真空泵常见问题课件

真空泵常见问题扩散泵..旋片泵..；现在我们对相关问题进行讨论。扩散泵

影响扩散泵性能的因素

1.扩散泵油蒸气的反流扩散泵油蒸气的反流可归结为五种原因：*泵壁表面油膜和油滴的蒸发（如图1所示）*喷嘴喷出的高速油蒸气流碰到泵壁后的反射（如图2所示）*一级喷口表面的油膜及油滴的蒸发（如图3所示）*喷口边缘高速油蒸气流的散射（如图4所示*室温下油沿泵壁的表面迁移（爬移)(如图5所示)

反流示意图

3.扩散泵油的裂化分解扩散泵油分两种：矿物油，此种油稳定性及耐氧化能力都较差，在室温下的饱和蒸气压力10-5pa~10-7pa.另一种是硅油，热稳定性及抗氧化性都较好，室温下的饱和蒸气压力10-6pa~10-8pa.在金属油扩散泵的锅炉中，由于高温.金属催化作用以及油爆发式沸腾，是高分子的有裂化成低分子的碳氢化合物及轻的气体(H2.CH4.C2H6等)。这些裂化后的氢和碳氢化合物的蒸汽压很高，限制了扩散泵的极限真空。此外，机械泵油反流到扩散泵中，也产生分裂物，使扩散泵的真空受到影响。4.真空泵的清洁度清洗不干净的真空泵，污染物会留在泵中并重复循环，影响泵极限真空。减少油蒸气的反流1.加挡油帽在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使反油量降低半个到两个数量级。

2.障板使用水冷或低温介质冷却的各种挡板，可使反油量大大降低。。3.冷阱使用液态冷阱捕集反流蒸气。液态冷阱不能把油真气挡住，仍有少量的油蒸气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径有；

1.两个油分子之间的碰撞；

2.油分子和气体分子的多次碰撞；

3.没被捕集的油分子反弹到高真空的区域中；

4.室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵系统采用液态冷阱后可获得10-8pa~10-9pa

的极限真空

4.吸附阱扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化铝吸附阱吸附反流的油蒸气后，可以获得10-8~10-9

真空度。这种阱有如下缺点：

1.吸附剂易粉末化；

2.吸附剂要在活化；

3.需经常更换吸附剂，操作不便。

5.钛升华阱阀门扩散泵的返流，在泵启动和停止后的一段时间内有两个最大峰值，泵运转时可利用阀门的关闭避开这两个最大返油区。减少气体的反扩散反扩散过去的气体的分压Pf和扩散泵前级排气口处该气体的分压Pj成正比，即Pf=rPj。降低前级压力Pj和压缩比r可以降低Pj。扩散泵的前级再串接一台扩散泵可以降低前级气体分压Pj。采用多级泵（目前多采用四级泵代替原来的三级泵），则可以降低压缩比r，使返扩散减少。扩散泵结构示意图滑阀泵及原理其示意图滑阀泵故障现象及排除方法故障现象

产生原因

排除方法

真空度不高1.油被污染2.密封装置漏气3.油管接头漏气4.排气阀片损坏5.排气阀弹簧断裂6.个封面漏气7.泵内零件有幢击.卡紧.变形8.油路阻塞9.吸入气体温度过高10.泵油量不足11.油路组件的小油封漏气1.打开气镇阀运转1~2小时可恢复泵的极限压力或调换所有新油2.修理或更换密封装置3.旋紧螺母4.换新阀片5.换新弹簧6.旋紧螺钉7.修理油阀.导轨.清洗所有零件8.清洗滤油器滤网及油路9.冷却至常温10.加油11.修理或更换小邮箱内橡皮版

运行事故1.轴承发热2.排气阀和油管发热1.稍松皮带或检查油路是否阻塞，冷却水是否足够，泵的轴承润滑子是否适合2.增加冷却水量

泵运转有异常噪声1.异物落入泵内2.泵零件松动或损坏1.拆开检查并清除2.检查调整或更换零件旋片泵及原理其示意图2.无漏气声，开气镇阀及换油无效，应检查阀座上的小油空是否堵塞，小孔的位置：2X-4C泵在阀坐侧面，2X-8,15泵在短阀片处月牙槽内，2X-30A，70A在短阀片附近的阀座平面上。3.带系统后抽不好，有明显漏气，接头.管道或容器有漏气，应擦找和消除。4.泵未经拆卸清洗，突然出现碰撞声，真空度下降，可检查旋片弹簧是否折断或有无异物进入泵内。泵温是否太高，旋片紧，活动不畅。5.泵使用日久，真空度下降，可因泵油混入可凝性气体和泵油裂解变质以及橡胶老化所致，可用换油.换橡胶件方法逐一试验。6.泵拆洗装配后，有大漏气声，可能是橡胶件装配不当.顺坏，应调整或更换。7.排气阀片老化变形.顺坏或螺钉松脱，会出现异样排气和油面的显著泛动，也会影响真空度，应调整重装。8.因泵温太高而使真空度，特别是全压强降低时，应加强冷却。9.以上措施无效，无漏气声，可能是使用日久，零部件磨损或受腐蚀所致，也可能是转子变形，精度降低，甚至转子.旋片等零件损坏，应拆开检查，修正或调换新零件。10.仪表失真，规管污染，引起误判，应校准比较，清洗或换新。

喷油.漏油及其消除方法：喷油可因油位过高，油盒.挡油板松脱，装配不当所致，可逐一检查。漏油可因油封弹簧脱落.磨损.放油螺塞和垫片损坏，侧盖垫片没垫好，气镇阀停泵后忘关等引起，可检查调整或调换。罗茨泵及其原理示意图罗茨泵与滑阀泵旋片泵组合

故障现象

可能原因

排除方法

真空度不高1.管路.系统漏气。2.泵部分漏气3.前几真空漏气4.润滑油太脏或牌号不符1.管路.系统检漏2.泵漏油3.修或换前级泵4.换润滑油

抽速不足1.管道通导能力下降2.前级抽速不足1.换大管道2.换前级泵扩散泵内部水冷及外形图扩散泵及水冷示意图运转

1.启动1.1接通冷却水，确认冷却水的流量是否达到规定要求。1.2启动前级泵，当扩散泵泵口压力<=10Pa后，才能启动扩散泵加热电源。1.3泵加热40~80分钟后，就进入正常工作状态。

2.停止2.1先关闭高真空阀门，然后切断扩散泵电源，前级泵继续工作。2.2当炉体内部温度降到

<=60·的时候（用手可以接触的状态），可以停止前级真空泵。注意事项

1.像炉体内放气时，必须在泵油温度<=60·时进行。油温度过高，会造成泵油氧化，导致泵性能下降。放气时请从高真空端放气，避免损坏泵芯。如果不能从高真空端放气时，请保证小流量的缓慢放气。。2.扩散泵在正常运行中遇意外停电.停水时，请按下面步骤处理：

2.1切断电源

2.2立刻关闭高真空阀门和前级真空阀

2.3将电炉从泵底卸下，并移开。（注意安全，小心烫手！！！）

2.4像泵底不淋水。注意：（水蒸气烫人！）3.在停止作业后，扩散泵短期内不使用时，请将泵水冷管道中的水排出管道以外，同时用压缩空气将残余水分吹干，防止水冷管道腐蚀。

4.扩散