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文档简介

TEM最新进展及发展趋势主要内容TEM发展概述TEM的最新发展TEM的发展趋势

TEM的发展概述第一台TEM由马克斯·克诺尔和恩斯特·鲁斯卡1931年研制，这个研究组于1933年研制了第一台分辨率超过可见光的TEM，分辨率大约是50nm。我国电镜研制起步较迟，1958年在长春中国科学院光学精密机械研究所生产了第一台中型电镜，到1977年生产的TEM分辨率为0.3nm的80万倍的。TEM的最新发展功能完善超高压TEM分辨本领高—在原子水平上直接观察厚试样三维结构；试样穿透能力强(1MV时约为100kV的3倍)；JEM-ARM1250／1000型超高压原子分辨率电镜点分辨本领已达0.1nm；日立公司3MV超高压透射电镜分辨本领为0.14nm；中等电压200kV\300kVTEM：采用球差系数更小的物镜和场发射电子枪；穿透能力分别为100kV的1.6和2.2倍；国际上常规200kVTEM的点分辨本领为0.2nm左右，放大倍数约为50倍～150万倍；TEM面临的重大技术突破—提高分辨率减小物镜球差：80年代末期物镜的球差降低到0.5mm。1990年，Rose提出由两个六极校正器和四个电磁透镜组镜球差减小到0.05mm，因此电镜分辨率0.24nm提高到优于0.14nm；FEG-STEM的新型的球差校正器，球差系数Cs由3.5mm降低到0.1mm以下；STEM暗场像的分辨率提高到0.1nm。2提高自动化程度，简化操作真空操作样品更换及驱动，照相记录，电镜工作模式变换等复杂的工作均只需要一个启动命令就能自动完成，尤其是引入电子计算机之后，使操作进一步自动化，而且还可以对图像或谱线进行处理。

3向分析式电镜发展电子显微镜把人们引入了千变万化的微观世界，使我们能在原子量级上来研究物质的微观结构。4场发射枪透射电镜场发射电子枪具有亮度高，交叉斑小，电子能量分散小及相干性好等优点，正在日益受到重视。对透射电镜开展微区衍射和微区分

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