标准解读

《GB/T 37213-2018 硅晶锭尺寸的测定 激光法》是一项国家标准，主要规定了使用激光技术测量硅晶锭尺寸的方法。该标准适用于单晶硅和多晶硅晶锭的尺寸检测，包括直径、长度等关键参数。通过采用非接触式的激光扫描方式，能够高效准确地获取硅晶锭的外形尺寸信息。

在具体操作流程方面，首先需要确保被测硅晶锭表面清洁无杂质，以减少外界因素对测量结果的影响。接着，根据待测样品的具体情况选择合适的激光测量设备，并按照说明书正确设置仪器参数。当一切准备就绪后，将硅晶锭放置于指定位置，启动激光扫描系统开始自动采集数据。整个过程中应保持环境稳定，避免振动或其他干扰源影响精度。

此外，《GB/T 37213-2018》还详细描述了如何处理所获得的数据，包括但不限于数据平滑处理、异常值剔除以及最终结果计算方法等。对于不同类型的硅晶材料，可能还需要考虑其特殊性质（如反射率差异）对激光信号接收造成的影响，并据此调整相应的校正因子来提高准确性。

此标准为硅晶行业提供了一种科学可靠的尺寸测量手段，有助于提升产品质量控制水平及生产效率。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2018-12-28 颁布
  • 2019-11-01 实施
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文档简介

ICS77040

H21.

中华人民共和国国家标准

GB/T37213—2018

硅晶锭尺寸的测定激光法

Testmethodforsiliconbrickdimension—Lasertechnologymethod

2018-12-28发布2019-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T37213—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本标准起草单位苏州协鑫光伏科技有限公司江苏协鑫硅材料科技发展有限公司山东大海新能

:、、

源发展有限公司

。

本标准主要起草人宫龙飞金善明林清香夏根平唐珊珊刘坤

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T37213—2018

硅晶锭尺寸的测定激光法

1范围

本标准规定了采用激光法非接触式测量方形硅晶锭尺寸的方法包括对角线倒角垂直度边长和

,、、、

长度

。

本标准适用于半导体及光伏领域硅单晶棒或多晶硅铸锭切割成的方形硅晶锭尺寸的测量

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

半导体材料术语

GB/T14264

太阳能电池用硅单晶

GB/T25076

太阳能级铸造多晶硅块

GB/T29054

3术语和定义

和界定的术语和定义适用于本文件

GB/T14264、GB/T25076GB/T29054。

4方法原理

采用激光技术构架一个尺寸测量系统用激光光源作为入射光照射硅晶锭通过激光探头接收激

,。

光反射信号形成激光脉冲波形图并将数据反馈至计算机软件处理控制系统通过计算机软件处理控

,,。

制系统对硅晶锭对角线倒角垂直度边长长度参数进行模拟与计算从而得出硅晶锭的尺寸参数

、、、、,。

硅晶锭对角线倒角垂直度参数由激光测量组件测量如图所示硅晶锭边长长度

、、A、B、C、D,1。、

参数由激光测量组件测量如图所示测量硅晶锭长度时硅晶锭垂直于激光测量组件平

P、L、Q、R,2。,

面运动当硅晶锭第一端面通过激光测量组件平面时记录四个侧面的初始位置当硅晶锭第二端面通

,,,

过激光测量组件平面时记录四个侧面的终止位置进而确定硅晶锭长度

,,。

说明

:

激光测量组件

A、B、C、D———。

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