标准解读

GB/T 26312-2010《蒸发金》是中国国家标准之一，主要针对通过蒸发法制备的金材料进行了规定。该标准涵盖了蒸发金的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和贮存等方面的内容。适用于电子工业中用于薄膜沉积工艺的蒸发源材料。

根据此标准，蒸发金按照纯度被划分为不同等级，明确了各级别蒸发金的具体化学成分要求，包括但不限于金含量、银、铜等杂质的最大允许量。同时，对蒸发金产品的外观质量也做了详细的规定，比如表面应平整光滑，无裂纹、气孔及其他明显缺陷。

在测试方法部分，GB/T 26312-2010列出了测定蒸发金纯度及检测特定杂质含量的方法，包括重量法、原子吸收光谱法等科学准确的分析手段。此外，还提供了关于如何进行取样以确保样品代表性的指导原则。

对于产品验收，该标准设定了具体的检验项目与合格判定条件，并且指出了当供需双方对产品质量存在争议时可采取的仲裁检验程序。最后，在包装、标识、运输和储存章节里，则是给出了确保蒸发金从生产到使用过程中品质不受影响的一系列措施建议。


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....

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  • 现行
  • 正在执行有效
  • 2011-01-14 颁布
  • 2011-11-01 实施
©正版授权
GB/T 26312-2010蒸发金_第1页
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文档简介

ICS7712099

H68..

中华人民共和国国家标准

GB/T26312—2010

蒸发金

Goldforevaporating

2011-01-14发布2011-11-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T26312—2010

前言

本标准由中国有色金属工业协会提出

。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本标准起草单位北京达博有色金属焊料有限责任公司贺利氏招远贵金属材料有限公司贺利氏

:、、

招远常熟电子材料有限公司北京有研亿金新材料股份有限公司

()、。

本标准主要起草人杜连民向翠华禹洁丽房晋周晓光毛松林王卫东付建彬闫琳

:、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T26312—2010

蒸发金

1范围

本标准规定了蒸发金的要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存

、、、、、。

本标准主要适用于制造半导体器件用芯片时背金用蒸发金

。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

所有部分金化学分析方法

GB/T11066()

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

所有部分高纯金化学分析方法

GB/T25934()

3要求

31产品分类

.

311蒸发金产品按化学成分分为和两种牌号

..Z-Au99.999Z-Au99.99。

312蒸发金产品主要以片状柱状和线盘状为主产品形状及供货状态应满足表的要求需方有

..、,1。

其他要求时由供需双方协商解决

。

表1

形状定义供货状态

柱状直径为长度为的线材

0.5mm~8mm、2mm~100mm

片状长为宽为厚为的片材

5mm~20mm、5mm~20mm、0.5mm~3mm硬态

直径为重量在的线材盘成线盘

线盘状0.5mm~2mm、100g~500g

状为主线盘直径一般为

,100mm~300mm

32产品标记示例

.

321柱状蒸发金标记

..

ϕ

Z-Au99.999,□×□mm

长度

直径

示例直径为长度为成分为的柱状蒸发金产品标记

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