RENA清洗设备操作规

RENA清洗设备操作规程

确认外围电力供应到位后，将电力控制柜前的红色送电旋钮从OFF旋到ON

设备供电后再在将冷却器的旋钮开关从OFF旋到ON

确认所有红色急停按钮拉出后到设备前方操作区域将显示器下方的绿色ON按钮按下

用钥匙打开显示器后面的门，将显示器电源开关POWER打开

计算机系统启动后将自动进入生产操作界面，点击Login进入登陆界面，输入用户名及密码，点击ok进入,确认界面各模块单元上方显示黄色“Manual”状态，且滚轮显示蓝色即滚动状态

确认监测屏幕上显示各模块溶液均满槽（即FullDI、FullChem)和设备门窗均关闭。EtchBath显示NotReady，Dryer1Dryer2显示Ready确认各模块有无报警信息，若有任何异常，通知当班工艺工程师和设备工程师点击Manual按钮进入Drives菜单点击AllConveyor，点击Stop停止滚轮，点F10退回主界面。

点击ModeAuto按钮，设备进入自动模式，在界面上所有操作单元下方从黄色“Manual”转变成绿色“Auto”设备将自动开始从Tank中向Etchbath添加腐蚀液，界面上Etchbath单元下方显示为黄色“Fillingchemie”和黄色“notready”,等待Etchbath添加完成，等待碱槽和酸槽温度显示稳定，下方显示为绿色“Fullchemie”和绿色“Ready”。随后点击“start”按钮各模块自动运行。界面显示各模块均为绿色“Ready”和绿色＂inprocess＂．即设备进入正常生产状态

关机步骤确认各模块均停止工作，点击“Modemanual”按钮进入手动模式点击manual进入Drives菜单点击AllConveyor，点击Start启动滚轮，点击F10退回主界面进入“Manual”选单中“Etchbath”点击“DrainBath”,即把Etchbath中的反应液排到Tank内，点击F10退回主菜单，确认EtchBath模块显示黄色＂notready"和黄色＂draining"。等待Etchbath排液完成，在Etchbath模块上只显示为黄色“notready”，表明液体排完

用水枪冲洗KOH的喷淋管和槽体，并清洁设备表面检查各门的位置，正确地调整好它们击右上角的“Logoff”，跳出一个对话框。点击对话框中“Logoff”，门将被密封。若生产区域的门未正确地调整好位置，Alert警报会出现。再次登录，调整好门的位置，按F1消除警报，再登出关掉设备的显示器，关闭电力控制柜电源开关

生产准备

穿上工作服，戴上PVC/昵绒手套，清洗操作人员需要戴上安全眼镜、防护面具、防酸碱围裙、长袖防酸手套确保手套没有粘有油脂性物质，严禁直接接触硅片的正反面，只允许接触硅片的两侧，在插片过程。中禁止用手套接触皮肤，如接触过皮肤、头发或者是带有油脂的物品，请更换手套确认厂务配套各项目是否正常药液更换蚀刻槽（etchbath）选择菜单Manual，然后点击etchbath在确定需要更换药液后点击屏幕左边操作菜单上的BATHCHANGE，系统将自动将液体排空，再依工艺设定的清洗次数进行槽和罐的清洗，最后按照工艺设定补充相应量的药液到储液罐内，至此蚀刻槽的换药结束

碱洗槽（alkalinebath）先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的ManualMode选择菜单Manual,然后点击alkaline按下draining将碱槽的化学品排掉，等待直到图表显示为“Empty”(黄色)碱槽的冲洗，按下“rinsing”冲洗(屏幕的左边)。碱槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，碱槽内状态保持空的在排空槽内液体并清洗完毕后按下fillingchemie,系统将按工艺设定配比容积加入药液

酸洗槽（acidicbath）先确认机器处于手动状态，点击控制面板上的ManualMode选择菜单Manual，然后点击acidic按下draining将酸槽的化学品排掉，等待直到图表显示为“Empty”(黄色)酸槽的冲洗，按下“rinsing”冲洗(屏幕的左边)。酸槽将充满水和开始循环。可通过程序设定冲洗次数。清洗完成之后，系统自动将水排掉，酸槽内状态保持空的在排空槽内液体并清洗完毕后按下fillingchemie,系统将按工艺设定配比容积加入药液其他要求在正常生产过程中，不要出现半小时的停产。若出现停产半小时以上情况，请将刻蚀槽溶液排至Tank，以保证溶液浓度稳定。若出现停产半小时以上，清洗操作人员带好防护用品，打开KOH槽的上盖用水枪冲洗KOH槽喷淋管，冲洗完毕后，盖上盖子进入正常生产无论设备是否在生产过