第7章压电与超声波

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器主要内容

7.1压电效应

7.2压电材料

7.3测量电路

7.4压电式传感器的应用

7.5超声波传感器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器概述

压电式传感器以电介质的压电效应为基础，外力作用下在电介质表面产生电荷，从而实现非电量测量,是一种典型的发电型传感器.

压电式传感器可以对各种动态力、机械冲击和振动进行测量，在声学、医学、力学、导航方面都得到广泛的应用。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器概述压电陶瓷位移器压电陶瓷超声换能器压电秤重浮游计压电加速度计压电警号传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.1压电效应

自然界中32种晶体点阵，分为中心对称和非对称两大类，其中非中心对称的21种有20种具有压电效应，压电现象是晶体缺乏中心对称引起的。某些电介质（晶体）当沿着一定方向施加力变形时，内部产生极化现象，同时在它表面会产生符号相反的电荷；当外力去掉后又重新恢复不带电状态；当作用力方向改变后，电荷极性也随之改变;将机械能转换为电能，这种现象称压电效应。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.1压电效应

压电效应是可逆的在介质极化的方向施加电场时，电介质会产生形变，将电能转化成机械能，这种现象称“逆压电效应”。压电元件可以将机械能电能也可以将电能机械能

压电元件机械能电能

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2压电材料自然界许多晶体具有压电效应，但十分微弱，研究发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅是优能的压电材料。压电材料可以分为两类：压电晶体、压电陶瓷。

石英晶体外形结构

石英晶体特征

天然、人工晶体两种都属于单晶体

化学式为——

SiO2，外形无论再小都呈六面体结构

石英晶体沿各个方向的特征不同，需按特定方向切片。7.2.1石英晶体

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.1

石英晶体——

单晶体（水晶）压电晶片按特定方向切片人工合成水晶传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.1

石英晶体

沿X（电轴）作用产生电荷称纵向压电效应沿Y（机械轴）作用产生电荷称横向压电效应沿Z（光轴）不产生压电效应

石英晶体沿各个方向的特征不同（按特定方向切片）传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.1石英晶体

压电特性的各向异性可用矩阵表示（略）

压电元件受力后,表面电荷与外力成正比关系:

d为压电系数（与材料有关的常数）在X轴方向施力时,产生电荷大小为:

d11纵向压电系数，σx为X方向应力

在Y轴方向施力时,产生电荷大小为:

d12横向压电系数，σy为Y方向应力

根据晶体的对称性，压电系数d12=-d11

a、b是晶体切片几何尺寸(长、厚)，qx、qy符号决定力的方向。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.1石英晶体石英晶体的上述特征与内部分子结构有关，分子六边形分布，三个电偶极矩。当晶体不受力时（F=0），正负离子分布在六边形顶角，电偶极矩互成1200夹角，矢量和为零，晶体呈中性；当晶体受沿X轴方向的应力时，X方向压缩形变，电偶极矩在X轴方向的分量由于出现上负下正电荷；传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.1石英晶体当晶体受沿Y轴方向的应力时，Y方向压缩形变，电偶极矩在X轴方向的分量由于出现上正下负电荷；晶体受沿Z轴方向的应力时X、Y方向形变相同不产生压电效应；应力方向为拉力时，电荷极性与上述相反。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2压电材料

7.2.1石英晶体石英晶体压电模型传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2压电材料

7.2.1石英晶体传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器动画演示石英晶体压电模型动画演示传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2压电材料

7.2.2压电陶瓷（多晶体）

压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，材料的内部晶粒有许多自发极化的电畴，具有一定的极化方向。无电场作用时，电畴在晶体中分布杂乱分布，极化相互抵消呈中性。施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向外电场方向排列。外电场强度达到饱和程度时，所有的电畴与外电场一致。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.2压电陶瓷（多晶体）

外电场去掉后，电畴极化方向基本不变，剩余极化强度很大。所以，压电陶瓷极化后才具有压电特性，未极化时是非压电体。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.2压电陶瓷（多晶体）

晶体极化后，沿极化方向（垂直极化平面）作用力时，引起剩余极化强度变化，在极化面上产生电荷，电荷量的大小与外力成正比关系，电荷密度：

d33—

压电陶瓷的纵向压电常数，d33

比d11、d12大的多所以压电陶瓷制作的传感器灵敏度比压电晶体高，但极化后的压电陶瓷受温度影响又使压电特性减弱。随时间延长（2年后）d33会下降，作为传感器使用时要经常校准修正。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.4压电元件主要参数性能

