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  • 正在执行有效
  • 2015-04-30 颁布
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文档简介

ICS77180

H91.

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T1031—2015

化学气相沉积炉

Chemicalvapordepositionfurnace

2015-04-30发布2015-10-01实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T1031—2015

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位湖南顶立科技有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

:、。

本标准主要起草人戴煜胡祥龙胡高健羊建高马卫东戴晓蕾周岳兵吴艳华

:、、、、、、、。

Ⅰ

YS/T1031—2015

化学气相沉积炉

1范围

本标准规定了化学气相沉积炉的要求试验方法检验规则及标志包装运输贮存质量证明书和

、、、、、、

合同或订货单内容

()。

本标准适用于化学气相沉积

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

真空技术术语

GB/T3163—2007

电热装置的安全第部分通用要求

GB5959.11:

电热装置的安全第部分对电阻加热装置的特殊要求

GB5959.44:

电热设备的试验方法第部分通用部分

GB/T10066.1—20041:

电热设备的试验方法第部分间接电阻炉

GB/T10066.4—20044:

电热装置基本技术条件第部分通用部分

GB/T10067.1—20051:

电热装置基本技术条件第部分间接电阻炉

GB/T10067.4—20054:

真空技术真空烧结炉

JB/T10550—2006

真空脱脂烧结炉

YS/T778—2011

3术语和定义

界定的术语和定

GB/T3163—2007、GB/T10066.4—2004、JB/T10550—2006、YS/T778—2011

义适用于本文件

。

4要求

41分类

.

化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型按炉型

,

及工作区域尺寸分为种型号见表和表

13,12。

42型号表示规则

.

421卧式化学气相沉积炉的型号表示

..

卧式化学气相沉积炉的型号表示由其中表示卧式表示化学气相沉积和工作区

HCVD(H;CVD)

域尺寸宽高长组成其型号表示见示例

(××),。

示例卧式化学气相沉积炉工作区域尺寸为宽高长其型号表示为

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