标准解读

GB/T 18994-2003是一项针对电子工业用气体中高纯氯的质量标准。该标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求，旨在确保电子工业生产中使用的氯气具有高度的纯净度和可靠性，以满足精密半导体制造和其他高科技应用的严格需求。

技术要求

标准详细说明了高纯氯的各种质量指标，包括但不限于：

  • 纯度：明确规定了氯气中的杂质含量上限，如水分、氧、氮以及其他可能影响电子元件性能和生产过程的杂质元素含量需极低。
  • 外观：要求气体为无色、无悬浮物的澄清状态。
  • 物理化学性质：规定了气体的压力、密度等理化指标范围，确保其在特定条件下稳定可用。
  • 包装材料：对盛装气体的容器材质、清洁度有具体要求，防止二次污染。

试验方法

标准提供了详细的检测方法，用于验证气体是否符合规定的纯度和其他质量标准，包括气相色谱法、光谱分析法等现代分析技术，以准确测定各种杂质成分的含量。

检验规则

明确了产品出厂前的检验程序，包括抽样频率、检验项目及合格判定准则，确保每批次产品均经过严格的质量控制。

包装、标志、运输和储存

  • 包装：要求使用专用、清洁、干燥的钢瓶或其他适宜容器进行密封包装，防止气体泄漏或污染。
  • 标志：规定了包装上应清晰标注的产品信息，如品名、规格、批号、生产日期、有效期及生产厂家等，便于追踪和安全管理。
  • 运输：提供了运输过程中应注意的安全措施，避免剧烈震动、高温或明火，确保安全运输。
  • 储存：说明了储存条件，如温度、湿度、通风等要求，以及远离不相容物质的存放原则。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 18994-2014
  • 2003-03-05 颁布
  • 2003-08-01 实施
©正版授权
GB/T 18994-2003电子工业用气体高纯氯_第1页
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文档简介

ICS71.100.20G86中华人民共和国国家标准GB/T18994-一2003电子工业用气体高纯氯Gasesforelectronicindustry-Highpuritychlorine2003-03-05发布2003-08-01实施中华人民共和国爱布国家质量监督检验检疫总局

GB/T18994一2003前本标准对应于国际半导体设备与材料组织SEMIC3.32:1995《纯度为99.996%的氯标准》(英文版),本标准与SEMIC3.32:1995的一致性程度为非等效·主要技术差异如下：-质量指标中增加了对湿度的要求；-对金属杂质的要求改为由用户和供应商之间商定：-检验方法中根据我国的实际水平做了相应的改动。本标准的附录A是资料性附录。本标准由原化学工业部提出。本标准由全国气体标准化技术委员会归口。本标准起草单位：光明化工研究设计院。本标准主要起草人：孔祥芝、余中玉。

GB/T18994-2003电子工业用气体高纯氯范范国本标准规定了电子工业用气体高纯氯产品的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输及广存和安全要求。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、铝加工等高新技术领域分子式：l、相对分子质量：70.906(按1999年国际相对原子质量)101.3kPa下的涝点：-34.05C。101.3kPa下的焙点：-101.0C。101.3kPa及20℃下气体的密度：2.980kg/m²2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件.其随后所有的修改单(不包括误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190危险货物包装标志GB5099钢质无缝气瓶(GB5099—1994.neqISO4705)GB/T5274气体分析校准用混合气体的制备称量法（GB/T5274一1985.eqvISO6142)GB/T5832.1气体中微量水分的测定电解法GB7144气瓶颜色标志GB/T7445纯氢、高纯氢和超纯氢GB/T8980高纯氮3要求高纯氯的质量指标应符合表1的要求表1质量指标指氯(CL)气的体积分数99.996×10-氧(O.)的体积分数4X10-氮(N.)的体积分数20×10-一氧化碳(CO)的体积分数1×10-二氧化碳(CO.)的体积分数10×10-经(C～C.）的体积分数1X10-水(H.O)的体积分

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