标准解读

《GB/T 17359-1998 电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则》是中国国家标准之一，旨在为使用电子探针（EPMA）和扫描电子显微镜结合X射线能谱仪（SEM-EDS）进行材料的微区成分定量分析提供统一的方法指导和质量控制规范。该标准详细规定了分析前的准备、测量过程、数据处理以及结果报告等方面的要求，以确保分析结果的准确性和可比性。下面是对该标准主要内容的概述：

  1. 范围：明确了标准适用的对象是使用电子探针显微分析技术和扫描电子显微镜配合X射线能谱技术进行固体材料表面或微区成分的定性和定量分析。

  2. 术语和定义：对电子探针、扫描电镜、X射线能谱等基本概念及分析中的专业术语进行了明确界定，便于读者理解和操作。

  3. 符号和单位：规定了在分析过程中使用的符号及其对应的物理意义和推荐的单位，保证了表达的一致性。

  4. 仪器与设备：介绍了进行定量分析所需的仪器设备的基本要求，包括电子探针、扫描电镜及X射线能谱仪的技术指标和性能参数，确保分析条件满足精确度和重复性的需要。

  5. 样品制备：阐述了样品选择、制备方法和要求，强调样品表面应平整、清洁，无污染，以减少分析误差。

  6. 测量条件：详细说明了测量时的加速电压、束流强度、测量时间等关键参数的选择原则，以及如何根据样品特性和分析目的优化这些条件。

  7. 校准与标准化：强调了校准曲线的建立和维护对于定量分析的重要性，规定了使用标准物质进行仪器校正的方法步骤，以实现分析结果的准确性。

  8. 数据处理：介绍了数据采集、背景扣除、峰面积计算、元素定量等数据处理的具体方法，以及如何通过软件进行自动化处理和质量控制。

  9. 不确定度评估：指导用户如何评估和报告分析结果的不确定度，包括仪器本身、样品制备、测量条件等因素对结果的影响。

  10. 结果报告：规定了分析报告应包含的信息内容，如样品描述、分析条件、测量结果、不确定度、使用的校准方法及任何可能影响结果解释的注释等，以确保报告的完整性和透明度。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 17359-2012
  • 1998-05-08 颁布
  • 1998-12-01 实施
©正版授权
GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则_第1页
GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则_第2页
GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则_第3页
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文档简介

1C8.37.020N3中华人民共和国国家标准GB/T17359-1998电子探针和扫描电镜×射线能谱定量分析通则GeneralspecificationofX-rayEDSquantitativeanalysisforEPMAandSEM1998-05-08发布1998-12-01实施国家质量技术监督局发布

GB/T17359-1998在电子探针和扫描电镜微分析领域，义射线能谱分析技术在近十多年来有了飞速的发展，在金属材料研究、矿物鉴定和分析、半导体材料、治金、地质、石油勤探等部门都获得了广泛的应用。我国已有各种能谱仪500多台，本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的X射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并负责技术归口。本标准由中国有色金属工业总公司北京有色金属研究总院、地矿部地质科学研究院矿床地质研究所、核工业部北京地质研究院共同负责起草。本标准主要起草人：刘安生、周剑雄、张宜。

中华人民共和国国家标准电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则GB/T17359—1998GeneralspeeificationorX-rayEDSquantitativeanalysisforEPMAandSEM范围本标准规定了与电子探针和扫描电镜联用的义射线能谱仪的定量分析方法的技术要求和规范。本标准适用于电子探针和扫描电镜X射线能谱仪对块状试样的定量分析。2引用标准下列标准所包含的条文·通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性GB/T4930-93电子探针分析标准样品通用技术条件GB/T15074一94电子探针定量分析方法通则3分析方法原理在电子探针和扫描电镜等分析仪器中,应用一定能量并被聚焦的电子束轰击样品时，被轰击区发射出样品中所含元素的特征X射线,利用半导体探测器的能量色散特性，对接收的信号进行转换、放大.再经过线性放大器、脉冲处理器、多道分析器的进一步放大、处理和分析，可获得各元素的特征X射线的能谱及其强度值，再通过与相应元素的标准样品的X射线能谱的对比测定，以及修正计算处理，最终可以获得被测样品的化学组成的定量分析结果。时线能谱仪4.1X射线能谱仪的基本组成方框图如下、、「线性放大与)、开算机多道分析器脉冲处理器深测器放大器统4.2X射线能谱仪的主要组成部分4.2.1X射线探测器：通常是Si(Li)半导体探测器，用于探测试样发射的X射线，使能量不同的X射线转换为电压不同的电脉冲信号。4.2.2前置放大器：将来自探测器的信号作初级放大。4.2.3线性放大器和脉冲处理器：将经过前置放大器初级放大的信号作进一步放大、并进行模拟或数字化处理。4.2.4多道分析器：将来自脉冲处理器的信号作进一步处理，完成对X射线谱的能量和强度的初步分4.2.5电子计算机系统：配

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