SiP工艺技术介绍

当今社会，电子系统的发展趋势是小型化、高性能、多功能、高可靠性和低成本，在这些需求的强力驱动下，电子产品的演进速度超乎寻常。在物联网、移动支付、移动电视、移动互联网、3G通讯等新生应用的引导下，一大批新型电子产品孕育而生，多功能集成、外型的短小轻薄、高性能、低成本是这些新型电子产品的共性。想要实现这一目标，多种功能芯片和各类电子元件的高度集成技术是必不可少的环节，因此对半导体封装提出了前所未有的集成整合要求，从而极大推动了先进封装技术的发展。为适应集成电路和系统向高密度、高频、高可靠性和低成本方向发展，国际上逐渐形成了IC封装的四大主流技术，即：阵列凸点芯片及其组装技术、芯片尺度封装技术（CSP，ChipScalePackage）、圆片级封装技术（WLP,WaferLevelPackage）和多芯片模块技术。目前正朝着更高密度的系统级封装（SiP）发展，以适应高频和高速电路下的使用需求。系统级封装是封装发展的方向，它将封装的内涵由简单的器件保护和功能的转接扩展到实现系统或子系统功能。SiP产品开发时间大幅缩短，且透过高度整合可减少印刷电路板尺寸及层数，降低整体材料成本，尤其是SiP设计具有良好的电磁干扰（EMI）抑制效果，更可减少工程时间耗费。但是SiP除了以上的优点外，也存在一些问题需要后续去突破，SiP产品的设计和制造工艺较以往发展单颗芯片更为复杂，必须要从IC设计的观点来考量基板与连线等系统模组设计的功能性和封装工艺的可实现性。我公司目前着力于针对SiP封装技术建立完善的工艺、设计、可靠性分析能力，以拉近与国外同行业者之间的距离。目前已有以下工艺研发成果：（一）高、低弧度、密间距焊线工艺通常SiP产品中需要在有限的空间中集成数颗尺寸大小各异的芯片和其他的外围元器件，一般都会采用芯片堆叠的封装工艺进行，同时此类产品中芯片的压焊点间距非常的小，因此这类产品的焊线技术与传统的封装产品有着更高的要求。（1）当芯片堆叠层数增加时，不同线环形层之间的间隙相应减少，需要降低较低层的引线键合弧高，以避免不同的环形层之间的引线短路。为了避免金丝露出塑封体表面，需要严格控制顶层芯片的金线弧高，因此稳定的金线倒打工艺是确保良率的关键焊线技术。我司目前已完成40um以下的低弧度焊线工艺技术的研发（超低弧度金线倒打技术、金线直径20um、金丝弧高可达40um）。（2）为了满足压焊点间距小于60微米、压焊点开口尺寸小于50微米的芯片的焊线工艺，需要开发超密间距劈刀的小球径焊线工艺。我司目前已完成45um以下间距的压焊点的高密度焊线工艺技术的研发。（3）由于封装中将会采用多层芯片堆叠的工艺技术，需要开发开发芯片间串连焊线的工艺。我公司目前已完成8层芯片间串联焊线工艺技术的研发。(二)大尺寸圆片的超薄厚度减薄工艺在SiP封装产品中由于需要集成数颗芯片，一般往往采用芯片堆叠的工艺技术，因此对圆片的减薄要求很高，往往要求芯片减薄至50um～100um的厚度，甚至有些产品需要达到25um的厚度。而且近年来由于成本缘故而使晶圆尺寸向12英寸发展，单颗芯片的面积也超过100mm2，所以大大增加了减薄、切割和拾取芯片的难度，工艺技术控制不好通常会造成圆片、芯片碎裂的问题，或是在芯片内残留机械应力，造成芯片在后续的工序中碎裂。为了确保圆片的减薄要求，超精密磨削、研磨、抛光、腐蚀作为硅晶圆背面减薄工艺获得了广泛应用，减薄后的芯片可提高热发散效率、机械性能、电性能、减小芯片封装体积，减轻划片加工量。因此，大尺寸圆片的超薄厚度减薄工艺技术是实现高密度系统封装的重要基础，是不可或缺的工艺技术。我公司目前已完成12英寸圆片减薄至25um厚度的工艺技术的研发。（三）8层及8层以上的芯片堆叠工艺伴随着科技的不断发展进步，USB存储卡（U盘）逐步向高容量和体积小巧便于携带的方向发展，要满足高容量的需要势必需要使用大容量的闪存芯片，要满足体积小巧的需要势必要求闪存芯片的尺寸要缩小。目前各闪存芯片厂商的制程能力已达到纳米级，其中Micron更是达到了34nm的制程，单个闪存芯片的容量最大为4GB，因受芯片尺寸及制程能力的限制，单个芯片的容量再次提升有很大难度，所以要达到高容量的USB模块时，需要将闪存芯片进行3D堆叠。以保证在USB产品外形不变的前提下，达到USB容量的扩充，满足市场的需求。我公司目前已完成8层的芯片堆叠的工艺技术的研发（12英寸晶圆减薄至75um厚度）。（四）微小元器件的高密度贴装工艺在SiP封装产品中不仅需要集成多颗芯片，有时还需要集成可多达数十颗的被动元器件（包括电容、电感、电阻）。但是由于封装的尺寸的局限性，则需要解决SurfaceMountainTechnology工序中对于大量无源阻件的密集贴装技术。并且由于贴装区域的限制，也要求被动元器件的尺寸越小越好，贴装时使用的锡膏的厚度也需要严格的管控。我公司目前已完成01005尺寸（长为0.4、宽0.2毫米）被动元器件密集贴装工艺技术的研发（被动元件数量50颗，回流后锡膏厚度35-75um）。（五）小球径、小节距的植球工艺20世纪90年代随着技术的进步，芯片集成度不断提高，I/O引脚数急剧增加，功耗也随之增大，对集成电路封装的要求也更加严格。为了满足发展的需要，BGA封装开始被应用于生产。BGA（BallGridArrayPackage）的突出优点是：1）电性能更好，BGA用焊球代替引线，引出路径短，减小了引脚电阻、电容和电感，减小了延迟。2）封装密度更高，组装面积更小，由于球是整个平面排列，因此对于同样面积，引脚数更高。3）BGA的节距为1.5mm、1.27mm、1.0mm、0.8mm、0.65mm和0.5mm，与现有的表面安装工艺和设备完全相容，安装更可靠。4）由于焊料熔化时的表面张力具有“自对准”效应，避免了传统封装引线变形的损失，大大提高了组装成品率。5）BGA引脚牢固，转运方便。6）焊球引出形式同样适用于多芯片模块和系统级封装。BGA封装其中一项最突出的优点就是对于同样面积，引脚数更高，这就对BGA封装产品生产中的植球工序有更高的要求。我公司目前已完成最小球径300um、最小节距500um的植球工艺技术的研发。（六）倒装芯片及underfill填充工艺随着金丝引线键合成本的变化，对倒装芯片的需求出现了急速增长，飞升的金价使采用引线键合的盈亏点向更低引脚数的方向偏移。同时一些性能上的原因也促使我们考虑倒装芯片技术，采用倒装芯片可以更好地缩减芯片尺寸，并且在移动应用中使用的硅正在变得更加紧密（更高的I/O密度）。另外，倒装芯片避免了额外的封装并提供了像高运行频率、低寄生效应和高I/O密度的优点。倒装占有面积几乎与芯片大小一致，在所有表面安装技术中，倒装芯片可以达到最小、最薄的封装。倒装芯片技术替换常规打线接合，已逐渐成为未来的封装主流。与COB相比，该封装形式的芯片结构和I/O端（锡球）方向朝下，由于I/O引出端分布于整个芯片表面，故在封装密度和处理速度上倒装芯片已达到顶峰，特别是它可以采用类似SMT技术的手段来加工，因此是芯片封装技术及高密度安装的最终方向。