光纤白光干涉测量术

光纤白光干涉测量术第1页，共40页，2023年，2月20日，星期三第2页，共40页，2023年，2月20日，星期三第3页，共40页，2023年，2月20日，星期三第4页，共40页，2023年，2月20日，星期三第5页，共40页，2023年，2月20日，星期三第6页，共40页，2023年，2月20日，星期三第7页，共40页，2023年，2月20日，星期三第8页，共40页，2023年，2月20日，星期三第9页，共40页，2023年，2月20日，星期三光程补偿法总结：2个干涉仪，一个传感，一个工作在扫描状态，在2干涉仪的光程差相同时，获得最大干涉条纹。或者扫描干涉仪的一个臂，在两臂光程差相同时得到最大条纹。缺点：只能实验室使用第10页，共40页，2023年，2月20日，星期三波长扫描法宽带光源注入干涉仪，测量光谱中的周期波长间隔第11页，共40页，2023年，2月20日，星期三波长测量法中，用光谱仪获得的光谱第12页，共40页，2023年，2月20日，星期三波长扫描白光干涉测量中的问题：一、光谱仪昂贵，且不便于仪器化。一般有2种解决方案：

1、基于CCD阵列的光谱仪结合Fizeo干涉仪，或玻璃衍射光栅。但CCD在>1um无响应，与光纤系统的发展趋势不吻合

2、用可调谐F-P滤波器，或基于此的光纤激光器进行扫描，获得白光光谱，更适合仪器化和工程化二、白光光谱呈正弦分布，不能准确的测量出峰值处的波长第13页，共40页，2023年，2月20日，星期三波长扫描白光干涉光谱获取技术第14页，共40页，2023年，2月20日，星期三光谱仪和可调谐滤波器采集光谱比较（M-Z干涉仪）第15页，共40页，2023年，2月20日，星期三传统的OPD测量方法1.2.3.OPD与某一个峰的波长变换第16页，共40页，2023年，2月20日，星期三傅里叶变换频率法第17页，共40页，2023年，2月20日，星期三北京理工大学：

OPD测量中的相位测量技术白光干涉相位测量术原理第18页，共40页，2023年，2月20日，星期三目前已经研究的基于相位解调的

白光干涉测量术傅里叶变换白光干涉测量术傅里叶变换白光干涉相对测量术波长扫描白光干涉测量术相移白光干涉测量术白光干涉正交测量术第19页，共40页，2023年，2月20日，星期三1.傅立叶变换白光干涉测量第20页，共40页，2023年，2月20日，星期三实验结果第21页，共40页，2023年，2月20日，星期三傅里叶变换白光干涉测量术复用2个传感器第22页，共40页，2023年，2月20日，星期三傅立叶变换白光干涉相对相位测量术

原理（略）第23页，共40页，2023年，2月20日，星期三2:波长扫描白光干涉测量术第24页，共40页，2023年，2月20日，星期三解调原理第25页，共40页，2023年，2月20日，星期三测量的相位与傅里叶变换白光干涉法的比较第26页，共40页，2023年，2月20日，星期三3.相移白光干涉测量术一第27页，共40页，2023年，2月20日，星期三3.相移白光干涉测量术二第28页，共40页，2023年，2月20日，星期三第29页，共40页，2023年，2月20日，星期三测量温度第30页，共40页，2023年，2月20日，星期三测量应变第31页，共40页，2023年，2月20日，星期三连续加应变时与频率法的比较第32页，共40页，2023年，2月20日，星期三4.白光干涉正交测量术目的：解决短光程差的干涉仪光程测量第33页，共40页，2023年，2月20日，星期三第34页，共40页，2023年，2月20日，星期三正交信号的李萨如图正交解调算法第35页，共40页，2023年，2月20日，星期三双谱峰追踪法波动±170nm正交法波动为±80nm第36页，共40页，2023年，2月20日，星期三号外：北京理工大学推出

光纤可调谐FP滤波器（OFTF）第37页，共40页，2023年，2月20日，星期三性能自由光谱区宽度FSR：755nm3dB线宽=0.1~0.15nm精细度F=600-700损耗Loss=3dB第38页，共40页，2023年，2月20日，星