第五章-真空检漏

WhatisVacuum?反映真空度的直接物理量是什么？常用单位？真空区域划分？气体三定律？道尔顿定律及其意义？理想气体状态方程？理想气体？永久气体？蒸汽？永久气体与蒸汽的区别？压强方程及其意义？麦克斯韦速率分布？最可几速率？算术平均速度？均方根速度？自由程？气体分子平均自由程？气体沿管道的流动状态可划分为几种基本形式？如何判别？流导？真空技术基本方程及其推导？吸附？物理吸附？化学吸附？物理吸附特点？化学吸附的特点？吸气剂？吸气剂作用？分类，举例？光源生产中使用吸气剂的必要性？吸气剂吸气原理有哪三个主要因素？15.何谓非蒸散型吸气剂的激活？如何实现？16.释汞吸气剂及其作用？17.ZrAl16惰性气体单级净化器原理及应用？18.脱附？去气？去气方法？19.真空泵？真空泵分类(根据原理)？20.抽速？极限压强？最大工作压强？压缩比？比抽速？21.旋片泵工作原理？22.单级旋片泵一般极限压力？为什么极限压力不能再低呢？23.气镇式机械泵？直联泵？24.机械增压泵又称什么真空泵？工作原理？25.扩散泵的工作原理？26.画图说明扩散泵分馏装置的作用？27.分子泵的发展史？28.气体捕集式真空泵及其种类（举例）？29.离子蒸发泵工作原理？30.钛升华泵的工作过程?31.钛离子蒸发泵工作过程?32.溅射离子泵又称?抽气机理?33.吸附泵?低温冷凝泵?低温吸附泵?34.真空计分类

(举例）？35.真空测量特点

?36.开式U型管真空计原理？37.闭式U型管真空计原理？38.压缩式真空计又称？工作原理？特点？39.麦氏计有哪二种刻度方法？原理？40.热传导真空计原理？41.热阴极电离真空计工作原理?组成?分类?42.如何提高电离计的测量上限？43.如何提高电离计的测量下限？44.45.46.47.48.49.50.51.52.53.第五章真空检漏主要内容5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．容许漏率5.2检漏的基本原理一.压强差的作用二.示漏气体与探测器三、检漏方法的响应过程四、各种效应的利用五、检漏器的性能指标5.3压力检漏法一.打气检漏法二.卤素检漏法三、氨检漏法5.4真空检漏法一.高频火花检漏法二.真空计检漏法三、质谱仪检漏法1．工作原理2．示漏气体3．检漏方法4．性能指标5.1概述一.真空检漏的意义二.真空系统漏气的判断三.漏孔大小的表示四．容许漏率真空检漏的基本概念

真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。

漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。

最大容许漏率：于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。

5.2检漏的基本原理检漏目的：一.压强差的作用

P1>P2；P1<P2e.g.Testingfortheleakoftireofabicycle.缺点：不能检测微小漏孔二.示漏气体与探测器示漏气体：卤素；放射元素；氨气等探测器：电离计等；三、检漏方法的响应过程立刻响应；响应较快稳定；响应很慢稳定；探查法四、各种效应的利用五、检漏器的性能指标漏孔的气流特性

气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。

检漏方法的分类充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法

Chapter5LeakDetectionSection1.Generalintroduction1.Theimportanceofleakdetection(a)Anidealvacuumchambershouldmaintainforeverthevacuum(pressure)reachedatthemomentofitsseparationfromthepumps.(b)Anyrealchamberpresentsariseinpressureafterbeingisolatedfromthepumpingsystem.Continuationofgeneralintroduction(c)Thepressureriseisproducedbythegaswhichpenetratesthroughleak,whichevolvesfromthewalls(outgassingandvapor)andwhichenteresbypermeation(seepage111).

P·Se·dt–Q·dt=–V·dPWhereP:Pressure;Se:EffectivepumpingspeedV:Volume;Q:leak,outgassing&permeationContinuationofgeneralintroduction2.Determinationoftheleak(a)Plottingofpressurevstimecurvewillassistindeterminingthetheactualleak.DeterminationoftherealleaksStraightline1:theriseofpressureisproducedonlybyrealleaks.Curve2:theriseofpressurebyoutgassingCurve3:theriseofpressurebyacombinedeffect(leak,outgassingandpenetration).Continuationofgeneralintroduction3.Theleakrate(a)Definition:Theleakrateisthequantityofgas(inPVunits)perunittimeintotheflowingvacuumsystematacertainconditions.TableofleakratespecificationsLeakdetectionSection2.Basicprincipleoftheleakdetectionmethods(a)Theaimofleakdetection:Tofindexactsituationoftheleak.(b)Theprincipleoftheleak:Pressuredifference:e.g.Testingfortheleakoftireofabicycle.ContinuationoftheprincipleofleakdetectionThetraceprobe:Inthistechniqueastreamoftestgasisspreadonthesuspectedarea,andthegaspenetratingintothesystemispumpedviathedetector.Thedetectorprobe:

Inthistechniquethetestgasisfilledintothesystemundertestandadetectorprobeconnectedtotheleakdetectorispassedoverthesuspectedareatoreceivethetestgasescapingthroughtheleak.5.3压力检漏法压力检漏法（

