标准解读

GB/T 20724-2006 是一项中国国家标准，全称为《薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法》。该标准详细规定了利用会聚束电子衍射技术来测定薄晶体样品厚度的方法原理、实验条件、操作步骤、数据处理以及测量精度评估等内容。下面是该标准的主要内容概述：

标准适用范围

本标准适用于使用透射电子显微镜(TEM)中的会聚束电子衍射技术，对厚度在纳米尺度范围内的薄晶体样品进行非破坏性测量。这些样品通常用于材料科学、半导体技术、纳米技术和生物医学研究等领域。

基本原理

  • 会聚束电子衍射：与传统的平行束电子衍射不同，会聚束电子衍射技术采用聚焦电子束照射样品，产生衍射花样。这种方法能提供更高空间分辨率的信息，适用于超薄样品的分析。
  • 布拉格方程：是分析衍射图案的基础，用于计算晶体平面间距，进而通过特定模型估算样品厚度。

实验条件与设备

  • 透射电子显微镜：需要具备高分辨成像和会聚束电子衍射功能。
  • 样品制备：样品需薄且均匀，通常通过超薄切片、离子减薄等方法制备。
  • 电子束参数：包括束流强度、会聚半角、加速电压等，应根据样品特性进行优化设定。

测量步骤

  1. 样品安装：将制备好的样品放置于TEM的样品台上，并确保其稳定。
  2. 调整束流：调节电子束的会聚程度，以获得适宜的衍射条件。
  3. 采集衍射图像：记录电子束照射样品产生的衍射花样，可能包括选取特定区域或全视场扫描。
  4. 数据解析：根据衍射斑点的位置、强度分布，应用相应的理论模型和计算方法确定晶体的面间距，进一步推算样品的厚度。

数据处理与精度评估

  • 图像处理软件：使用专门软件对获取的衍射图像进行分析，包括斑点识别、标定等。
  • 误差分析：考虑仪器精度、样品不均匀性、电子束散射等因素，评估测量结果的不确定度。

结果表达与报告

标准要求测量结果应清晰表述，包括但不限于样品基本信息、实验条件、测量值及其不确定度，并建议提供衍射图样作为附件，以便复核验证。


如需获取更多详尽信息，请直接参考下方经官方授权发布的权威标准文档。

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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 20724-2021
  • 2006-12-25 颁布
  • 2007-08-01 实施
©正版授权
GB/T 20724-2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法_第1页
GB/T 20724-2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法_第2页
GB/T 20724-2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法_第3页
GB/T 20724-2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法_第4页
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文档简介

ICS71.040.99N53中华人民共和国国家标准GB/T20724—2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法Methodofthicknessmeasurementforthincrystalbyconvergentbeamelectrondiffraction2006-12-25发布2007-08-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布中国国家标准化管理委员会

中华人民共和国国家标准薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法GB/T20724-2006中中国标准出版社出版发行北京西城区复兴门外三里河北街16号邮政编码：100045.en电话：010)51299090.685220062007年6月第一版书号：155066·1-29497版权专有侵权必究举报电话：（010)68522006

GB/T20724一2006前本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出本标准由全国微束分析标准化技术委员会归口.本标准起草单位：北京科技大学。本标准主要起草人:柳得檐。本标准为首次制定

GB/T20724-2006薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法范围本标准规定了用透射电子显微镜测定薄品体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本方法适用于测定线度为10-°m～0.1×10-3m、厚度在几十至几百纳米范围的薄晶体厚度规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勒误的内容)或修订版均不适用于本标准.然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T18907—2002透射电子显微镜选区电子衍射分析方法术语和定义下列术语和定义适用于本标准31会聚束电子衍射convergentbeamelectrondiffraction（CBED)一种电子衍射方法,由电子枪发射的高能电子束被会聚成直径很小而孔径角较大(通常大于10-弧度)的照明束照射试样,所得到的衍射图由具有一定尺寸的衍射圆盘与直射圆盘组成，在衍射盘内出现衍射条纹衬度。3.2薄晶体试样ethincrystalspecimen能够置放在透射电子显微镜试样台上并对高能照明电子束透明的品体试样33萃取复型试样lextractionreplicaspecimen应用化学或电化学方法将固态试样表面形貌或显微组织复制在复型材料上,同时把试样中的第二相颗粒萃取在该复型上的一种试样3.4Kossel-Millenstedt衍射图Kossel-Millenstedtpattern衍射盘与直射盘没有重叠，而且盘内呈现衍射衬度的一种会聚束电子衍射图3.5双束近似twobeamapproximation进行电子衍射实验时,使晶体试样仅有一列品面(hi)满足布拉格反射条件的一种近似条件原理在透射电子显微镜中的薄晶体试样被会聚电子束照射时,产生会聚束电子衍射图。利用双束近似条件下衍射盘内的Kossel-Mollenstedt条纹可精确测定薄品体试样微区的厚

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