性能参数：

压电常数；

介电常数（高）；

弹性常数；

机械耦合系数；

工作温度。

锆钛酸铅（压电陶瓷PZT）是一种性能优越的压电陶瓷，是目前最普遍使用的压电材料。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2压电材料

7.2.3新型压电材料

石英和压电陶瓷是性能较好的压电材料，但有共同的缺点，密度大、硬、易碎，不耐冲击，难以加工。新型合成高分子材料：PVF聚氟乙烯、PVF2聚偏二氟乙烯、PVC聚氯乙烯等能很好的克服这一缺陷，可以作成轻小柔软的压电元件。灵敏度比PZT（压电陶瓷）大17倍。压电半导体材料，具有压电特性又有半导体特性，可研制集成压电传感器系统。这些材料有：(ZnS)(CdTe)(ZnO)(CdS)(GaAs)传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.3新型压电材料

聚偏氟乙烯压电效应而这些新型合成材料的分子链中C—F键具有极性，有一定的偶极矩；通常晶胞内的极矩相互抵消整体不显极性，没有压电效应；必须经过拉伸、极化过程，特殊处理才会具有良好的压电效应。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.5压电元件结构形式

在实际应用中为提高灵敏度使表面有足够的电荷，常常把两片、四片压电元件组成在一起使用。由于压电材料有极性，因此存在连接方法，双片连接时：

压电晶片按+-+-粘贴时电路并联+_+_U’+++++++++++_______________________+++++++++++电荷增加一倍，适用于电荷放大器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.5压电元件结构形式

U’+__+++++++++++___________++++++++++____________

压电晶片按+--+粘贴时电路串联电压增加一倍适用于电压放大器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.2.5压电元件结构形式

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3测量电路

7.3.1压电传感器等效电路

压电传感器可视为电荷源视为电荷输出时可等效为电荷源Q和电容Ca并联，开路状态输出端电荷为：视为电压输出时可等效为电压源U与电容Ca串联，开路状态输出端电压为：看成具有+、-极性的电容器，可等效为一个电容器Ca；电容极板上电压大小与极板间电荷成正比传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.1压电传感器等效电路

根据等效电路，压电传感器灵敏度有两种等效电压源

等效电流源根据它们之间的关系有：电压灵敏度电荷灵敏度传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.1压电传感器等效电路

等效电压源

等效电流源

传感器接测量电路时要考虑以下主要因素：

电缆等效电容Cc

接入电路的输入电容Ci

放大器输入电阻Ri

传感器漏电电阻Ra。

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.1压电传感器等效电路

压电元件内阻很高，需要系统前置电路具有高的输入阻抗。解决传感器与前几电路的连接…压电元件输出可以是电压源也可以是电荷源。因此，前置放大器也有两种形式：电压放大器、电荷放大器由等效电路可见，只有在负载RL→∞时受力产生的电荷才能长期保存下来，否则放电回路很快将电荷放掉，因此测量频率较低时必须保证RL很大，即时间常数RLCa=τ大。

前置电路有两个作用：一是放大微弱的信号、二是阻抗变换传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路

（1）电压放大器（阻抗变换器）

电压放大器及等效电路示意图

如果压电元件为正弦作用力变化电压放大器的输入端传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路

送入放大器输入端的电压ui写成复数形式

实际幅值（有效值）d

压电系数；ω信号频率；R=Ra//Ri

传感器上产生的电荷与电压也按正弦变化:传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路输入电压幅值幅值相位差

传感器电压灵敏度

实际输入

理想情况传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路

前置放大器实际输入电压与理想输入电压的比值为令前置放大器输入回路的时间常数为

分别得到相对幅频特性和相频特性：理想实际

电压放大器讨论：压电传感器不能测量静态物理量；优点，高频响应特性好。一般认为当ωτ≥3时输入电压与信号频率无关；低频响应差，提高低频响应的办法是增大τ,但不能靠增加输入电容Ca（RLCa=τ），因为电压灵敏度与电容成反比。实际是增大前置输入回路电阻Ri

。从电压灵敏度Ku可见，连接电缆的分布电容Cc影响传感器灵敏度，使用时更换电缆就要求重新标定，测量系统对电缆长度变化很敏感，这是电压放大器的缺点。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器R1、R2分压经Rg耦合作场效应管偏置。观察Rg两端电压，信号到经C1耦合到Rg的A端，由于场效应管跟随作用，使S（源）G（栅）间电压大小近似相等、相位相同。