充压检漏法）：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。

一.打气检漏法二.卤素检漏法三、氨检漏法二.卤素检漏法

用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。示漏气体：氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好；卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3／s。二.卤素检漏法工作原理与结构

金属铂在800～900oC温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加。这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图所示。三、氨检漏法

示漏气体：氨（碱性）外涂试剂或贴试纸（溴酚蓝最好）原理：漏孔处变色灵敏度：大于5*10-6

torr

l/s的漏孔，0.5h；5*10-71*10-6

torr

l/s的漏孔，24h；10-8

torr

l/s的漏孔，10h以上。优点：简单方便，灵敏度高，一次充氨可以检完所有部位。缺点：有毒！不能用于铜银等金属容器。5.4真空检漏法真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在位置及漏率的大小，这就是真空检漏法。

一.高频火花检漏法二.真空计检漏法三、质谱仪检漏法1．工作原理2．示漏气体3．检漏方法4．性能指标一.高频火花检漏法

高频火花检漏器是个高频高压对地放电器件，可以用于真空检漏。(1)工作原理与结构

图9示出一种电容，电感串联谐振式高频火花检漏器的原理图。接通K，当接触器CD闭合时，电流流经L1、CD，电流很大，L1产生足够大的电磁力吸引CD断开，于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加，电流减小导致电磁力下降。从而使CD重新闭合。如此反复，在L2上施加高频脉冲电压，因此高压线圈L3便感应出高频高压脉冲电压。而L3的一端对地放电产生高频火花击穿现象。这就是高频火花检漏器的工作原理。

(2)玻璃真空系统的检漏

将高频火花检漏器的放电簧F沿着已抽空的玻璃系统外表面慢慢移动，没有漏孔时放电火花束呈杂乱分散状态，当遇到漏孔时火花束集中成一条细束，且指向系统上亮点(漏孔内空气电离率远远大于玻璃的结果)，该亮点就是漏孔的位置。

(3)金属真空系统的检漏

各种气体和蒸汽的辉光放电颜色如表3。选用表中示漏物质施加在金属真空系统的可疑处，用高频火花检漏器激发系统上玻璃质规管或盲管内的气体，使之放电，观察放电颜色的变化便可实现检漏。这种方法的工作压力为5×10-1～102Pa，检漏灵敏度为10-3Pam3／s。

表3

各种气体和蒸汽的辉光放电颜色气体放电颜色蒸气放电颜色空气玫瑰红水银蓝绿氮气金红水天蓝氧气淡黄真空油脂淡蓝（有荧光）氢气浅红酒精淡蓝二氧化碳白蓝乙醚淡蓝灰氦气紫红丙酮蓝氖气鲜红苯蓝氩气深红甲醇蓝二.真空计检漏法热传导真空计电离计示漏气体：H2,CO2,丁烷，丙酮，乙醚，酒精三、质谱仪检漏法氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。

氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。

1．工作原理与结构

氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。

可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。

2性能试验方法灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。

①灵敏度及其校准

氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量。②反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。

清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。

③工作真空、极限真空及入口处抽速

质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

2．示漏气体氦，why？P1283．检漏方法喷吹法、氦罩法、检漏盒法、吸枪法、充压法、背压法、累积法、选择性抽气法、检漏台法、逆流检漏法和标准漏孔比较法。

标准漏孔

标准漏孔是在一定条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件。一般要明确这个气流量（即漏率）的气体种类、温度、压力等条件。如果不特别指明，则指温度为296±3K、入口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的干燥空气（其露点温度低于248K）的漏率。

玻璃毛细管型标准漏孔（图中a）是用局部拉细的玻璃毛细管制成的，漏率为10-8~10-7Pam3/s。

金属压扁型标准漏孔（图中b）通常是用无氧铜或可伐管压制而成，漏率为10-8~10-6Pam3/s。

玻璃铂丝型标准漏孔（图中c）是利用玻璃与铂丝的不匹配封接制成的。薄膜渗氦型标准漏孔（图中d）是利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，其漏率一般为10-5~10-9Pam3/s。

LeakdetectionSection3Thedifferentmethodsofleakdetection1.PressuredifferentmethodItisverysimpleandveryuseful.Normallypeopleusethenitrogengasastestgaswithalittleoveratmospheric.Leakdetection2.Halogenleakdetector(a)ThisdetectorwasfirstdescribedbyWhiteandHickey(1948).(b)Itmakesuseofared-hot(~9000C)platinumwhichemitspositiveions.(c)Thepresenceofsmalltracesofhalogen(Cl,F,BrandI)increasestheemissionofpositiveionsmarkedly.Continuationofhalogenleakdetector(d)Itisthisincreaseinemissionthatismeasuredtoindicatethepresenceofaleak.(e)Thedetectorconsistsofaplatinumcylindermountedonaceramic-cladheatingelementplacedcentrallywithinanoutercylinder.Theheatedinnercylinderismadepositive(100--500V)relativetotheoutercylinder,andtheioncurrentisreadonamicroammeter.SchematicdiagramofthehalogenleakdetectorContinuationofthemethodsofleakdetection3.Thechemicaldetector4.Thesp