干菲林培训教材

干菲林培训教材1目录：

一、干菲林工序简介二、干菲林工序流程图三、干菲林各流程作用及原理四、主要缺陷、原因及改善措施五、工序潜力展望六、环保和工业安全2一、干菲林工序简介

干菲林工序的作用是在清洁过的铜面上，通过贴膜、曝光、显影将所需要的线路图形从菲林上转

移到板面上。

3二、干菲林工序流程图

自动上板HoldtimeHoldtime

小于4小时小于48小时

自动出板Holdtime

小于48小时完成待到下工序

酸洗、铝粉磨板自动贴膜自动曝光自动撕Mylar显影AOI抽检、目检4三、干菲林各流程原理及作用(一).IS磨板机1.火山灰磨板机各段分布情况酸洗水洗铝粉磨板清水洗高压水洗超声波水洗循环水洗热风吹干2.IS磨板机机器规格板料宽：6.7“-24.5”板料厚:0.004“-0.160”53.各段功能及参数控制

1).酸洗通过稀硫酸与铜面上氧化铜化学作用，去除氧化物，提高干膜与铜面附着力，其反应原理为：

H2SO4+CUOCUSO4+H2O硫酸控制范围为3-5%(ml/l），温度为室温。

2).水洗清洗板面上残留酸液和CUSO4水溶液，室温控制。6

3).铝粉磨板上下共3对磨刷混合铝粉将板面打磨并粗化铜面。磨刷的寿命取决于磨痕效果，当达不到磨痕要求(1.0-1.5cm）时须更换磨刷。火山灰含量控制为15-25Vol%。4).清水洗粗略清洗板面和孔内铝粉75).超声波水洗30-40C的超声波水洗，目的是震去孔内（特别是小孔）火山灰等杂物。6).高压水洗清洗板面火山灰等杂物，压力一般控制在40-80bar。7).热风吹干烘干板面，防止氧化，温度范围为70C-90C84.磨板效果检查1).磨痕试验做法：开动磨板机（除磨辘）直放入一长度为18”或以上的板,待板到3对火山灰磨辘位置,停止运输,开动磨辘,约5秒钟后停止磨辘.开动运输及水洗将板送出,观察板面磨痕造否均匀,测量全部磨痕的宽度,正确磨痕宽度为1.0-1.5cm。若不在此范围需调较磨辘浓度平轮。

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2).水破试验将磨过的板放入水缸（或用水喉水冲），使板面全部浸水，然后双手将板拿离水缸，使板面垂直，板面水膜应维技30秒（或以上）不破为合格。5.生产中须注意事项1).每班开工前检查喷咀正确才能生产，每天清洗高压水洗箱

2).每周清洁一次风刀和烘干段运输辘10（二）自动贴膜（附预热装置）1.定义：基板经磨板后，在加热加压条件下将干膜粘贴在覆铜箔上。干膜的抗蚀剂层受热后变软，流动性增加，借助于热压辊的压力和抗蚀剂中粘结剂的作用完成。2.HitachiHLM-A60自动贴膜机规格板宽：200-610mm

板长：200-610mm

板厚：0.1-3.2mm113.干膜简介干膜光致抗蚀剂简称干膜（Dryfilm）为水溶性阻剂膜层，厚度一般有1.2mil、1.5mil和2mil等,分聚酯保护膜、聚乙烯隔膜和光阻膜三层。聚乙烯隔膜的作用是当卷状干膜在运输及储存时间中，防止其柔软的阻剂膜层与聚乙烯保护膜之表面发生沾黏。而保护膜可防止氧气渗入阻剂层与其中自由基产生意外反应而使及光聚合反应，耐碱性会加强对弱碱如碳酸钠等有一定的抵抗力，未经聚合反应的干膜则很容易被碳酸钠溶液冲脱。干膜的储存期一般为六个月，由制造日期开始计起。注：使用干膜时，首先应进行外观检查。质量好的干膜必须无气泡、颗粒、杂质；抗蚀膜厚度均匀；无胶层流动。124.预热装置预热作用是烘干铜板，使贴膜前板面有50-65C热度，以保证与干膜有良好附着力5.贴膜作用通过机器的热压作用，使干膜均匀平贴在铜面上，作为图形转移的载体6.贴膜一般参数控制贴膜速度：1.0-3.0m/min