电压放大器实例：

用场放应管实现高阻抗匹配的放大自举反馈电路（跟随器）——

阻抗变换电路信号经C2耦合到Rg的B端，这时Rg两端电压近相等，Rg上的电流很小，意味着场效应管输入阻抗并没有因分压电路而降低。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路为解决电缆分布电容Cc对传感器灵敏度的影响，和低频响应差的缺点可采用电荷放大，集成运放组成的电荷放大器有较好的性能。电荷放大器是一种输出电压与输入电荷量成正比的前置放大器。可利用电容作反馈元件的深度负反馈的高增益运放。（2）电荷放大器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路

理想情况输出电压为：压电传感器的输入电路由一个反馈电容Cf和高增益运算放大器构成。因运放输入端Ri阻抗很高，几乎无分流，可忽略Ra//Ri并联，输入只对Cf充电。（2）电荷放大器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路

由运放特性可求得电荷放大器输出电压

可认为电荷放大器满足理想条件当运算放大器增益满足K>>1（K=104～108）电荷放大器及等效电路传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.3.2测量电路通常:Ca=几十

pfCc=100pf/mCf=102—108

pfK>105满足（1+K）Cf>>10(Ca+Ci+Cc)电荷放大器及等效电路

满足理想条件时输出电压与输入电荷量成正比传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器电荷放大器的输出电压U0只取决于输入电荷量Q和反馈电容Cf，输出电压与电缆电容Cc无关，与Q成正比，与电容Cf成反比，这是电荷放大器的突出优点。使用电荷放大器时，电缆长度变化影响可忽略，并且允许使用长电缆工作。考虑不同量程因素，Cf的容量做成可以选择的电容，一般为100～104pF。缺点是电路复杂、价格昂贵。电荷放大器讨论：电压放大器的输出电荷放大器的输出传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用1．压电晶体振荡器；2.压电式测力传感器3．压电加速度计传感器；4.振动测量；5．压电换能器，发射（扬声器）、接收（麦克风）、

收听器、超声波换能器；压电元件符号传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电元件符号压电晶体滤波器压电蜂鸣片传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电陶瓷片有2引脚和3引脚，其中两引脚方式是将铜片作为一个电极，两片陶瓷片的涂银面用引线连接起来作为另一个电极。压电陶瓷片——声控元件传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电式压力传感器具有加速度补偿的压电式压力传感器，压电晶体被夹在两块膜片之间，压电晶体在振动时受到来自两个膜片上同方向的力，使压电晶片无电荷输出。但灵敏度低一半。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用石英压电式压力传感器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电式加速度传感器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器压电式玻璃破碎报警器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电式振动粘度计液体粘度不同时，振动频率不同。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用超声波传感器振动式液位开关超声波换能器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用点火器晶体传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用石英和压电陶瓷是性能较好的压电材料，但有共同的缺点，密度大、硬、易碎，不耐冲击，难以加工。而PVF2材料能很好的克服这一缺陷，可以作成轻小柔软的压电元件。PVF2压电膜硬币铜柱投币计数传感器PVF2高分子聚偏二氟乙烯是一种良好的热塑性工程塑料，密度小、柔性好，有较高的压电效应，比石英十倍，压电陶瓷低十倍。材料轻柔可按需要切割成薄片，可植入人体。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用

压电膜话筒话筒中，压电膜以一定的支撑形式保持膜内一定张力。在外来声压作用下，膜面的曲率发生变化，使膜内应力改变，产生相应的压电信号。压电膜话筒结构示意图

PVF2压电膜

絮状材料垫声压传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用

人体生理量测量

如血压、心音、脉搏等体内和体表检测是PVF2最有前景的场合。

柔软、无毒、化学性能稳定，可与血液直接接触。φ68mm

检测区（接收）

激振（发射）公共电极FPVF胎儿心音换能器传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用

引信由压电元件和起爆装置两部分组成，压电元件安装在弹丸的头部，起爆装置在弹丸的尾部，通过引线连接。压电元件RESab炸药压电元件导线起爆装置

破甲弹上的压电引信结构药型罩压电引信压电引信是利用压电元件制成的弹丸起爆装置。触发度高、安全可靠、不需要安装电源系统，常用于破甲弹上。对弹丸的破甲能力起着极重要的作用。

