检漏技术介绍

检漏技术介绍1

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系统泄漏....... .......你有麻烦了!2

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006找到泄漏点.............也许是个难题?3

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006需要检漏的原因

环保

安全 ISO9000

使用寿命

可靠性

产品要求

产品的卖点 4

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006应用范围分析仪大型光谱仪电子显微镜汽车工业空调刹车管热交换器油箱蒸发器压缩机调温阀安全气囊医疗技术起搏器X-光管导管，容器能源工业涡轮冷凝器高压转换器科研低温容器加速器/同步器高真空表面分析仪IT搬送室工艺室离子注入机工业应用工业炉焊接炉镀膜机阀门生产5

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006汽车工业BMWMercedesAudiVWFordVolvo

Peugot

etc.汽车制造商

应用检测子系统

油箱Walbro

轮胎,管线Contitech

阀门Buerkert

热交换器

Behr

安全气囊

Temic/ Dyn.Nobel

机箱Witzenmann

压力泵

Bosch配件商升压测试空调系统空调系统充入冷媒前的He-LD检漏6

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006检漏的方法

Leybold的产品范围检漏方法检漏气体最小可检漏率mbarl/s压强范围能否定量测量升压检漏法空气和其他气体10-4抽真空有限制压强衰减法空气和其他气体10-4正压有限制皂泡检漏法空气和其他气体10-5正压否水泡检漏法空气和其他气体10-4正压有限制超声波检漏空气和其他气体10-2正压/抽真空否热传导检漏空气和其他气体10-5正压/抽真空否吸附检漏法制冷剂和其他气体10-7正压能氦质谱检漏法氦，氢<10-7正压能氦质谱检漏法氦，氢<5×10-12抽真空能7

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006气密性的常识密封程度漏率范围颗粒直径备注

氦气mbarl/s20。C空气kg/h

封闭水10-210-5

水滴封闭水蒸汽10-310-6

凝结封闭细菌10-410-7d≈10-6m

封闭汽油10-510-8

封闭病毒10-610-9d≈0.3×10-6m

封闭气体10-710-10

绝对封闭10-1010-11

理论上8

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006常见泄漏的漏率

水龙头每秒滴一滴 1,7x10-1mbarl/s

一根头发夹在密封圈与法兰之间 1x10-3-5x10-2mbarl/s

自行车内胎在水中发泡 1x10-2mbarl/s(水泡法)

汽车轮胎压力在六个月里 4x10-5mbarl/s从1,81,6bar

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©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006泄漏的种类

接口泄漏

法兰,焊点,接触面平整度，接头

渗透

气体穿过密封物质

如.

橡胶密封圈,玻璃

小孔泄漏

铸件上的微孔导致的泄漏

虚拟泄漏

气体（也包括蒸汽）从铸件和塑料件的内部空隙，盲孔逃逸出来

冷热引起的泄漏

在极端的冷热情况下造成的细微裂缝引起的泄漏10

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006a)泄漏b)解吸附作用c)泄漏+解吸附真空腔内压强的影响压强时间11

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006体积为1升time/srisepressurembar1mbarl/s

的定义：1升的容器压强在1秒钟由1mbar升到2mbar的等效漏率。12

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006当漏率为1x10-6mbarl/s时一个一升容器压强从1mbar升到2mbar，需要多长时间?1x10-6mbarl/sqL=V/tpV=1lp=1mbarqL=1x10-6mbarl/st=V/qL

p=1l/1x10-6mbarl/s1mbar=100000s=277,7h=11,5d13

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006升压法检漏事例:容积:V=1m³p:从

p=1·10-3mbar到8·10-3mbarTime:t=5minQL=??Q=

==V

t·p[mbar·l·s-1]1000l

300s·7·10-3mbar2,33·10-2mbar·l·s-1

p=p2–p1=8·10-3–1·10-3=7·10-3mbar漏率

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©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006主要检漏方法

真空法

整体检漏(氦气环境)

整体检漏(氦气内充)

局部检漏

正压法

局部检漏(吸枪模式)

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©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法检漏

整体检漏Helium3被测容器(真空状态)1向容器内充入氦气2被测容器3LDPhoeniXL300

检漏仪4氦气5辅助泵系统

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最小可检漏率<5x10-12mbarl/s16

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法

1真空腔2被测容器3LDPhoeniXL300

检漏仪4Helium氦气5辅助泵系统整体检漏3

最小可检漏率<5x10-12mbarl/s17

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006真空法局部检漏1喷枪2被测容器3LDPhoeniXL300

检漏仪4氦气5辅助泵系统

3

最小可检漏率<5x10-12mbarl/s18

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006正压法

局部检漏(吸枪模式)

最小可检漏率<1x10-7mbarl/s!!!1吸枪2被测容器3LDPhoeniXL300检漏仪4氦气319

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系统的用于大的泄漏或大型物体的检漏20

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系统检漏原理被测容器PhoeniXL300检漏仪SLD=2,5l/sSP=60m³/h=16,66l/sQHe=3·10-5mbar·l/s分流泵漏率氦气流被分到两个方向2,5

2,5+16,66流向

LD

QL:3·10-5·=3,9·10-6mbar·l/s16,66

2,5+16,66流向分流泵

QP:3·10-5·=2,6·10-5mbar·l/sTotal=3·10-5mbar·l/sdisplayLD

leakrateTestleak流量比

=pQHe=Ssum.pQL=SLD.pQL=QHe.SLD/Sp+SLDp=QHe/Ssum

Ssum=SLD+SP21

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006分流系统

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©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006氦气作为一种理想的检漏气体有如下原因在空气中含量低(只有5ppm),本底浓度低惰性气体不易燃，易爆对环境没有污染在质谱仪中和其他相邻物质可以很好的分别比空气轻气体分子很小，可以穿过微小的泄漏孔23

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氦质谱仪

1阴极12阳极3阴极24放大器5离子收集器6离子收集器防护罩7抗干扰装置8磁场9选择孔10出口11防护罩24

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006漏率单位对照表25

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006最好的检漏仪

........26

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Leybold最新的氦检漏仪PhoeniXL30027

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PhoeniXL300

是著名的氦检漏仪L200+的升级产品

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检漏仪系列产品

使用油封旋片泵

使用膜片式真空泵

使用油封旋片泵>2,5m3/h

使用蜗旋泵>30m3/h

移动检漏车29

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三剑客30

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006显示器主菜单连接图Bar模式线图模式31

©LeyboldVacuum/*/G.Holstein&D.MuellerforSAS2003-2006技术参数PhoeniXL300PhoeniXL300DryPhoeniXL300ModulLowestdetectableHeleakrate(vacuummode)mbarl/s<5x10-12<3x10-11<5x10-12/<8x10-12Lowestdetectableleakrate(sniffermode)mbarl/s<1x10-7<1x10-7<1x10-8Max.detectableHeleakrate(vacuummode)mbarl/s>0,1>0,1>0,1Max.permissibleinletpressurembar151515Max.permissibleinletpressurewpartialflowsetmbar1000--Pumpingspeedduringpumpdownm32,5(50Hz)3(60Hz)1,6(50Hz)1,8(60Hz)16/20(50/60Hz)D16B25/30(50/60Hz)D25B30/36(50/60Hz)ScrollPumpingspeedforHeliuml/s>2,5>2,5>2,5PumpingspeedwithpartialflowsetandD16Bl/s16(50Hz)PumpingspeedwithpartialflowsetandD25Bl/s25(50H