倒装芯片封装技术与传统的引线键合工艺相比，具有许多明显的优点，包括：优越的电学及热学性能、高I/O引脚数、封装尺寸减小等。倒装芯片技术是当今最先进的微电子封装技术之一，它将电路组装密度提升到了一个新高度，随着电子产品体积的进一步缩小，倒装芯片的应用将会越来越广泛。Underfill（底填料）是一种适用于倒装芯片电路的材料，它填充在IC芯片与有机基板之间的狭缝中，并且将连接焊点密封保护起来。Underfill封装的目的在于：降低硅芯片和有机基板之间的CTE不匹配；保护器件免受湿气、离子污染物、辐射和诸如机械拉伸、剪切、扭曲、振动等有害的操作环境的影响；增强Flipchip封装的可靠性。Underfill材料的要求是：优异的电、物理和机械性能；生产中易于应用；优异的抗吸潮和抗污染能力。当前的Underfill材料主要是硅填充的环氧树脂基体材料，其性能的改善由以下三个因素决定：（1）提高了对芯片的约束，减小了焊接的剪切应力，而且附加的粘接面也有降低芯片弯曲的趋势；（2）当弹性模量很接近于焊料的弹性模量时，环氧树脂就形成一种相对焊接的准连续区，因此就减小了在芯片和基板界面上与焊接面形成的锐角有关应力的提高；（3）焊料实际上是被密封而与环境隔绝。我公司目前已完成Tape&Reel/WaferRing方式、Bump高度70um倒装芯片工艺技术的研发。系统级封装技术和产品有着非常广阔的应用和市场前景，现阶段系统级封装产品的需求已经来势汹汹，日渐迫切。系统级封装技术和产品的出现，给国内半导体产业、尤其是封装企业带来了一次前所未有的发展机会。标志我国封装产品将由低端转为高端，封装行业由制造密集型产业转向设计和产权密集型产业的过程即将到来。系统级封装技术应用不仅将又一次促使半导体产业链的重新整合，而且将会使传统智能卡封装业和半导体封装业这两个本不相干产业的整合，同时也为国内一批半导体封装装备企业和封装材料企业提供广阔的发展机会。因此，半导体产业供应链间如何打破藩篱、携手合作，共同营造更完善的系统级封装产品发展环境，将是当务之急；我们相信长电科技一定可以在其中担当重要的角色，为中国半导体产业的发展作出自己的贡献。

附录资料：不需要的可以自行删除设备管理英文术语大全概率（几率）probability·HYPERLINK方差variance·分散维修decentralizedmaintenance·动态试验dynamictest·动力设备设施管理powerfacilitiesmanagement·除尘、防护设备管理duct-proofandprotectiveequipmentmanagemen t·抽样调查samplinginvestigation·备件国产化管理domesticproductionmanagementofimportedspareparts·标准偏差standarddeviation·安装预算budgetofinstallation·包机制machinecontractingsystem·班前检查与润滑制度regulationofcheckandlubricationbeforeonshift·［设备］交接班制度shiftreliefsystem·《设备管理条例》（《条例》）《EquipmentManagementRegulation》·[设备]修理repair·[设备]维修maintenance(andrepair)·重点调查key-pointinvestigation·重点设备管理managementofkey-pointequipment·重点设备key-pointequipment·责任事故liabilityaccident·指数分布exponentialdistribution·直方图histogram·预付与托收承付prepaymentandcollection·预防性试验prophylactictest·预防为主preventionfirst·正交设计法（正交试验法）orthogonaldesign·正态分布normaldistribution·运输车辆管理制度transportationvehiclemanagementsystem·质量“三包”threeguaranteesofquality·质量事故accidentduetoquality·压力容器管理制度managementregulationofpressurevessel ·无故障运行时间meantimetofailure ·威布尔分布Weibulldistribution ·闲置设备管理制度idleequipmentmanagement·闲置设备idleplant·统计分析statisticalanalysis ·维修性maintainability ·维修信息管理maintenanceinformationmanagement ·维护与计划检修相结合combinationofserviceandplannedmaintenance ·随机事件randomevent ·数控设备管理numericalcontrol(NC)equipmentmanagement ·三级保养制three-levelservicesystem ·数学期望mathematicalexpectation ·数学模型mathematicalmodel ·数理统计mathematicalstatistics ·生产技术装备technicalfacilitiesinproduction ·生产设备productionequipment ·寿命周期费用lifecyclecost(LCC) ·润滑油库管理制度mangementregulationoflubricantwarehouse ·商检（商品检验）commodityinspection ·设计、制造与使用相结合combinationofdesign,manufacturingandoperation ·设备调研investigationonplant ·设备的可靠性与可靠度reliabilityreliabilitytheory ·设备的节能性energysavingpropertyofplant ·设备的检查评比facilityinspectionandappraisethroughcomparisonforplant ·设备点检制度plantchecksystem ·设备的成套性completesetofplant ·设备的安全性safetyofplant ·设备的生产率productivityofplant 