标准解读

《GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语》是中国国家标准之一，专门针对纳米技术领域内使用的定位与扫描平台相关术语进行了定义。该标准适用于从事纳米科学研究、开发及应用的相关人员，为行业内交流提供了统一的语言基础。根据标准内容，其主要涵盖了以下几个方面的术语：

  • 基本概念：包括了对纳米定位技术和扫描平台的基本解释，明确了这些设备和技术在纳米尺度上进行精确位置控制和测量的能力。
  • 系统组成：描述了构成纳米定位与扫描平台的主要部件及其功能，如压电驱动器、传感器、控制器等，并对各组件的工作原理进行了简要说明。
  • 性能指标：列举了一系列评价纳米定位与扫描平台性能的关键参数，例如分辨率、重复精度、最大行程范围等，帮助用户了解不同产品的特性和适用场景。
  • 应用场景：概述了几种典型的应用领域，比如生物医学成像、材料科学研究以及微纳加工等，在这些领域中纳米级的精准度至关重要。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2020-04-28 颁布
  • 2020-11-01 实施
©正版授权
GB/T 38616-2020纳米定位与扫描平台术语_第1页
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文档简介

ICS0104039

N10..

中华人民共和国国家标准

GB/T38616—2020

纳米定位与扫描平台术语

Terminologyfornanopositioningandscanningstage

2020-04-28发布2020-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T38616—2020

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

通用术语

2…………………1

检测术语

3…………………2

索引

……………………………7

Ⅰ

GB/T38616—2020

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC153)。

本标准起草单位沈阳建筑大学三英精控天津仪器设备有限公司广东工业大学中国计量科学

:、()、、

研究院苏州昊通仪器科技有限公司沈阳理工大学

、、。

本标准主要起草人须颖戴敬安冬邵萌施玉书贾静戴超文杰王贺

:、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T38616—2020

纳米定位与扫描平台术语

1范围

本标准界定了纳米定位与扫描平台以下简称平台的术语定义

()。

本标准适用于纳米定位与扫描平台产品参数的定义

。

2通用术语

21

.

压电陶瓷驱动器piezoactuator

利用纵向压电效应将电能转化为机械能的陶瓷元件

。

22

.

柔性铰链机构flexurehingemechanism

利用材料弹性形变产生位移的一种特殊运动副具有无机械摩擦运动灵敏度高位移分辨力高等

,、、

特点常用于平台传动导向机构

,。

注根据横截面切口形状可以将柔性铰链分为直角型椭圆形过渡圆角型以及正圆形等如图所示

::、、,1。

a直角型柔性铰链b椭圆形柔性铰链c过渡圆角型柔性铰链d正圆形柔性铰链

))))

图1按横截面切口形状分类的柔性铰链

23

.

纳米定位与扫描平台nanopositioningandscanningstage

基于压电陶瓷驱动器和柔性铰链机构的具有纳米量级定位和扫描功能的平台

。

24

.

平台材料stagematerial

用于制造平台主体机械结构的物质

。

25

.

平台尺寸stagesize

表征平台外部轮廓的几何量

。

注通常以毫米为单位

:(mm)。

26

.

平台运动维度stagedegreeoffreedom

独立的平台运动空间坐标方向的数目

。

注可分为一维二维六维平台

:、、……、。

27

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