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文档简介
§1.1半导体的晶体结构和结合性质CrystalStructureandBondsinSemiconductors学习重点:1、晶体结构:(1)金刚石型:Ge、Si(2)闪锌矿型:GaAs2、化合键:
(1)共价键:Ge、Si(2)混合键:GaAs哈尔滨工业大学微电子科学与技术系1、金刚石型结构和共价键
化学键:构成晶体的结合力。由同种晶体组成的元素半导体,其原子间无负电性差,它们通过共用一对自旋相反而配对的价电子结合在一起。共价键(1)共价键的特点
①饱和性;
②方向性。(2)金刚石型结构{100}面上的投影(3)金刚石结构的结晶学原胞Si:a=5.65754埃Ge:a=5.43089埃2、闪锌矿结构和混合键
材料:Ⅲ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族二元化合物半导体。
化学键:共价键+离子键。(1)闪锌矿结构的结晶学原胞3、纤锌矿结构
ZnO、GaN、AlN、ZnS、ZnTe、CdS、CdTe。
§1.2半导体的电子状态和能带ElectronStatesandRelatingBondsinSemiconductors学习重点:1、电子的共有化运动2、导带、价带与禁带哈尔滨工业大学微电子科学与技术系1、原子的能级和晶体的能带(1)孤立原子的能级(2)晶体的能带电子共有化运动能级的分裂
N个原子的能级的分裂由于外壳层电子的共有化运动加剧,原子的能级分裂亦更加显著。
S能级→N个子带
P能级→3N个子带出现准连续能级金刚石型结构价电子的能带对于由N个原子组成的晶体,共有4N个价电子位于满带(价带)中,其上的空带就是导带,二者之间是不允许电子状态存在的禁区—禁带。空带即导带满带即价带2、半导体中电子的状态和能带(1)自由电子的波函数解薛定谔方程可以得到Ψk(r)=Aeik·r(2)晶体中的电子的波函数其V(x)=V(x+sa)布洛赫定律指出:Ψk(x)=u(x)ei2πkx
u(x)=uk
(x+na
)其中,s与n为整数。
E(k)-k关系
波函数:描述微观粒子的状态薛定谔方程:决定粒子变化的方程重点对自由电子对半导体-晶体中的电子
│Ψk*Ψk│=A2,其波矢k=1/λ
说明电子在空间是等几率分布的,即自由电子在空间作自由运动。波矢k描述自由电子的运动状态。
Ψk*Ψk│=│uk*(r)uk(r)│,其波矢k=n/2a
说明分布几率是晶格的周期函数,但对每个原胞的相应位置,电子的分布几率一样的。这里的波矢k描述晶体中电子的共有化运动状态。(3)布里渊区与能带简约布里渊区与能带简图(允带与允带之间为禁带)(1)每隔1/a的k表示的是同一个电子态;(2)波矢k只能取一系列分立的值,每个k占有的线度为1/L。布里渊区的特征(4)关于E(k)-k的对应意义一个k值与一个能级(又称能量状态)相对应;每个布里渊区有N(N:晶体的固体物理学原胞
数)个k状态,故每个能带中有N个能级;每个能级最多可容纳自旋相反的两个电子,故每个
能带中最多可容纳2N个电子。3、导体、半导体、绝缘体的能带(1)满带中的电子不导电由于,
E(k)=E(-k)
V(k)=-V(-k)而I=q{1×[1×V(k)]}有I(A)=-I(-A)
结论:+k态和-k态的电子电流相互抵消。所以,满带中
的电子不导电。而对部分填充的能带,将产生宏
观电流。(2)导体、绝缘体和半导体
的能带模型(3)本征激发
定义:当温度一定时,价带电子受到激发而成为导带电子的过程→本征激发。(4)空穴空穴:将价带电子的导电作用等效为带正电荷的准粒子的
导电作用。空穴的主要特征:
①荷正电:+q;
②空穴浓度表示为p;(电子浓度表示为n)
③Ep=-En(5)半导体中的导电机构电子与空穴。在本征半导体中,n=p。空穴电子§1.4常见半导体的能带结构Energy-bandofSi,GeandGaAs1、E(k)-k关系和等能面则,上式代表的是一个椭球等能面。等能面上的波矢k与电子能量E之间存在一一对应关系,即:
k空间中的一个点对应一个电子态因此,为了形象而直观地表示E(k)-k的三维关系,我们用k空间中的等能面反映E(k)-k关系。2、有效质量
定义:它概括了半导体内部势场的作用,使得在解决半导体中电子在外力作用下的运动规律时,可以不涉及半导体内部势场的作用。特别是有效质量可由实验测定,因而可以很方便地解决电子的运动规律问题。
物理意义:3、Si、Ge和GaAs能带结构的基本特征(1)Si、Ge能带结构及特征
Si的能带结构
Ge的能带结构
Si、Ge能带结构的主要特征①禁带宽度Eg随温度增加而减小—即Eg的负温度特性;
Eg(T)=Eg(0)-αT2/(T+β)
α=4.73×10-4eV/Kβ=636Kα=4.7774×10-4eV/Kβ=235K②Eg:T=0时,Eg(Si)=0.7437eVEg(Ge)=1.170eV;③间接带隙结构。Si→Ge→dEg/dT=-2.8×10-4eV/KdEg/dT=-3.9×10
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