标准解读
《GB/T 18867-2014 电子工业用气体 六氟化硫》相比于《GB/T 18867-2002 电子工业用气体 六氟化硫》，主要在以下几个方面进行了更新和调整：
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范围扩展：2014版标准可能对六氟化硫气体的应用领域或适用条件进行了更明确或更广泛的界定，以适应电子工业发展的新需求。
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技术指标优化：新版标准对六氟化硫气体的纯度、杂质含量等关键指标进行了修订，可能提高了部分指标要求，以确保气体在高精尖电子设备中的使用性能和安全性。
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检测方法改进：为了更准确、高效地测定六氟化硫气体的质量，2014版标准可能引入了新的检测技术和分析方法，或对原有方法进行了细化和优化。
-
包装、储存与运输规范：考虑到安全与环保要求的提高，新版标准可能对六氟化硫气体的包装材料、储存条件及运输过程提出了更为严格或具体的规定，以减少泄漏风险和环境污染。
-
安全与环保要求：随着对环境保护和职业健康安全的重视增加，2014版标准可能增设或强化了关于六氟化硫气体处理、使用过程中应遵循的安全操作规程和环保要求。
-
术语和定义更新：为适应技术进步和国际接轨需要，新版标准可能对相关专业术语进行了修订或增补，使其表述更加准确清晰。
-
标准结构与格式调整：按照国家标准编写规则的变化，2014版标准可能在文档结构、章节安排、文字表述等方面进行了规范化调整，以便于读者理解和执行。
如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。
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- 现行
- 正在执行有效
- 2014-12-22 颁布
- 2015-07-01 实施
文档简介
ICS7110020
G86..
中华人民共和国国家标准
GB/T18867—2014
代替
GB/T18867—2002
电子工业用气体六氟化硫
Gasesforelectronicindustry—Sulphurhexaflouride
2014-12-22发布2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T18867—2014
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任
。。
本标准代替电子工业用气体六氟化硫与相比除编
GB/T18867—2002《》。GB/T18867—2002,
辑性修改外主要技术变化如下
:
修改了范围见第章年版的第章
———(1,20021);
修改了规范性引用文件见第章年版的第章
———(2,20022);
修改了技术指标见第章年版的第章
———(3,20023);
修改了抽样判定和复验见年版的第章
———、(4.1,20025);
修改了氧氩氮四氟化碳二氧化碳含量的测定方法见年版的
———+、、、(4.3,20024.2、4.3);
删除了六氟乙烷八氟丙烷含量的测定方法见年版的
———、(20024.4);
增加了一氧化碳和甲烷含量的测定方法见
———(4.3);
修改了水分含量的测定方法见年版的
———(4.4,20024.5);
修改了标志包装贮运及安全见第章年版的第章
———、、(5,20026)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本标准起草单位黎明化工研究设计院有限责任公司成都科美特氟业塑胶有限公司青海信禾高
:、、
精化工有限公司佛山市华特气体有限公司四川众力氟业有限责任公司上海华爱色谱分析技术有限
、、、
公司大连大特气体有限公司四川中测标物科技有限公司上海仪盟电子科技有限公司光明化工研究
、、、、
设计院上海基量标准气体有限公司西南化工研究设计院有限公司核工业理化工程研究院华核新技
、、、
术开发公司
。
本标准主要起草人黄晓磊牛学坤赖明贵傅涛刘长庆任清贵史淑慧方正廖恒易李晓明
:、、、、、、、、、、
曲庆杨任常侠杨遂平邓建平方华周鹏云
、、、、、、。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为
:
———GB/T18867—2002。
Ⅰ
GB/T18867—2014
电子工业用气体六氟化硫
1范围
本标准规定了六氟化硫的技术要求试验方法标志包装贮存及安全等
、、、、。
本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫该产品主要用作电子工业中化学
。
气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等
。
分子式
:SF6。
相对分子质量按年国际相对原子质量计算
:146.0564192(2007)。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
危险货物包装标志
GB190
工业用化学产品采样安全通则
GB/T3723
钢质无缝气瓶
GB5099
气体湿度的测定第部分电解法
GB/T5832.11:
气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法
GB/T5832.33:
气瓶颜色标志
GB7144
数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T8170
工业六氟化硫
GB/T12022
液化气体气瓶充装规定
GB14193
化学品安全标签编写规定
GB15258
气瓶警示标签
GB16804
特种气体储存期规范
GB/T26571
气体分析氦离子化气相色谱法
GB/T28726—2012
气瓶安全监察规程版
(2000)
危险化学品安全管理条例版
(2002)
3要求
六氟化硫的技术指标应符合表要求
1。
表1技术指标
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