设备的耐用性durabilityofplant·设备的灵活性flexibilityofplant·设备状态监测与诊断技术管理equipmentconditionmonitoringanddiagnostictechnologymanage·设备状态管理制度equipmentconditionmanagementsysten·HYPERLINK设备综合管理totalplantmanagement·设备资产动态管理制度dynamicmanagementsystemofplantassets·设备租赁plantleasing·设备修前准备制度preparationsystembeforeequipmentrepair·设备修理工时定额man-hoursquotaforequipmentrepair·设备修理费用定额expensequotaforequipmentrepair·设备修理材料定额materialquotaforequipmentrepair·设备修理质量验收制度acceptanceregulationofequipmentrepairquality·设备型号equipmentmodel·设备型式typeofequipment·设备经济寿命economicallifeofequipment·设备经营管理制度operationandbusinessmanagementsystem·设备技术档案technicaldocumentofplant·设备技术状况technicalconditionsofequipment·设备技术状态管理technicalconditionmanagementofplant·设备技术资料管理制度managementsystemfortechnicaldocumentandplant·设备技术性能technicalpropertiesofplant·设备技术寿命technicallifeofequipment·设备检修专业化协作specializedcooperationofplantmaintenance·设备检修计划管理制度planningandmanagementregulationofplantmaintenance·设备检修计划plantmaintenanceplan·设备检修规程plantmaintenancespecification·设备检修质量plantmaintenancequality·设备基础设计与施工designandconstructionofequipmentfoundation·设备合同管理managementofequipmentordercontract·设备规划可行性分析feasibilitystudiesofplantproject设备规划investmentplanofplant·设备功能（效能）performanceofplant·设备工作能力operationalcapabilityofplant·设备管理考核制度examinationandchecksystemsofplantmanagement·设备管理经济责任制度economicresponsibilityregulationofplantmanagement·设备管理岗位标准poststandardofplantmanagement·设备管理制度plantmanagementsystems·设备管理停歇时间定额（停歇天数）downtimequotaforequipmentrepair·设备管理现代化plantengineeringmodernization·设备管理plantmanagement,plantenginerring·设备固定资产管理制度fixedplantassetsmanagementsystems·设备故障equipmentfailure·设备更新管理制度plantrenewalmanagement·设备更新plantrenewal·设备更换plantreplacement·设备岗位责任postresponsibilityofplantmanagement·设备改造管理制度equipmentmodificationmanagementsystem·设备改造plantreconstruction,plantmodernization·设备分级管理classifiedmanagementofplant·设备定人定机、凭证操作规定operationregulationwithfixedqualifiedoperatorandfixedeq·设备操作的“五项纪律”“fivedisciplines”ofplantoperation·设备操作规程operationspecificationofequipment·设备备品配件管理制度managementregulationofequipmentspareparts·设备备件库房管理制度managementregulationofequipmentsparepartsinventory·设备报价toquoteplantprice·设备报废discardofplant·设备安装管理equipmentinstallationmanagement·设备安装equipmentinstallation·设备巡回检查制度tourssystemtoinspectplant·设备询价toenquireplantprice设备选型plantmodelselection·设备验收交接制度acceptancecheckandreceptionsystemsofplant·设备统计报表制度statistic-reportingsystemofplant·设备维修技术资料technicaldocumentanddateforplantmaintenance·设备维修技术管理制度managementregulationofplantmaintenancetechnology·设备维修定额equipmentmaintenancequota·设备维护规程equipmentservicespecification·设备台帐unitaccountofplant·设备完好标准equipmentperfectnessnorm·设备完好plantingoodcondition·设备索赔claimsforequipment·设备使用规程specificationsofusage·设备使用初期信息反馈管理informationfeedbackmanagementininitialoperationperiodofpl·设备使用与维护管理制度managementregulationforoperationandserviceofequipment·设备全过程管理life-cyclemanagementofplant·设备寿命lifeofequipment·设备润滑管理制度lubricationmanagementregulationofplant·设备润滑“五定”“fivefixation”oflubrication·设备事故管理制度accidentmanagementregulationofplant·设备事故“三不放过”threedonotletpassofplantaccident·设备事故plantaccident·设备区域维修负责制regionresponsibilitysystemofplantmaintenance·设备前期管理和后期管理foreperiodandlaterperiodmanagementofplant·设备前期管理规定regulationofforeperiodmanagementofplant·设备磨损补偿wearcompensationforplant·设备老化plantageing·算术平均值（均值）arithmeticmean·强制保养制coercionaryservicesystem·投资效果系数effectcoefficientofinvestment·设备经济管理制度economicmanagementsystemofplant设备管理评优活动excellenceselectionactivityinplantmanagement·排列图（帕累托图）Paretochart·负荷试验loadtest·故障停机时间breakdowntime·工艺适应性technologicaladaptability·工程设备监理supervisionofengineeringfacilities·工序控制点设备管理managementofproccess-control-pointequipment·合同变更与解除contractchangeandcancellation·混合维修combinedmaintenance·回归分析regressionanalysis·检查间隔期intervalbetweeninspections·检修社会化socializationofmaintenance·集中维修centralizedmaintenance·技术先进性technicaladvancement·技术管理与经济管理相结合combinationoftechnicalmanagementandeconomicmanagement·计算机辅助设备管理computer-aidedplantmanagement·计划预修制度（ЛЛP）plannedpreventivemaintenancesystem·进口设备离岸价FOBofimportedequipment·进口设备管理importedequipmentmanagement·进口设备到岸价CIFofimportedequipment·精、大、稀设备precise,largescale,rareplant·精、大、稀设备管理managementofprecise,largescale,rareequipment·精、大、稀、关键设备的“五定”“fivefixed”ofprecise,largescale,rare,criticalequipme·经济性economy·静态试验statictest·开箱检查open-caseinspection·平均偏差averagedeviation·平均等待时间meanwaitingtime,MWT·修理周期repaircycle·修理周期结构structureofrepaircycle修理、改造与更新相结合combinationofrepair,modernizationandrenewal·修理复杂系数complexitycoefficientofrepair·修理间隔期timebetweenrepairs·租赁设备管理制度leasedequipmentmanagementsystem·资金的时间价值timevalueoffund·自然事故naturalaccident·自制设备self-madeequipment·自制设备管理制度managementsystemforselfmadeequipment·HYPERLINK自制备件管理制度self-madesparepartsmanagementsystem·专业管理与群众管理相结合combinationofprofessionalmanagementandmassmanagement·转让设备（设备调剂）transferoffacility·典型调查typicalinvestigation·地区（部门）修理中心areal(departmental)repaircenter·废油回收率recoveryratioofusedoil·动力设备完好率perfectnessratioofpowerplant·定期保养完成率fulfillmentratioofperiodicservice·大修理平均停歇天数meandowntime(days)duetooverhaul·重点设备完好率perfectnessratioofkey-pointequipments·一次交验合格率qualificationratiounderfirstacceptancecheck·在用设备可利用率availabilityofplantinuse·已安装设备利用率utilizationratioofinstalledequipments·万元固定资产年创利润率annualprofitratioper10000yuanfixedassets·万元产值占用维修费用maintenanceexpensefor1000yuanproductionvalue·实有设备安装率installationratioofownedequipments·设备综合利用率comprehensiveutilizationratioofplant·设备资产增值率addedvaluerateofplantassets·设备资产投资回收期capitalinvestmentrecoveryperiodofplant·设备新度newnessdegreeofplant·设备净资产创利润率profitratiovsnetbookvalueofplant·设备计划台时利用率utilizationratioofplannedtimeofplant设备构成比constitutionratioofplant·设备负荷率loadrateofplant·设备返修率backrepairrate·设备制度台时利用率utilizationratioofinstitutionaltimeofplant·设备闲置率idelnessratioofplant·设备投资回收报率plantcapitalinvestmentrecoveryratio·设备投资产出比capitalinvestmentrecoveryperiodofplant·设备完好率perfectnessratioofplant·设备日常保养完成率plantdailyservicefulfillmentratio·设备事故频率