦截：即过筛笔。大于筛孔的赞粒子拦截下来冶被过滤掉，小孟于筛孔漏过去墓。歼亲拍爆一般对大粒子灿有作用，效率辈很低，是粗效戚过滤器的过滤修机理。府②束迹惯性碰撞：粒锤子尤其较大粒固子随气流流动恋，作无规则运毛动。由于粒子沾的惯性或某种楚场力作用偏离复气流方向，不驼随气流运动，著而与障碍物碰汇撞、粘住而被煤过滤掉。粒子催越大，惯性越仗大，效率越高议。一般是粗效拖和中效过滤器溜的过滤机理。拍③箭馅布朗扩散：气俩流中的微小粒唤子做无规则的仓布朗运动，与隆障碍物撞击被林钩留粘住，而串被过滤掉。粒王子越小，布朗屡运动越强，与淘障碍物撞击机翁会越多，效率灯越高。这也被禁称作扩散机理添。这是亚高效选、高效和超高医效过滤器的过嫩滤机理。且纤艺维直径越接近击粒子径效果越厅好。扛c突、过滤器的性殊能跳过滤器性能一负般包括过滤效科率稳E绪；初阻趋力墙H或c赖；容尘候量侮g锈。床①纷跪过滤效眼率休E=窝涛被过滤器过滤基掉的（捕集的允）粒子磁量内/早未过滤前空气晒中粒子总睬量彼×100%执一般而言翻：线≤番0.1咳µ盼m晚粒子主要作布奏朗扩散运动，须粒径越小，效开率越高。任>谜0.5乐µ兄m磨粒子主要作惯偿性碰撞运动，疏粒径越大，效嚷率越高。事毅省摆测单箩样漠减谅矮右②毛开初阻贿力赴H绑c饰：气流绕纤维堂运动产生微小雁阻力，无数微矩小阻力之和即利滤料对空气的液阻力。过滤器狼的阻力与气流历速度有关，速糟度越大，阻力模越大。狭磁圾过滤器的阻力误分为初阻力竞（警H语c炊）和终阻力渔（素H崭z卖）。四焦亿初阻力形（涉H砍c齿）是过滤器器胳开始使用时额寨定风量下的阻陈力。殿光安终阻力其（傻H泰z穷）是过滤器更快换时的阻力。尼一矩般柱Hz=2遵×钱H粪c村。澡③松射容尘叼量朋g瓣：过滤器到达佳终阻力时在滤滴料上所容纳的抖灰尘重量。d、滤速暴滤速是指空气雕垂直于滤料方麦向穿过滤料的绿速度。不是过绿滤器迎面风速峡。时滤速越大粒子拼惯性力越大，骨对粗、中效过悼滤器而言效率镜越高，但滤速息越大，过滤器果对空气的阻力港也越大。所以秀一般粗效过滤浇器滤速盾为叫1~2m/珍s轨，中效过滤器商的滤虾速利0.2~1秃m/友s答。谨滤速越大，不脱利于微小粒子梯的布朗运动，咬因此对高效、航超高效过滤器香的滤速一般控乘制士在练0.02m义/惰s移左右。惊e述、过滤器滤料驴和结构形式鬼粗效过滤器的由滤料一般为：合玻璃纤维、化袍纤、无纺布等旗其结构型式多右为板式、折叠鹊式和袋式。典中效过滤器的避滤料一般为玻辈璃纤维、化纤羡、无纺布等其搞结构型式多为适袋式、楔形折弟叠式。膨高效过滤器的步滤料主要是超章细玻璃纤维滤骑纸。结构型式状均为折叠式。门有有隔板和无勉隔板之分。针f装、过滤器的使己用和更换饶①里碌过滤器的使用艇粗效、中效、负高中效、亚高捡效、高效、超闻高除效拒6优种过滤器各有况各的用途，必循须正确使用，筝如果使用不当滩，不但不会起搭作用而且还会罢产生不良甚至种相反的效果。撕因此，设计、脆建造和维护管散理洁净室的人鱼员要特别注意题。起粗效过滤器是舞作为预过滤器遗使用，一般是掩设置在空调箱邮内，其作用是裕过滤大颗粒的搅粒子，以保护处其后的空调设壶备（如表冷器尖和加热器等）带和中效以及更堆高级过滤器。蹄一般粗效过滤坐器不能作为终独端过滤器。呀中效过滤器一廊般设在空调箱凶的正压段，其叶作用是保护亚吧高效、高效过秋滤器等终端过陕滤器。它除去太的恐是咬≥相1.0奸µ铁m烈的中小粒子。征一般情况下，词中效过滤器是签中间过滤器，芬不能做预过滤第器用，也不能煎做终端过滤器诵。可高效和超高效三过滤器都做为家净化系统的终警端过滤器。一哪般放置在洁净钓室的吊顶上。通高效过滤器在（差HEP怀A顷）是洁净室的锅必须的终端过涨滤器。而超高扇效过滤器翅是尚0.1开µ存m润，锹1港0店级垂、贱1拌级或更高级别跃洁净室必须的燃终端过滤器。耀②轮转过滤器的更换权过滤器经过一春段时间的运行击，当过滤器的震阻力达到其终谈阻误力誉H度z淋时，一般情况兔下就要更换了宇，否则其性能捞就会下降，达抱不到应起的作军用，甚至会影寄响系统的正常晕运行。扭对粗、中效过透滤器而言，有捏一次性使用后晕废弃的也有可差清洗后继续使悲用的，不过清福洗后的粗、中掘效过滤器的阻喜力远比其初阻罗力大，效率也辫有所提高。哪然而亚高效、势高效和超高效知过滤器都是一装次性的，使用直后就废弃的。近(仰二肝)测、洁净室的发害尘源和洁净室换的清埽：定1背、洁净室的发册尘源稍对于洁净室的仔尘源，除了来宾自室外大气的恭尘粒和进入洁累净室的人和物广携带的灰尘之洁外，洁净室内垒的发尘源主要视来自于洁净室怜内操作人员，上洁净室的围护样和洁净室内生倍产工艺设备和裁生产过程的产圆尘。典①盾早洁净室内作业狠人员的产尘。捆作业人员的产仆尘与所穿的洁斜净工作服的材盏料、型式、着蔑装情况和作业辟人员本身的动笑作有关。因此具，洁净室内的初作业人员必须欺穿规定的工作锁服而且动作也她要受到一定的素限制。通常情弓况下，一般电誉子装配工艺穿叉全身型洁净工层作服轻微动作免时，人员的产改尘量役为斜3.5~遵5.0×10后5洞个证/乎人玉·莲分岂（遭≥引0.5熟µ瞒m密）。是洁净室唇内的最主要的严发尘源。秤②蔽遗洁净室围护和扣室内表面的产技尘。随着洁净享室装修材料的地发展，耐磨、剩抗静电、少产脸尘的材料出现交，洁净室内建伍筑产尘量