电雷管传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用

原理：平时E（电雷管）处于短路保险安全状态，压电元件即使受压，产生的电荷会通过电阻放掉，不会触发雷管。而弹丸一旦发射起爆装置解除保险状态，开关S从b处断开与a

接通，处于待发状态。当弹丸与装甲目标相遇时，碰撞力使压电元件产生电荷，通过导线将电信号传给电雷管使其引爆，并引起弹丸爆炸，能量使药型罩融化形成高温高速的金属流将钢甲穿透。压电元件RESab炸药压电元件导线起爆装置

破甲弹上的压电引信结构药型罩电雷管传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用压电传感器测振动

对于多功能转子实验台底座的振动，可采用加速度传感器和速度传感器两种方式进行测量。将带有磁座的加速度和速度传感器放置在试验台的底座上，将传感器的输出接到变送器相应的端口到计算机中。启动转子试验台，可观察并记录到的振动信号波形和频谱。加速度和速度传感器振动测量传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用测量仪器前置放大传感器

压电传感器简单测量系统压电传感器使用时，要充分考虑环境温度、湿度的影响，基座的应变、电缆噪声的影响。实际应用中，地线的连接也十分重要。接地之间的电位差△U会形成回路电流产生噪声，消除接地回路噪声的有效方法是整个系统在一点接地。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用晶体管声、光控开关电路传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用电感性电容性频率frfafr:L、C、R产生的串联谐振频率fa：L、C、C’产生的并联谐振频率电抗特性晶体谐振器的等效电路中，C，为晶片与金属板之间的静电电容；L、C为压电谐振的等效参量；R为振动磨擦损耗的等效电阻。石英晶体谐振器存在一个串联谐振频率fr（1/2π），同时也存在一个并联谐振频率fa（1/2π)。由于C，C，fr与fa之间之差值很小，并且ωOL/R，1/ωOCR，所以谐振电路的品质因数Q非常高（可达数百万），从而使石英晶体谐振器组成的振荡器频率稳定度十分高，可达10－12/日。CLRC’传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用电感性电容性频率frfafr:L、C、R产生的串联谐振频率fa：L、C、C’产生的并联谐振频率电抗特性CLRC’石英晶体振荡器的振荡频率既可近似工作于fr处，也可工作在fa附近，因此石英晶体振荡器可分串联型和并联型两种。用石英晶体谐振器及其等效电路，取代LC振荡器中构成谐振回路的电感（L）和电容（C）元件，则很容易理解晶体振荡器的工作原理。传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器7.4压电传感器的应用石英晶体本身并非振荡器，它只有借助于有源激励和无源电抗网络方可产生振荡。SPXO主要是由品质因数（Q）很高的晶体谐振器（即晶体振子）与反馈式振荡电路组成的。当外加电压频率等于晶体谐振器的固有频率时，就会发生压电谐振，从而导致机械变形的振幅突然增大。石英晶体振子是振荡器中的重要元件，晶体的频率（基频或n次谐波频率）及其温度特性在很大程度上取决于其切割取向。只要在晶体振子板极上施加交变电压，就会使晶片产生机械变形振动，此现象即所谓逆压电效应。7.5超声波传感器第7章压电元件与超声波传感器超声波技术是以物理、电子、机械及材料学为基础的通用技术，超声波传感器是向空气中发射超声波，再通过探测来自某个物体的反射波检测物体有无或距离；超声波传感器具有多种用途，如防盗报警系统、自动门启闭装置、汽车倒车传感器及各种电子设备的遥控装置。目前超声波在检测技术中获得广泛应用，利用超声波的各种物理特性，可以实现超声波测距、测厚、测流量、无损探伤、超声成像。随着信息技术的迅猛发展，新的超声波应用领域越来越广泛，如工厂自动化和汽车电子设备正与日俱增，而且不断得到扩展。

传感器原理及应用声波为一种机械波，人耳听到的频率在16Hz～20kHz；频率低于16Hz的机械波称为次声波；频率高于20kHz的机械波称为超声波；频率在300MHz～300GHz之间的波称为微波；频率超过20kHz的声音为超声波，是人耳无法听到的。声波频率界限7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用当超声波从一种介质入射到另一种介质时，在界面上会产生反射、折射和波形转换；7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器超声波的反射和折射超声波传感器是通过超声波的产生→传播→

接收

等物理过程完成。主要功能是产生、接收超声波信号。机械波、电磁波、物质波

波动的种类能传播机械振动的媒质（空气，水，钢铁等）

介质作机械振动的物体（声带，乐器等）

波源

传感器原理及应用超声波以直线传播方式，频率越高绕射越弱，但反射越强，利用这种性质可以制成超声波测距传感器；超声波在液体、固体中衰减很小，穿透能力强，特别是不透光的固体能穿透几十米，利用这种性质可以制成超声波探伤传感器。7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器（（几种常用介质的折射率媒质折射率空气1.00029水1.333普通玻璃1.468冕牌玻璃1.516火石玻璃1.603重火石玻璃1.755

