GB/T 33838-2017微束分析扫描电子显微术图像锐度评估方法

ICS7104040

G04..

中华人民共和国国家标准

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析扫描电子显微术

图像锐度评估方法

Microbeamanalysis—Scanningelectronmicroscopy—

Methodsofevaluatingimagesharpness

(ISO/TS24597:2011,IDT)

2017-05-31发布2018-04-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

目次

前言

…………………………Ⅰ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

获取图像的步骤

4SEM…………………2

概述

4.1…………………2

试样

4.2…………………2

试样倾斜

4.3……………2

视场选择

4.4……………2

像素大小选择

4.5………………………3

图像亮度和衬度

4.6……………………4

图像衬噪比

4.7…………………………4

图像聚焦和像散

4.8……………………6

外部因素干扰

4.9………………………6

错误衬度

4.10……………6

图像数据文件

4.11SEM………………6

图像获取及图像区域选择

5SEM…………6

评估方法

6…………………6

概述

6.1…………………6

衬噪比

6.2………………7

傅立叶变换法

6.3(FT)…………………7

衬度梯度法

6.4-(CG)…………………10

导数法

6.5(DR)………………………12

测试报告

7…………………14

概述

7.1…………………14

测试报告内容

7.2………………………14

附录规范性附录衬噪比细节

A()(CNR)………………15

附录规范性附录傅立叶变换法细节

B()(FT)………19

附录规范性附录衬度梯度法细节

C()-(CG)…………32

附录规范性附录导数法细节

D()(DR)………………42

附录资料性附录评估图像锐度的背景

E()……………59

附录资料性附录各种评估方法的特征和适用性

F()…………………63

附录资料性附录用于评估图像锐度的试样的制备方法

G()…………66

附录资料性附录测试报告示例

H()……………………68

参考文献

……………………70

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准使用翻译法等同采用微束分析扫描电子显微术图像锐度评估方

ISO/TS24597:2011《

法

》。

与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下

:

微束分析扫描电子显微术术语

———GB/T21636—2008(ISO22493:2008,IDT)。

本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC38)。

本标准起草单位中国科学技术大学物理学院

:。

本标准主要起草人丁泽军阮瞩

:、。

Ⅰ

GB/T33838—2017/ISO/TS245972011

:

微束分析扫描电子显微术

图像锐度评估方法

1范围

本标准规定了用于评估扫描电子显微镜生成的数字图像锐度的种方法傅立叶变换

(SEM)3:(FT)

法衬度梯度法导数法

、-(CG)、(DR)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

检测和校准实验室能力的通用要求

GB/T27025—2008(ISO/IEC17025:2005,IDT)

微束分析扫描电镜图像放大倍率校准导则

GB/T27788—2011(ISO16700:2004,IDT)

微束分析扫描电子显微术术语

ISO22493(Microbeamanalysis-Scanningelectronmicro-

scopy—Vocabulary)

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T27788—2011ISO22493。

31

.

像素pixel

数字图像中不可再分的最小成像单位

SEM。

32

.

像素大小pixelsize

图像中单位像素的试样长度单位纳米

SEM,