标准解读

《YS/T 1141-2016 钛蒸发料》是中国有色金属行业标准之一，该标准规定了用于制造半导体、光电材料等领域中高纯度钛金属薄膜的钛蒸发料的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的要求。根据此标准，钛蒸发料指的是通过物理气相沉积（PVD）技术，在特定条件下能够蒸发形成均匀薄膜的钛或钛合金材料。

对于化学成分而言，《YS/T 1141-2016 钛蒸发料》明确了不同等级钛蒸发料的具体化学成分范围，包括但不限于钛含量不低于99.9%，同时对杂质元素如铁、硅、氧等设定了严格的上限值，以确保材料的高纯度特性。此外，还对某些特殊用途下的钛蒸发料提出了更高的纯度要求。

在物理性能方面，该标准也给出了明确的规定，比如外观应无裂纹、气孔等缺陷；密度需达到一定标准；粒度分布也有具体要求，以便于控制蒸发过程中的成膜质量。针对形状与尺寸，则根据不同应用场景给出了推荐规格，并允许供需双方协商确定最终产品形式。

为了保证产品质量，《YS/T 1141-2016 钛蒸发料》详细列出了相应的测试方法，涵盖了从原材料进厂检验到成品出厂前的各项检测程序。这其中包括采用电感耦合等离子体质谱法测定化学成分；使用电子天平测量密度；通过显微镜观察表面状况等。所有这些测试都旨在确保每批次产品的稳定性和一致性。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-07-11 颁布
  • 2017-01-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS77.150.50

H64

中华人民共和国有色金属行业标准

YST1141—2016

钛蒸发料

Evaporatedtitaniummaterial

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YST1141—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人张涛刘书芹何金江万小勇徐学礼罗俊锋丁照崇王越高岩刘冬青

:、、、、、、、、、、

吴艳华

。

Ⅰ

YST1141—2016

钛蒸发料

1范围

本标准规定了钛蒸发料的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及质量证明书与合同

、、、、、

或订货单内容

()。

本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氧量氮量的测定

GB/T4698.7、、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4698.14、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GB/T4698.15、

高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

YS/T891

高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法

YS/T892

3要求

3.1产品分类

3.1.1产品按照纯度分为三个牌号

IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。

3.1.2产品主要分为片状柱状如图所示

、,1。

说明

:

A边长

———;

B边长

———;

C厚度

———;

D直径

———;

L长度

———。

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