GB/T 29190-2012扫描探针显微镜漂移速率测量方法

ICS1718099

A60..

中华人民共和国国家标准

GB/T29190—2012

扫描探针显微镜漂移速率测量方法

Measurementmethodsofdriftrateofscanningprobemicroscope

2012-12-31发布2013-06-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T29190—2012

目次

前言…………………………

Ⅰ

引言…………………………

Ⅱ

范围………………………

11

规范性引用文件…………………………

21

术语和定义缩略语………………………

3、1

测量方法…………………

42

要求………………………

52

仪器要求……………

5.12

环境要求……………

5.22

测量步骤…………………

62

测量报告…………………

73

附录规范性附录图像相关分析法…………………

A()4

附录规范性附录特征点法…………

B()7

附录规范性附录非周期光栅法……………………

C()9

附录资料性附录原子光栅法………………………

D()12

附录资料性附录测量方法比较……………………

E()14

参考文献……………………

15

GB/T29190—2012

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

。。

本标准由中国科学院提出并归口

。

本标准由全国纳米技术标准化技术委员会归口

(SAC/TC279)。

本标准起草单位中国科学技术大学上海市计量测试技术研究院

:、。

本标准主要起草人黄文浩陈宇航李源傅云霞褚家如李家文牛顿朱五林刘一

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29190—2012

引言

扫描探针显微镜以下简称是纳米科学与技术中的主要工具之

(ScanningProbeMicroscope,SPM)

一对于具有纳米级以至原子级分辨力的其时间稳定性与仪器的设计操作环境和使用等密切

。SPM,、

相关作为的重要规格参数漂移速率的大小直接关系着的使用性能例如无失真图像

。SPM,SPM。,

的连续获取样品局域物化特性的测量样品表面动态特性的实时观测微纳装配和操纵等此外漂移

、、、。,

速率的大小对于评价仪器也有重要指导意义目前许多配置漂移补偿模块或闭环控制模块尽

。,SPM;

管漂移速率大幅降低但漂移依然存在因此在xy和z方向漂移速率的定义和漂移速率测量

,。,SPM、

方法的规范化具有重要意义

。

本标准给出了在xy和z方向漂移速率的测量方法以便于制造商在仪器规格中提供漂移

SPM、,

数据帮助用户表征仪器漂移特性

,。

Ⅱ

GB/T29190—2012

扫描探针显微镜漂移速率测量方法

1范围

本标准规定了漂移速率的术语和定义缩略语测量步骤性能参数规格及基于扫描

SPM、、、,SPM

图像的漂移速率测量基本方法

。

本标准适用于到的漂移速率测量本标准中的漂移测量不适用于图像校正

0.01nm/s10nm/s。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

标准样品工作导则标准样品定值的一般原则和统计方法

GB/T15000.3(3);

通用计量术语及定义

JJF1001;

测量不确定度评定与表示

JJF1059(ISOGUM:1995,IDT);

表面化学分析名词第部分扫描探针显微镜适用术语

ISO18115,2:(Surfacechemical

analysis—Vocabulary—Part2:Termsusedinscanning—probemicroscopy)。

3术语和定义缩略语

、

界定的以及下列术语和定义缩略语适用于本文件

GB/T20000.1、。

31术语和定义

.

311

..

漂移drift

仪器中探针相对于样品的实际位置与设定位置的偏差

SPM。

注所有参数设置均可能产生漂移如xz方向的位移激光光斑在悬臂梁上的位置扫描近场光学显微镜的光

:,、y、,,

源强度等本标准中漂移限定为x和z方向上探针相对于样品设定