标准解读
GB/T 16943-1997 是一项中华人民共和国国家标准,全称为《电子工业用气体 氦》。这项标准规定了电子工业所使用的氦气的质量要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、运输和储存要求,旨在确保氦气作为电子工业原材料时的纯度与质量,满足该领域对高纯度气体的严格需求。
标准内容概览:
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范围:明确了本标准适用于电子工业生产中使用的氦气,规定了其技术条件及试验方法。
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规范性引用文件:列出了实施本标准时所依据或参考的其他相关标准和文件,这些文件对于理解和执行标准内容是必要的。
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术语和定义:虽然具体定义未列出,通常会包括氦气纯度、杂质含量等基本概念的界定。
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要求:
- 纯度:详细规定了氦气的最低纯度要求,可能包括总杂质含量的最大允许限值。
- 杂质含量:指定了氦气中可能含有的各种杂质元素(如氮、氧、氩等)的具体含量限制。
- 物理化学性质:可能包括了氦气的压力、温度条件下的物化特性要求。
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试验方法:
- 描述了如何通过科学方法检测氦气的纯度和杂质含量,包括气相色谱分析、光谱分析等手段。
- 规定了采样、预处理、分析过程的具体步骤和条件。
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检验规则:
- 包括了产品出厂前的检验项目、抽样方案、判定规则等,确保每批产品的质量符合标准要求。
- 可能还包括了型式检验和监督检验的具体安排。
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标志、包装、运输、储存:
- 规定了氦气容器上应标注的信息,如产品名称、规格、批号、纯度等级、生产日期等。
- 对包装材料、方式以及在运输和储存过程中的环境条件(如温度、压力)提出了要求,以防止污染或变质。
实施意义:
该标准的制定和实施有助于统一电子工业用氦气的质量标准,保证生产过程的稳定性和产品的可靠性,促进电子元器件和半导体制造业的高质量发展。同时,也为氦气供应商提供了明确的质量控制指标,便于国内外贸易中的品质鉴定与交流。
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文档简介
Te71.100.20G86中华人民共和国国家标准CB/T16943一1997电子工业用气体Gasesforelectronicindustry-Helium1997-08-13发布1998-05-01实施国家技术监督局发布
GB/T16943-1997前本标准是根据SEMIC3.20-一92《钢瓶装氮标准》(1995年版)制定的,在技术要求上与之等同,检验方法与之等效。在将SEMIC3.20—92转化为本国家标准时,结合我国的实际情况,删去了SEMIC3.20—92中仅作为参考的物理常数和注释等内容,试验方法中增加了抽样和氮气纯度两条,各项杂质含量的测定,分别采用我国相应的通用试验方法国家标准,同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差异,并使标准的技术内容更加完整。本标准由中华人民共和国化学工业部提出。本标准由化学工业部西南化工研究院归口。本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院、四川石油管理局六菱化工公司。本标准主娶起草人:余中玉、戴启文
中华人民共和国国家标准电子工业用气体GB/T16943-1997Gasesforelectronicindustry-Helium1范园本标准规定了电子工业用氨气的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氮,在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等:分子式:He相对分子质量:4.003(按1991年国际相对原子质量)2引用标准下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。GB/T4844.1-1995工业氮气GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法GB/T5832.2—86气体中微量水分的测定露点法GB/T6285—86气体中微量氧的测定电化学法GB/T8984.1一1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法GB/T8984.3-1997气体中总烃的测定火焰离子化法3要求电子工业用氮气的技术指标应符合表1的要求。表1技术指标VM日指标氨气纯度,10-99.9995一氧化碳和二氧化碳总含量,10-1.0氮含量,10-“2.0氧含量,10-0.5总烃(以甲烷计)含量,10
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