OPTORUN镀膜机离子源的维护保养说明书

OPTORUN离子源的维护保养说明1．离子源的维护和Grid的分解和组装方法长时间运转後，石英杯会被镀上一层的导电性膜，因此会引起输出功率下降，此时请进行打砂处理或使用洗净液（请使用不影响SiO2的洗净液）等除去膜层。石英杯的清扫周期通常是50~100小时。（根据使用状况更改维护的周期）。注意：请注意石英杯很容易损坏。在对石英杯进行打砂时，请使用粒度＃100的Al粒子，并保持0.1～0.2MＰａ的低压力，英杯30cm以上进行打砂作业。1．1绝缘子的清洁长时间使用后，GridAssy部分的绝缘子会被镀上一层的导电性膜，此会引起Grid的短路，不能正常发挥作用。并会出现ACC电流值过大或Beam电流上不去的现象，此时需清洁或交换绝缘子。由于绝缘子的清洁难度很大，建议您交换新品。注意：确认各Grid间，2000Vdc时须20MΩ以上。①②维护和交换时期各Grid间绝缘子的状态呈恶化趋势时，用打砂纸清洁其外表部。Grid维护周期为每50~100小时确认其外观・绝缘，如有异常请及时清扫或交换。如厚度有磨损，其磨损厚度为-0.02mm时，请交换新品。（例如：t=1.0mm的绝缘子当变为t=0.98mm时，请交换新品。）注意：请注意绝缘子很容易碎裂。1．2Grid的清洁长时间使用后，各Grid的被镀上一层的导电性膜，特别是DecelGrid膜层很容易被剥离，请在不对着Grid的情况下用吸尘器除去的剥落的膜。ACCGrid和SCRGrid请用测试仪点检，表面被绝缘时请及时清洗。注意：Grid的分解和组装方法请参考添附资料。浓度25%的洗净液（BR-55）里浸泡5~10小时。（作为代替品25%的NaOH水溶液也可使用，但是洗净效果略差。）或者使用超声波洗净机，能得到同样的洗净效果。注意：BR-55和NaOH为危险物品，使用时请小心。用超声波洗净机时请注意Grid由于振动所引起的破损。边用热水清洗边用清洁布擦洗Grid表面，约洗10分钟以上，NaOH和赃物等将被洗净。用干燥机干燥。利用Grid固定夹具（参考照片1，2），并使用#300的砂纸摩擦Grid表面直到表面的赃物和变色消失为止。注意：不要使Grid变形。认认附资料1离子源Grid的分解和组装方法※请参照添附图纸进行作业。分解１拆下GridMountAssy.GridMountAssy.作業容注意点从离子源主体上拆下GridMountAssy.

组装组装2Grid的组装2DecelConnector作業容注意点DecelConnector如图放置。对准Grid组装夹具和DecelConnector的孔。组装3Grid的组装3对准孔的方向不同DecelGrid作業容注意点DecelGrid的凸面向下，对准孔的位置。（発散GRID的场合）収束Grid的凸面向上放置。

组装10Grid的组装10作業容注意点如图所示拧上六角螺母，完成之后拔去对准钉拆下组装夹具。确认各Grid之间的ShieldInsulator和GridInsulator没有重叠。81542736

添附资料添附资料2中和器分解・组装方法※请参照添附图纸进行分解・组装作业。分解1Keeper的分解KeeperNut(2pcs)Ke