传感器原理及应用7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器反射定律折射定律n12相对折射率n1（n2）绝对折射率（相对于真空）法线分界面入射光L折射光反射光

传感器原理及应用7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器在固体中，纵波、横波及其表面波三者的声速有一定的关系，纵波快，横波慢，通常可认为横波声速为纵波的一半，表面波声速为横波声速的90%。

纵波横波

传感器原理及应用7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器超声波在空气中传播速度较慢，为344m/s（20℃时）（电磁波的传播速度为3×108m/s），速度低、波长短，意味着可获得较高的距离、方向分辨率。这一特点使得超声波应用变得非常简单，测量时可获得较高的精确度，可以通过测量波的传播时间，测量距离、厚度等。波在媒质中传播的速度决定于媒质的弹性（弹性模量）和惯性（密度），传播速度与介质密度有关:

传感器原理及应用7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器钢铁中

在水中例如，声波在空气中速度金属、木材、玻璃、混凝土、橡胶和纸张可近乎反射100%

的超声速，因此检测这些物体时较容易发现。而棉花、布、绒毛等物体吸收超声波，因此很难用超声波检测。液体中声速传播速度在900～1900m/s，在液体和气体中只有纵波的传播。

传感器原理及应用分别为x=0处的声压、声强；

声波与声源之间距离；

声波在介质中传播时随距离的增加能量逐渐衰减,

其衰减的程度与声波的扩散、散射及吸收等因素有关，衰减规律用两个能量描述：

声压

声强

衰减系数Np/m（奈培/米）声波随距离增加，声能减弱较快，

所以超声波不能进行较远距离传播；频率越高衰减越快。7.5.1超声波及物理特性第7章压电元件与超声波传感器式中：

传感器原理及应用7.5.2超声波传感器超声波传感器有压电式、磁致伸缩式、电磁式，其中最常用的是压电式。压电式超声波探头主要有压电晶体和压电陶瓷，利用压电材料的压电效应工作，分为发射、接收两部分第7章压电元件与超声波传感器发射元件：利用压电材料的逆压电效应，将高频电振动转换为机械振动产生超声波，将电能→机械能；接收元件：利用压电材料正压电效应，将超声波振动转换为电信号，将机械能→电能。

超声波传感器工作形式

传感器原理及应用

c)反射式ＲＸＴＸＴＸＲＸa）兼用型ＴＸＲＸ专用型b)直射式

发射探头（TX）

接收探头（RX）第7章压电元件与超声波传感器

超声波传感器的工作形式

反射式

直射式（透射式）

专用型；

兼用型；

传感器原理及应用各种超声波传感器产品第7章压电元件与超声波传感器

目前市场销售的超声波传感器有两种工作形式：

专用型、兼用型。

产品通常标有中心谐振频率：

23kHz、40kHz、75kHz、200kHz、400kHz。

传感器原理及应用

超声波传感器的工作形式超声波传感器结构

主要由双压电振子、金属电极、锥形共振盘、引脚组成。第7章压电元件与超声波传感器结构：压电晶片、吸收块（阻尼）、保护膜、引线；

压电晶片两面镀银，作导线极板。压电晶片为圆形薄片，超声波频率f与圆片厚度成反比；阻尼块吸收声能，降低机械品质，无阻尼时，电脉冲停止晶片会继续振荡，加长脉冲宽度，使分辨率变差；

传感器原理及应用

超声波传感器类型结构

第7章压电元件与超声波传感器

超声波传感器类型结构

传感器原理及应用超声波探头结构动画演示第7章压电元件与超声波传感器压电晶片为圆形薄片，超声波频率f与压电圆片厚度成反比；阻尼块吸收声能，降低机械品质，无阻尼时，电脉冲停止晶片会继续振荡，加长脉冲宽度，使分辨率变差。

传感器原理及应用

超声波传感器类型结构

第7章压电元件与超声波传感器开放型密封型高频

传感器原理及应用

超声波传感器类型结构

7.5.2超声波传感器超声波传感器可等效为一个RLC的串并联谐振电路。由电抗特性可见,fr～fa中间是电感性，两边是电容性，这是超声波传感器所特有的。其中低频fr，L，C，R产生串联谐振频率高频fa