incidentfrequency·设备利用率utilizationratio·事故［故障］停机率downtimeratiotoaccident(failure)·清洗换油计划完成率fulfillmentratioofcleaningandoilchangeplan·HYPERLINK每个修理复杂系数平均大修理成本meanrepaircostpercomplexitycoefficientofrepair·每个复杂系数占用维修费用maintenanceexpenseperrepaircomplexitycoefficient·每万元固定资产创工业增加值率industrialincreasevalueratioper10000yuanfixedassets·故障强度failureintensity·HYPERLINK故障频率failurefrequency·关键设备完好率perfectnessratioofcriticalequipments·精大稀设备完好率perfectnessraitoofprecise,largescaleandrareequipments·可利用率（有效利用率）availability·平均停机时间meandowntime,MDT·平均故障间隔期，平均无故障工作时间meantimebetweenfailture·修理计划完成率fulfillmentratioofrepairplan废润滑油再生（废油再生）regenerationofwastelubricatingoil·防泄漏管理leakpreventionmanagement·二级保养secondlevelservice·定期精度调整periodicaccuracyadjustment·定人定机制度systemoffixedmachineandoperator·额定载荷ratedload·超负荷试运行commissioningunderoverload·初步试运行preliminarycommissioning·操作工人的“四会”fourbasicskillsforoperator·参数故障parametricfailure·保养计划完成率fulfilmentratioofserviceplan·保养规程servicespecification·保养“十字”作业法“tenwords”methodforservice·保养service·安全性故障safetyfailure·安全规程safetyprocedure·[设备性能]劣化degradation(ofequipmentperformance)·PM小组PMgroup·隐蔽故障hiddenfailure·有效性availability·有效度avaliability·有效寿命effectivelife·制度时间institutionaltime·一级保养firstlevelservice·原发故障primaryfailure·原始记录originalrecord·正常负荷normalload·正常超载normaloverload·治漏“八字”法“eightwords”methodforleakagecontrol·运行时间operatingtime仪表“三率”“threerate”ofmeter·早（初）期故障期earlyfailureperiod·永久性故障（持续性故障）permanentfailure·验收试运行finalcommissioning·无泄露[区]标准leakless(area)standard·突发性（偶发）故障randomfailure·维护费servicecost·危险性故障dangerousfailure·误操作故障failurebymisoperation·完好设备perfectfacility·生产维修productivemaintenance(PM)·润滑工作岗位责任制postresponsibilityoflubricationwork·润滑管理制度lubricationmanagementsystem·润滑“五定”“fivefixation”oflubrication·润滑“三过滤”three-stepfiltrationoflubricatingoil·润滑站lubricatingstation·润滑图表lubricatingdiagram·试车commissioning·日常保养费dailyserviceexpenses·日常保养（日保）dailyservice·日历时间利用率utilzationratioofcalendertime·设备的可靠性和可靠度reliability·设备的区域维护regionalserviceofequipment·设备技术状态technicalconditionsofequipment·设备故障率曲线（浴盆曲线）failureratecurveofequipment,tubcurve·设备操作合格证operationlicence·设备“5S”活动“5S”activityofequipment·设备隐患hiddentroubleofequipment·设备运行记录operationrecordofequipment·设备维护的“四项要求”fourrequirementsforplantservice设备维护标准servicestandardofequipment·设备维护equipmentservice·设备使用的“三好”threewelldoingforuseoffacility·设备使用过程processofmachineoperation·设备三级保养three-levelservicesystemforequipment·设备日常点检routineinspection·设备清洗（清扫）cleaningofplant·设备漏油标准oilleakagestandard·设备利用系数utilizationfactorofequipment·人身保护装置personalsafetydevice·强制保养mandatoryservice·潜在故障latentfilure·偶发故障期accidentalfailureperiod·磨损性故障wearoutfailure·例行保养（例保）routineservice·密封点sealedpoint·劣化趋向管理degradationtrendcontrol·随机故障randomfailure·设备的定期维护periodicserviceofequipment·负荷试运行commissoningunderload·故障类型failuretype·故障率（失效率）failurerate·故障率基本类型basicformsoffailurerate·故障模式failuremode·故障模型failuremodel·故障弱化failureweakening·故障