ASYAE08弹坑作业与判别指导书

DocumentNo.:DocumentNo.:ASY-AE08Internaluseonlyx弹坑试验与判别作业指导书Revision:001of6ConfidentialTopconfidential

EFFECTIVEDATEShanghaiSiMATShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDESCRIPTIONAPPROVECHECKORIGINATORInitialIssueJinhuachen谈红英沈海军00 8/08/2023ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:DocumentNo.:ASY-AE08Internaluseonlyx弹坑试验与判别作业指导书Revision:002of6ConfidentialTopconfidential目的：测试键合焊接对产品质量产生的影响，保证产品质量。二、适用范围：全部MOSFET芯片系列产品；掌握打算要求做弹坑试验的产品。三．作业频率：每周一键合现作业的产品都要做弹坑，产品改机后应准时作业弹坑试验，调用程序的产品可在做弹坑的同时开机作业，假设弹坑不良请统计数量，批次。四．弹坑试验作业及推断方法1盐酸溶液试验〔主要适用于Mosfet1所示〕ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 3of6

弹坑试验与判别作业指导书

Internaluseonly ConfidentialTopconfidential1〕361：2.580±5°c10-15分钟，剪切方法如以下图：沿框架〔箭头所示位置用锐利的刀片剪切，剪切之后的制品必需在实体显微镜下确认第一焊点金球状况，防止因线弧较短时或者剪切不当将金球带起，引起弹坑。割线后的制品，需用拨针将金线沿载片台边缘〔金球远端〕将金线轻轻挑起，防止金线黏附在载片台上，操作过程中确定制止金/拨线后图片〕割线后产品 拨线后产品将已腐蚀干净的制品分别放入水与酒精中，各用超声波清洗3～5分钟，然后ThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 4of6

弹坑试验与判别作业指导书

Internaluseonly ConfidentialTopconfidential晾干或吹干。留意：在整个作业〔包括清洗〕过程中，不行以将制品用力在溶液中晃动。不行以承受任何拔线方式去除未腐蚀掉的焊线。将晾干后的制品在200倍或200倍以上显微镜下进展判定并填写《弹坑试验记录表》1212小时。产品检验判定方法←OK ←NGThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 5of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential标准

具体内容OK.(右图)

图例〔实物图〕OK OKNGNG氢氧化钾溶液试验〔主要适用于IC2所示〕2〕在量杯中，用电子称称取适量氢氧化钾1：1080±5°cThisdocumentanditsinformationhereinarethepropertyofSiMATandallunauthorizeduseandreproductionareprohibited.ShanghaiSiMATMicroelectronicsTechnologyCo.,LtdDocumentNo.:ASY-AE08Revision:00 6of6

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Internaluseonly ConfidentialTopconfidential将制品〔1.2的方法〕10-20分钟将已腐蚀干净的制品分别放入水与酒精中，各用超声波清洗3～5分钟，然后晾干或吹干。留意在整个作业〔包括清洗〕用力在溶液中晃动。200200倍以上显微镜下进展判定并填写《弹坑试验记录表》产品检验判定方法标准

具体内容OK.(右图)

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