，L，C，C’产生并联谐振频率超声波传感器在串联谐振频率时阻抗最小。

超声波传感器等效电路电感性电容性频率frfafr:L、C、R产生的串联谐振频率fa：L、C、C’产生的并联谐振频率电抗特性等效电路第7章压电元件与超声波传感器CLRC’

传感器原理及应用超声波传感器的工作原理在超声波发送器双压电振子上施加一定频率（40KHz）的电压，通过逆压电效应，将电能转换为机械能，送出超声波信号，接收探头经正压电效应将机械能转换成电信号，转换电路将接收到的信号放大处理。第7章压电元件与超声波传感器7.5.3超声波传感器基本电路

传感器原理及应用超声波传感器基本电路包括振荡发射电路、检测电路两部分组成：超声波传感器发射电路调整振荡器频率7.5.3超声波传感器基本电路

超声波发射电路：

由反向器组成RC振荡器，经门电路完成功率放大，经CP耦合传送给超声波振子产生超声发射信号。CP电容防止传感器长期处于直流电压下工作。第7章压电元件与超声波传感器CP

传感器原理及应用超声波传感器接收报警电路超声波检测电路：接收到的超声波信号极微弱，需要高增益的放大电路用于检测反射波，输出的高频信号电压接检波、放大、开关电路输出或报警。7.5.3超声波传感器基本电路第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用

超声波测距集成模块：最大距离600cm，最小距离2cm功放40KHzOSC

定时器前置放大检波平方放大输出VCC12V三位LED显示器被测物发送电路：555构成多谐振荡器，产生40KHz等幅波放大送功放输出；接收电路：放大、检波，信号处理根据被测物体的距离设定反射脉冲时间，调整振荡器触发时间。定时器控制触发电路和门电路。7.5.3超声波传感器基本电路第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用40kHz高频信号与20Hz周期信号调制成短脉冲群向外发送:周期T=1/20=50ms，超声波在空气中传播速度为：

340m/s×50ms=17m，17m/2=850cm测距通过定时控制电路、触发电路、门电路变换为与距离有关的信号;用时钟脉冲对这个信号的发送和接收之间的延迟时间进行计数，计数器的输出值就是检测的距离。时钟周期

T=1/40kHz=25μm340m/s(n×25μs)=往返距离单程距离

=往返距离/2

超声波传感器测距原理第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用40kHz高频信号与20Hz周期信号

调制成短脉冲群向外发送:

周期T=1/20Hz=50ms

超声波在空气中传播速度

340m/s×50ms=17m17m/2=850cm测距通过定时控制电路、触发电路变换为与距离有关的信号;用时钟脉冲对这个信号的发送和接收之间的延迟时间进行计数，计数器的输出值就是检测的距离。时钟周期

T=1/40kHz=25μS340m/s×

(n×25μS)=往返距离单程距离

=往返距离/2超声波测距原理时序波形示意图

超声波传感器测距原理接收信号

超声波测距集成模块：最大距离600cm，最小距离2cm功放40KHzOSC

定时器前置放大检波平方放大输出VCC12V三位LED显示器被测物7.5.3超声波传感器基本电路第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用医学超声波检测采用多普勒效应

7.5.4超声波传感器应用第7章压电元件与超声波传感器超声波频谱分析测流量

传感器原理及应用超声波测厚7.5.4超声波传感器应用第7章压电元件与超声波传感器超声波液位计

传感器原理及应用

超声波防盗报警器第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用接收连续信号接收信号被调制延迟时间接收脉冲信号直接传播信号（测距）

超声波检测液位hhsh2ah2as超声波在空气中传播衰减大但在液体中传播衰减小

单换能器从发射到接收的时间

t=2h/C传感器到液面的距离

h=ct/2

双换能器经过的路程：

2S=ct液位高度：

C--超声波在介质

中传播速度第7章压电元件与超声波传感器超声波传感器可用于测量钻井泥浆液位传感器；因为钻井过程中自始自终要监测泥浆液面。钻井过程中液位传感器有着重要的意义，它确保快速、优质安全钻井。

传感器原理及应用第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用

超声波检测液位第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用

超声波检测厚度

超声波探伤传感器第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用

超声波传感器探伤第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用

超声波传感器探伤第7章压电元件与超声波传感器

传感器原理及应用超声波流速测量超声波流速检测超声波在静止流体和流动流体中的传播速度是不同的,分别在流体上游和下游放两个传感器,