树分析FTA,faulttreeanalysis·故障物理学physicsoffailure·故障停机率breakdownrate·故障征兆failuresymptom·故障安全safetyprotectionagainstfailure·故障分析方法failureanalysismethod·故障机理failuremechanism·功能故障functionalfailure·关键设备使用维护“四定”fourstipulationsforoperationandmaintenanceofcriticalequip·耗损（劣化）故障期exhaustionfailureperiod·红旗设备red-flagequipment·基本故障basicfailure·间断性故障intermittentfailure·继发故障secondaryfailure·计划时间利用率utilizationratioofplannedtime·渐衰失效性故障localandgradualfailure·渐发性（磨损）故障gradual(wear-out)failure·精、大、稀、关键设备的使用维护operationandserviceofprecise,largescale,rareandcriti·净开动时间netoperatingtime·可使用时间uptime·可用性（可利用率）availability·可靠性为中心的维修reliabilitycenteredmaintenance,RCM·平均故障间隔期（平均无故障工作时间）meantimebetweenfailures,MTBF·破坏性故障catastrophicfailure·起重机安全保护safetyprotectionofcrane·最大允许寿命（宣称寿命）maximumpermittedlife(declaredlife)·自显故障self-displayedfailure·综合试运行totalcommissioning·专群结合combinationofspecialistsandmasses·调整adjustment·跟踪检查trailcheckout·法定检查lawfulinspection·动特性试验dynamicperformancetest·动态精度dynamicaccuracy动态检验dynamictest·定期点检periodicfixedpointinspection·定期检查periodicinspection·定期参数检查periodicparameterexamination·定期润滑检查periodiclubricationcheck·“三位一体”点检制“threeinone”fixedpointinspetionsystem·主观（五官）判断故障subjective(sensible)failuredeciding·一般目视检查generalvisualinspection·影响设备效率的六大损失sixmajorlossesaffectingrunningefficiency·正常检查normalinspection·巡回检查patrolinspection·巡回检测patroltest·无损检查non-destructivetest·停机时间downtime·微观组织检查examinationofmicroscopicstructure·损坏breakdown·缺陷defect·失效（故障）failure·容许故障率allowablefailurerate·日常检查dailyinspection·日常润滑检查dailylubricationcheck·设备点检fixedpointinspectionofequipment·设备检查facilitiesinspection·设备监测equipmentmonitoring·设备故障频率equipmentfailurefrequency·设备故障管理效果评价resultevaluationofplantfailuremanagement·设备诊断技术equipmentdiagnostictechnique·设备诊断equipmentdiagnosis·酸洗检查inspectionwithpickling·敲打检查hammeringtest磨损检查wearinginspection·内表面检查innersurfaceinspection·故障强度率failureintensityrate·故障趋于零的“四个阶段”“foursteps”tozerofailure·故障危害程度harmextentoffailure·故障为零的五项措施fivemeasurestozerofailure·故障（停机）损失breakdownloss·故障管理程序programofrailuremanagement·故障管理信息informationoffailuremanagement·故障修理troubleshooting·功能检查（功能测试）functioninspection,functiontest·宏观组织检查examinationofmacroscopicstructure·检定周期cycleofverification·技术维护technicalservice·季节性技术维护seasonaltechnicalservice·计划保全管理plannedmaintenancemanagement·解体检查inspectionunderdisassembledcondition·精度检查accuracyinspection·静态精度staticaccurary·可靠性试验reliabilitytest·可靠性分析reliabilityanalysis·平均寿命时间（MTTF）meantimetofailure·状态监测conditionmonitoring·状态检查conditioninspection·点检的主要环节mainitemsoffixedpointinspection改善修理correctivemaintenance·返修率backrepairrate·分级修理stepped(sizing)repair·分散修理制decentralizedmaintenancesystem·废次品及返修损失wasteandungradedproductandbackrepairloss·非预定维修时间unscheduledmaintenancetime·定期修理作业periodicrepairtask·定期维修法periodicrepair·定位精度locationaccuracy·传动精度transmissionaccuracy·大修计划修改revisionofoverhaulplan·大修计划考核assesmentofoverhaulplan·大修计划编制overhaulplanning·大修计划依