标准解读

《YS/T 978-2014 单晶炉碳/碳复合材料导流筒》是中国有色金属行业标准之一，该标准主要针对用于单晶硅生长设备中的碳/碳复合材料导流筒提出了具体的技术要求和试验方法。碳/碳复合材料因其优异的耐高温性能、良好的热稳定性和较低的热膨胀系数，在半导体制造领域尤其是单晶硅拉制过程中被广泛采用作为关键部件之一。

根据此标准，首先定义了术语与定义部分，明确了“碳/碳复合材料”、“导流筒”的概念及其应用背景。接着，在技术要求章节中详细规定了导流筒的尺寸公差、外观质量、密度、弯曲强度等物理机械性能指标；同时，还对材料的灰分含量、电阻率以及抗氧化性等方面设定了相应的限制条件。此外，标准也列出了导流筒在使用前应满足的安全性能要求，比如最高使用温度下不应产生有害气体或物质。

对于如何验证这些技术参数是否符合规定，标准内提供了详细的检验规则及抽样方案，并且介绍了几种常见的测试方法，包括但不限于密度测定法、弯曲强度测试、电阻率测量等。值得注意的是，在进行各项检测时需严格按照指定的操作步骤执行以确保结果准确性。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2014-10-14 颁布
  • 2015-04-01 实施
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文档简介

ICS29045

H83.

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T978—2014

单晶炉碳/碳复合材料导流筒

Carbon/carboncompositesguideshieldofsinglecrystalfurnace

2014-10-14发布2015-04-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T978—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准主要起草单位湖南金博复合材料科技有限公司西安隆基硅材料股份有限公司

:、。

本标准主要起草人廖寄乔李军谭周建邰卫平李定武王跃军龚玉良周锐陈英李丙菊

:、、、、、、、、、、

石磊

。

Ⅰ

YS/T978—2014

单晶炉碳/碳复合材料导流筒

1范围

本标准规定了直拉单晶炉用碳碳复合材料导流筒的要求试验方法检验规则标志包装运输

/、、、、、、

储存质量证明书和订货单或合同内容

、()。

本标准适用于直拉单晶炉用碳碳复合材料导流筒

/。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

一般公差未注公差的线性和角度尺寸的公差

GB/T1804

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

闪光法测量热扩散系数或导热系数

GB/T22588

炭素材料体积密度测定方法

GB/T24528

感耦等离子体原子发射光谱方法通则

JY/T015

三向纤维增强复合材料弯曲性能试验方法

QJ2099

碳碳复合材料灰分含量测试方法

QJ2509/

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

导流筒guideshield

位于单晶炉内坩埚的上方起着引导气体流动屏蔽热量形成单晶生长温度梯度具有导流保温作

,、、,

用的锥筒形物体

。

4要求

41产品分类

.

411碳碳复合材料导流筒按其锥体小端内径分成不同的规格其常见的规格代号有

../,235(20in/

等图为导流筒示意图规格代号中后面括号内的表示该

6.5in)、265(22in/8in),1。235“20in/6.5in”

导流筒用于热场的单晶炉中拉的单晶棒较为合适

20in6.5in。

412根据碳碳复合材料导流筒中灰分含量碳碳复合材料导流筒按纯度等级分为一级和二级

..

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