• 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-07-11 颁布
  • 2017-01-01 实施
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文档简介

ICS77.150.50

H64

中华人民共和国有色金属行业标准

YST1141—2016

钛蒸发料

Evaporatedtitaniummaterial

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YST1141—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人张涛刘书芹何金江万小勇徐学礼罗俊锋丁照崇王越高岩刘冬青

:、、、、、、、、、、

吴艳华

。

Ⅰ

YST1141—2016

钛蒸发料

1范围

本标准规定了钛蒸发料的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及质量证明书与合同

、、、、、

或订货单内容

()。

本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氧量氮量的测定

GB/T4698.7、、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法碳量的测定

GB/T4698.14、

海绵钛钛及钛合金化学分析方法氢量的测定

GB/T4698.15、

高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

YS/T891

高纯钛化学分析方法痕量杂质元素的测定电感耦合等离子体质谱法

YS/T892

3要求

3.1产品分类

3.1.1产品按照纯度分为三个牌号

IC-Ti99.9、IC-Ti99.995、IC-Ti99.999。

3.1.2产品主要分为片状柱状如图所示

、,1。

说明

:

A边长

———;

B边长

———;

C厚度

———;

D直径

———;

L长度

———。

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