据basisofoverhaulplan·大修计划完成率fulfilmentrateofoverhaulplan·大修计划实施implementationofoverhaulplan·大修费用overhaulcost·大修成本构成overhaulcost·大修成本分析overhaulcostanalysis·大修成本完成率fulfilmentrateofoverhaulcost·大修保修overhaulguarantee·大修周期intervalbetweenoverhauls,overhaulcycle·大修质量保证体系guaranteesystemofoverhaulquality·大修理质量评定overhaulqualityevaluation·HYPERLINK大修理质量控制overhaulqualitycontrol·大修overhaul,capitalrepair·部件修理法assemblyrepair·部分修理法partialrepair·补偿法compensationmethod·备件生产计划productionprogramofspqreparts备份或冗余系统stand-byorredundancysystem·标准尺寸修理法standard-sizerepairmethod·八步法“eightsteps”method·重复定位精度repeatlocationaccuracy·中修middlerepair·有可维修备份的系统systemwithmaintainablestandbyparts·远距离维修remotemaintenance·预防维修preventivemaintenance·预定维修时间scheduledmaintenancetime·预知维修（状态监测维修）predictivemaintenance·质量体系qualitysystem·质量quality·逾期维修deferredmaintenance·网络计划networkplanning·维修技术培训maintenanceskilltraining·维修间隔（正常运行时间）maintenanceinterval,uptime·维修活动的经济分析economicanalysisofmaintenanceactivities·维修工人maintenanceworker·维修防护maintenanceprotection·维修车间maintenanceshop·维修预防maintenanceprevention·维修周期maintenancecycle·维修时间maintenancetime·同步修理法synchronousrepair·停修时间repairdowntime·项修（项目修理）itemrepair·外委修理repaironcommission·全员参加的生产维修制（TPM）totalproductionmaintenancesystem·受控维修controlledmaintenance·寿命周期维修lifecyclemaintenance热修hotrepair·设备修理计划repairscheduleofequipment·设备修理验收acceptancecheckforequipmentrepair·设备季度修理计划quarterlyrepairscheduleofequipment·设备技术考核technicalcheckofequipment·HYPERLINK设备大修计划equipmentoverhaulplan·设备月度修理计划monthlyrepairscheduleofequipment·设备维修计划equipmentmaintenanceplan·设备维修三要素threeessentialfactorsofequipmentmaintenance·设备项修计划itemrepairplanofequipment·设备年度修理计划annualrepairscheduleofequipment·事后修理breakdownmaintenance·抢修first-aidrepair·大修机床精度accuracyofmachinetoolafteroverhaul·滚动计划rolling(circulation)plan·管理信息系统维修MISmaintenance·工程能力指数processcapacityindex·工作精度workingaccuracy·恢复性修理recoveryrepair·机床旋转精度rotationalaccuracyofmachinetool·机修车间（分厂）machinerepairshop·机修技工maintenancemechanic·HYPERLINK机械修复法mechanicalrepairmethod·机械的瞬时效率instantaneousefficiencyofmachinery·互换法interchangemethod·检验inspection·集中修理制centralizedmaintenancesystem·几何精度geometricaccuracy·季节性修理seasonalrepair·计划外修理repairoutofplan计划维修scheduledmaintenance·计划预修制（ППP）plannedpreventivemaintenancesystem·计划修理plannedrepair·接触精度contactaccuracy·紧急修理作业emergencyrepairtask·就地加工修配法machiningandfittingmethodonthespot·精度指数precisionindex·精度标准accuracystandard·精度保持性precisionretainingability·精度储备precisionreserve·精修finerepair·精修技工finerepairmechanic·经济精度economicaccuracy·平衡精度等级balancingprecisiongrade·平均修理时间meantimetorepair(MTTR),meanrepairtime·小修minorrepair·修配法fittingmethod·修配环repairlink·修理任务书repairspecification·修理施工调度repairrasksdispatch·修理时间repairtime,shutdowntime·修理停歇时间定额downtimequotaforequipmentrepair·修理用设备repairfacilities·修理质量repairquality·修理质量指标repairqualityindex·修理质量计划repairqualityplan·修理质量考核repairqualityassessment·修理标识repairsymbols·修理成本考核repaircostassessment·修理尺寸repairsize修理定额repairquota·修理费用定额repaircostquota·修理方案repairscheme·修理工时定额repairmanhourquota·修理工时考核repairmanhoursassessment·修理工艺repairtechnology·修理工程车maintenanceengineeringtruck·修理工具maintenancetool·修理工期考核repairtimelimitassessment·修理考核repairassessment·修前预检inspectionbeforerepair·修前测绘measuringanddrawingbeforerepair·修前访问inquirybeforerepair·修后服务serviceafterrepair·最优修理周期optimumrepaircycle·装配精度assemblyaccuracy·电修车间（分厂）electricrepairshop·电修技工maintenanceelectrician·单台设备修理费用核算repaircostaccountingforsingleequipment·调整法adjustmentmethod·调整环adjustinglink覆盖件coveringparts·返修品backrepairedproducts·分散（混合）储备decentralizedstorage·分散生产方式decentralizedproductionmode·分散生产分散储备decentralizedproductionanddecentralizedstorage·废品损失rejectionloss·废品率rejectionrate·废品wasteproducts·存放合理化storagerationalization·储备形式storageform·储备恢复周期（订货间隔期）intervalbetweenorders·储备限额storagelimit·大型铸锻件large-sizedcastingandforging·次品substandardproducts·超差品over-toleranceproducts·常备备件runingspareparts·成品finishedproducts·成品储备storageoffinishedproducts·成对储备conjugatedstorage·成对（套）件conjugatedparts·部件储备storageofassembles·部件assembly·仓库面积利用率utilizationratioofstorehousearea·备件的“五清”“fiveclear”forspareparts·备件自给率self-sufficiencyrateofspareparts·备件自然失效naturalfailureofspareparts·备件资金的核算法accountingmethodofsparepartsfund·备件资金占用率occupationrateofsparepartsfund·备件资金周转期turnoverperiodofsparepartsfund·备件资金周转率turnoverrateofsparepartsfund备件考核指标assessmentcriteriaofsparepartsmanagment·备件卡基础资料elementarydataofsparepartscards·备件卡（帐）cardsofspareparts·备件库的“五五码放”“five-fivetiering”forstorehouseofspareparts·备件库的“三一致”“threecoincidence”forstorehouseofspareparts·备件库的“三清”“threeclear”forstorehouseofspareparts·备件库的“两齐”“twoneatness”forstorehouseofspareparts·备件库管理工作managementofsparepartsstorehouse·备件库存供应率supplyrateofsparepartsinventory·备件库保管员职责responsibilityofsparepartsstorehousemanager·备件库职责responsibilitiesforstorehousesofspareparts·备件库storehouseforspareparts·备件经济管理economicmanagementofspareparts·备件经常储备定额regularstoragequotaofspareparts·备件计划员plannerresponsibleforspareparts·备件计算机管理computer-aidedmanagementofspareparts·备件技术员technicianresponsibleforspareparts·备件技术失效technicalfailureofspareparts·备件汇总collectionofspareparts·备件合用率suitabilityofspareparts·备件供应率supplyrateofspareparts·备件管理计划工作planningworkofsaprepartsmanagement·备件管理技术工作technicalworkofsparepartsmanagement·备件管理职责responsibilityofsparepartsmanagement·备件管理sparepartsmanagement·备件范围rangeofspareparts·备件分类工作classifyingworkofspareparts·备件订货点法orderingpointmethodofspareparts·备件订货点orderingpointofspareparts·备件订货量orderingquantityofspareparts·备件定期订货法periodicorderingmethodofspareparts·备件定量订货法fixed-quantityorderingmethodofspareparts·备件定量保持法（维持定量法）fixed-quantitykeepingmethodofspareparts·备件储备的“三点制”“threepointsystem”ofsparepartsstorage·备件储备资金限额limitoffundsforreservespareparts·备件储备资金fundsforreservespareparts·备件储备定额storagequotaofspareparts·备件储备失效寿命storagelifeofsparepartstofailure·备件成本价格costpriceofspareparts·备件采购（供应）