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文档简介
大学物理学1*等厚条纹待测工件平晶
请问：此待测工件表面上，有一条凹纹还是一条凸纹？这条纹方向是怎么样的（平行于或垂直于侧棱）？答：凸纹，是垂直于侧棱。若平行于侧棱，等厚干涉条纹是什么样子的？16-3-4
等厚干涉的简单应用1.检查光学表明2*
例:有一个玻璃劈尖放在空气中，劈尖夹角=810-5
用单色光垂直照射,=589.3nm，测得条纹间距l=2.4mm。求此玻璃的折射率.解:根据可得3*
例:制造半导体元件时，常常要精确测定硅片上氧化硅薄膜的厚度，这时可把氧化硅薄膜的一部分腐蚀掉，使其形成辟尖，利用等厚度条纹测其厚度。已知Si的折射率为3.42，SiO的折射率为1.5，入射光波长为589.3nm，观察到7条暗纹。问SiO薄膜的厚度e是多少？解：可得=(2×6+1)×589.3×10-9/(4×1.5)=1.28×10-6m=1.28µm两束反射光都有半波损失注意：第0级条纹的位置4*h待测块规λ标准块规平晶校验块规1.精密测长度待测样品石英环λ平晶干
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