压辘温度:100-120C

压膜压力:0.2-0.4MPa

13(三).自动曝光1.自动曝光定义已粘有干膜的板，经在曝光机里与曝光菲林进行机器自动对孔完毕后，曝光灯发出紫外光（波长250-450m)投射在其上，将曝光菲林上线路图形转移到感光干膜上。吸收紫外光的干膜发生交联聚合反应后硬化变色；未吸收紫外光的干膜未聚合，冲板后溶掉142.ACP610SCT自动曝光机规格板厚:0.4mm-3.2mm

最小板尺寸:宽边不小于190mm,长边不小于60mm

最大板尺寸:534mm623mm

底尺寸:20”26”解像度:2mil

精准度:±10m153.ACP610SCT自动曝光机主要工作原理及工作参数主要工作原理：ACP610SCT自动曝光机是自动进板，通过CCD监控两定位孔与菲林对位，合格后自动曝光、自动出板的全自动曝光，所用光源是仿平行光源（POK）。主要工作参数：曝光真空度：-0.50—-0.65bar

菲林真空度:-0.8—-1.0bar

抽真空时间:62Sec

曝光灯工作时间:1000hr164.曝光能量控制21格曝光尺中取7-9格范围中曝光感度5.环境控制和生产注意事项

A.环境控制温度：18-22C湿度：45-65%尘粒数：0.5m尘粒小于1kB.生产注意事项菲林不能有擦伤、沙眼、灰尘、变形等，并按规定次数更换

17(四）.自动撕Mylar(保护膜)1).作用:利用风刀和静电作用将保护膜撕拉出来,剩下阻剂膜层来显影2).MortonCSR2600自动撕Mylar机规格板长(min,max):7.87”30”

板厚(min,max):7.78”25.60”板厚:0.004“-0.126”最大速度:3m/min18(五）.显影1.定义:将菲林上没有曝光(即没有聚合反应)的地方用0.8-1.2gle

的碳酸钠药水溶解,余下硬化的图案,其反应原理为:CO32-+RESIST-COOHHCO3-RESISTCOO-2.显影流程

进板

出板水洗的作用是去除板面上Na2CO3溶液,烘干是防止板面氧化和干膜继续溶解Na2CO3溶液水洗水洗烘干193.显影效果检验及方法露铜点测试，测试方法：使用点长度超过药水缸总长一半的未曝光的生产板，按生产条件进入显影机，等最后一块板完全进入到药水缸时停显影泵（运输、水洗仍开动），等板从烘干段出来后，观察板面的干净程度，例若于显影段50%处板面干净，未达50%处仍有余留，则显影点为50%，例若于显影段40%处板面已干净，其余仍有余留，则显影点为40%204.自动加药量按干膜特性及说明书加5.除泡菲林渣溶于碳酸钠内会产生泡沫，影响显影效果，需加入适当除泡剂6.一般显影参数显影温度：28-32C，显影压力：1.0-2.0Kg/Cm27.保养为减少机体内外污物存在，每天和每周（产量约65kft2

/ww）需定时进行保养21

A.每天保养事项每班清洁全部过滤袋，吸水海绵，检查喷咀和风刀是否堵塞，否则清理或更换。

B.每周保养（I）.清洁烘干段的运输辘、风刀（II）.清洗药水缸22程序为：

4%-6%4%-6%0.8/-1%40-45OC

常温室温

NaOH溶液洗水洗盐酸液洗水洗NaOH溶液洗23四、目检常见缺陷、原因及改善措施1).缺陷:干膜松主要原因:1)磨板后板面有污痕或水痕2)贴膜压力或温度不够3)显影速度过慢改善措施:1)消除污痕来源,检查烘干风刀是否堵2)将压力或温度调至合适范围3)将速度调至合适范围

242).缺陷：干膜碎主要原因：1）贴膜压力过大2）干膜超出板边，到撕Mylar时带起菲林碎3）自动撕Mylar机滑刀不够锐利4）显影压力过大改善措施：1）将贴膜压力调至合适范围2）干膜尺寸不得大于板尺寸3）更换滑刀4）将显影压力调至合适范围253).缺陷：崩孔主要原因：自动曝光机参数不合适，对歪孔改善措施：将曝光参数调至合适范围4).