标准解读

《YS/T 1129-2016 钨钛合金靶材》是一项针对钨钛合金靶材的技术标准，由中华人民共和国工业和信息化部提出并归口。该标准主要规定了用于溅射沉积工艺中的钨钛合金靶材的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。

在化学成分方面，标准详细列出了钨钛合金靶材中钨（W）与钛（Ti）的具体含量范围，并对杂质元素如铁(Fe)、镍(Ni)等的最大允许含量做出了限制。这些规定旨在保证材料纯度，以满足不同应用场景下对薄膜性能的需求。

对于物理性能，包括密度、硬度及导电性等，《YS/T 1129-2016》也给出了明确指标。其中，密度反映了材料内部结构紧密程度；而硬度则关系到靶材在使用过程中的耐磨损能力；良好的导电性能有助于提高溅射效率。

此外，还涉及到了外观质量要求，比如表面不允许存在裂纹、气孔等缺陷，以确保最终制备出的薄膜具有均匀一致的质量。

为了验证上述各项技术参数是否符合标准要求，《YS/T 1129-2016》提供了相应的检测方法，包括但不限于化学分析法测定元素组成、密度测量采用阿基米德原理等科学手段。

最后，在产品出厂前需经过严格的质量控制程序，只有当所有项目均达到标准所设定的标准值时，才能被认定为合格品，并按照规定进行标识后方可进入市场流通环节。同时，对于产品的包装方式、运输条件以及储存环境也有具体指导，目的是保护产品免受损害，延长使用寿命。


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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2016-07-11 颁布
  • 2017-01-01 实施
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YS/T 1129-2016钨钛合金靶材_第1页
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文档简介

ICS77.160

H72

中华人民共和国有色金属行业标准

YST1129—2016

钨钛合金靶材

Tungstentitaniumalloysputteringtarget

2016-07-11发布2017-01-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YST1129—2016

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位西安瑞福莱钨钼有限公司北京天龙钨钼科技股份有限公司厦门虹鹭钨钼工业

:、、

有限公司

。

本标准主要起草人李长亮任吉文刘云飞苏国平白锋韩蕊蕊

:、、、、、。

Ⅰ

YST1129—2016

钨钛合金靶材

1范围

本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求试验方法检验规则标志包装运输贮存质量证明

、、、、、、、

书及订货单或合同等内容

()。

本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坯

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法

GB/T3850

所有部分钨化学分析方法

GB/T4324()

金属平均晶粒度测定方法

GB/T6394

金属板材超声板波探伤方法

GB/T8651

金属材料中氢氧氮碳和硫分析方法通则

GB/T14265、、、

高纯钨化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

YS/T901

3要求

3.1分类

3.1.1产品按外形分圆形矩形

、。

3.1.2产品按化学成分分为

WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。

3.2化学成分

产品的化学成分应符合表的规定其中钨钛含量为减去表中非气体杂质实测含量总和

1,100%。

表1化学成分

牌号

元素

WTi-99.9WTi-99.95WTi-99.99WTi-99.995WTi-99.999

钨钛含量质量分数不小于

()/%,99.999.9599.9999.99599.999

合金元素含量余量

W

质量分数

()/

%Ti5~15

Al20151053

非气体杂质含量

质量分数Ca105321

()/%

-6不大于

(×10),Cr151085

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