GB/T 25915.10-2021洁净室及相关受控环境第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

ICS1304035

CCSC.70.

中华人民共和国国家标准

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

洁净室及相关受控环境第10部分

:

按化学物浓度划分表面洁净度等级

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—

Part10Classificationofsurfacecleanlinessbchemicalconcentration

:y

ISO14644-102013IDT

(:,)

2021-08-20发布2022-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

分级

4………………………2

化学污染的表面洁净度检测测量监测及符合性证明

5/、………………4

附录资料性表面化学物各种浓度的换算

A()…………6

附录资料性影响测试与结果的因素

B()………………12

附录资料性洁净度评定的基本要素

C()………………13

附录资料性按化学物浓度测试表面洁净度的方法

D()………………14

附录资料性测试报告

E()………………23

参考文献

……………………24

Ⅰ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是洁净室及相关受控环境的第部分已经发布了以下

GB/T25915《》10。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级

———1:;

第部分洁净室空气粒子浓度的监测

———2:;

第部分检测方法

———3:;

第部分设计建造启动

———4:、、;

第部分运行

———5:;

第部分词汇

———6:;

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境

———7:(、、、);

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级

———8:(ACC);

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级

———9:;

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级

———10:;

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

———12:。

本文件等同采用洁净室及相关受控环境第部分按化学物浓度划分表面

ISO14644-10:2013《10:

洁净度等级

》。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC319)。

本文件起草单位中国工程物理研究院激光聚变研究中心深圳市吉隆洁净技术有限公司苏州市

:、、

计量测试院中国电子系统工程第二建设有限公司苏州宏远净化技术有限公司陕西中电精泰电子工

、、、

程有限公司苏州安泰空气技术有限公司烟台宝源净化有限公司深圳市丽风净化工程有限公司中国

、、、、

标准化协会中国合格评定国家认可中心上海市室内环境净化行业协会上海风神环境设备工程有限

、、、

公司无锡汉佳医疗科技有限公司上海浩泽诺瑞空气净化科技有限公司茂盟上海工程技术股份有

、、、()

限公司

。

本文件主要起草人袁晓东黄吉辉张秀春侯忆孙玉澄苗心向范国锋施红平王大千

:、、、、、、、、、

邴绍同金真童广才夏薇佳吕海兵王芳崔艳杨云涛陈汉青闫彩萍陈晶晶袁有华陶清宝

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

引言

是采用系列国际标准各部分设置与国际标准保持一致拟由个部分

GB/T25915ISO14644,,15

构成

。

第部分按粒子浓度划分空气洁净度等级目的是区分粒子污染程度

———1:。。

第部分洁净室空气粒子浓度的监测目的是指导监测粒子污染以避免可能产生的污染

———2:。,

风险

。

第部分检测方法目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测

———3:。。

第部分设计建造启动目的是指导洁净室的设计建造启动

———4:、、。、、。

第部分运行目的是指导洁净室的运行

———5:。。

第部分词汇目的是统一规范技术术语

———6:。。

第部分隔离装置洁净风罩手套箱隔离器微环境目的是提出洁净室用隔离装置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化学物浓度划分空气洁净度等级目的是区分空气化学污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化学物浓度划分表面洁净度等级目的是区分表面化学污染程度

———10:。。

第部分监测空气中纳米粒子浓度的技术要求目的是提出纳米级别的粒子污染的检测

———12:。

要求

。

第部分达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁目的是提出洁净室内表面的清洁要求以

———13:。

避免可能产生的粒子和化学污染的风险

。

第部分按粒子污染浓度评估设备适用性目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子

———14:。

污染的测试确定设备的适合性

,。

第部分按化学污染物浓度评定设备及材料的适合性目的是通过对相关设备可能在洁净

———15:。

室产生化学污染的测试确定设备的适合性

,。

第部分提高洁净室和空气净化装置能效目的是节约洁净室运行的能源消耗

———16:。。

本文件以第部分为基础进一步确定表面分子态污染物的分级方法由于分子态污染物通常情

8,。

况下以多种形态包括分子离子原子颗粒物等存在于被污染元件表面很难用尺寸和数量来表征

(、、、),,

本文件采用单位面积上污染物的质量作为划分表面洁净度的依据同时考虑到某些应用领域对分子

。,

态污染非常敏感允许的表面污染物的量非常小因此对于极低的浓度采用了单位面积上的分子原子

,,、、

离子的数量来表示同时给出了原子浓度的换算公式

,。

Ⅳ

GB/T2591510—2021/ISO14644-102013

.:

洁净室及相关受控环境第10部分

:

按化学物浓度划分表面洁净度等级

1范围

本文件定义了洁净室中有关化合物或化学物质包括分子离子原子颗粒物存在情况的表面洁

(、、、)

净度分级系统

。

本文件适用于洁净室及相关受控环境中所有表面如墙面顶棚地面工作环境工具设备和

,、、、、、

装置

。

注1本文件仅考虑微粒子的化学性质未考虑微粒子的物理性质本文件不包括污染物与表面之间的相互作用

:,。。

注2本文件不涉及污染产生的过程不涉及与时间有关的影响因素沉降沉积老化等以及与过程有关的活动

:,(、、)

如转移处理等也不涉及为确保符合性的统计质量控制技术指南

(、),。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

洁净室及相关受控环境第部分词汇

GB/T25915.66:(GB/T259