标准解读

《GB/T 39157-2020 靶材技术成熟度等级划分及定义》是一项国家标准，旨在为靶材的研发、生产和应用提供一套统一的技术成熟度评估框架。该标准通过设定不同的技术成熟度等级，帮助行业内外相关方更好地理解靶材从实验室研发到商业化应用的不同阶段特点。

根据标准内容，靶材技术成熟度被划分为九个等级（1至9级），每个等级都对应着靶材技术发展过程中的特定状态或能力水平。例如：

  • 等级1表示基本原理已被发现并报告；
  • 等级3意味着关键技术已在实验室内得到验证；
  • 当达到等级6时，表明靶材已具备在实际环境中进行初步测试的能力；
  • 而到了等级9，则说明靶材已经全面进入市场，并且其性能和可靠性得到了广泛认可。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-11-19 颁布
  • 2021-10-01 实施
©正版授权
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文档简介

ICS7715001

H00..

中华人民共和国国家标准

GB/T39157—2020

靶材技术成熟度等级划分及定义

Classificationanddefinitionofthetechnologyreadinesslevelsfortargets

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T39157—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有色金属技术经济研究院宁波江丰电子材料股份有

:、、

限公司贵研铂业股份有限公司

、。

本标准主要起草人高岩韩知为熊晓东腾海涛赵永善贺昕边逸军陈明王传军姚力军

:、、、、、、、、、、

闻明徐国进管丽梅

、、。

Ⅰ

GB/T39157—2020

靶材技术成熟度等级划分及定义

1范围

本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义等级划分和判定规则

、。

本标准适用于靶材技术成熟度评价

。

2术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

21

.

靶材target

在溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形

。、

式脱离阴极而在阳极表面沉积

。

22

.

技术成熟度technologyreadiness

技术满足预期靶材应用目标的程度

。

23

.

技术成熟度等级technologyreadinesslevels

用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度

。

注改写定义

:GB/T37264—2018,2.2。

24

.

技术参数technicalparameter

针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据

。

注一般是指设计或生产时做出的性能测试报告

:。

25

.

靶材样品targetsamples

在实验室阶段根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能结构和检验工艺性能的实物具备

,、,

了靶材的部分特性

。

注改写定义

:GB/T37264—2018,2.3。

26

.

靶材试制品targetdevelopedproducts

在靶材工程化阶段考虑最终形式并在实验室环境或使用环境下对靶材关键性能和功能进行测

,,,

试通过小批量或小规模制备的实物

,。

注改写定义

:GB/T37264—2018,2.4。

27

.

实验室环境laboratoryenvironments

实验室的检测和校准设施以及环境条件用于验证技术原理和使用功能

,。

28

.

模拟环境simulationenvironments

模拟真实使用环境用以验证靶材的关键

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