标准解读

《GB/T 16594-1996 微米级长度的扫描电镜测量方法》是一项由中国发布的国家标准，旨在规定使用扫描电子显微镜（SEM）对微米量级尺寸进行精确测量的方法与要求。该标准适用于各类材料表面结构特征的长度测量，包括但不限于线宽、颗粒直径、孔隙大小等微观几何参数。以下是该标准的主要内容概览：

  1. 范围：明确了本标准适用的测量对象和条件，即利用扫描电镜对样品表面微米尺度的线性尺寸进行测量。

  2. 引用标准：列出了实施该测量方法时需要参考的其他相关国家标准或国际标准，确保测量过程和技术要求的一致性和准确性。

  3. 术语和定义：对在标准中使用的专业术语进行了明确界定，帮助使用者准确理解测量中的概念，如分辨率、放大率、测量误差等。

  4. 仪器要求：详细描述了进行测量所必需的扫描电镜设备应具备的技术指标，包括分辨率、稳定性、校准要求等，以保证测量结果的可靠性。

  5. 样品制备：说明了样品预处理、固定、切割、镀膜等准备步骤，确保样品适合于SEM观测且不引入额外的形变或污染。

  6. 测量方法：

    • 成像条件选择：根据被测特征的尺寸和性质，确定合适的加速电压、工作距离、探测器类型等成像参数。
    • 图像获取：如何正确采集高清晰度的SEM图像，包括对焦、选择合适的放大倍数等操作。
    • 测量技术：介绍了直接测量法、标尺法、图像分析软件辅助测量等多种测量手段，并给出了具体操作流程。

  7. 数据处理与分析：包括如何从SEM图像中提取测量数据，计算测量结果，以及对测量误差进行评估和校正的方法。

  8. 质量控制：强调了重复测量、仪器校验、环境条件监控等措施，以确保测量结果的可重复性和准确性。

  9. 报告：规定了测量报告应包含的信息，如样品描述、测量条件、结果数据、不确定度分析等，以便于信息的交流和追溯。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 16594-2008
  • 1996-11-04 颁布
  • 1997-04-01 实施
©正版授权
GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法_第1页
GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法_第2页
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文档简介

ICS17.040.01N33中华人民共和国国家标准GB/T16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法MicrongradelenghtmeasurementbySEM1996-11-04发布1997-04-01实施国家技术监督局发布

CB/T16594-1996前本标准是一个测量方法标准，其量值可以湖源到长度基准。本标准主要用于测量微小颗粒的直径、薄层厚度、线条宽度、线条距离、线维直径、刀刃的曲率半径本标准可与JG550—88扫描电子显微镜检定规程并列使用。本标准由全国微束分析标准化技术委员会提出并归口。本标准起草单位：上海市测试技术研究所、中国船崩总公司725研究所。本标准主要起草人：张训彪、徐国照、高文华。

中华人民共和国国家标准微米级长度的扫描电镜测量方法GB/T16594-1996MicrongradelenghtmeasurementbySEM1范围本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10m的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。2引用标准下列标准包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。在标准出版时，所示版本均为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。JJG550-88扫描电子显微镜检定规程3基本原理这是一种比较测量方法。其基本原理是：先用扫描电镜获得待测样品和微米级标尺（以下简称标尺)的二次电子像，然后用比长仪测量出底片上标尺图像的分度长度（A)和样品图像中待测的两个特征点之间的长度(B)。样品中待测的实际长度(L)按式(1)计算、········（1）式中一·标尺分度的标定值4标准器和仪器设备4.1标尺：应经过法定计地机构标定、4.2扫描电镜：分辨力优于0.01gm.4.3比长仪：量程不小于60mm,误差不超过士5m:4.4光学显微镜：放大倍数不小于40倍。5试验方法5.1样品的准备5.1.1将待测样品置于样品柱上，用光学显微镜观测，将样品的工作面调整到与样品柱垂直，然后用导电胶将样品固定、5.1.2若样品不导电，应在样品表面喷镀厚度大约为10nm的金5.1.3将样品柱置于样品座上，并调整到标准高度5.1.4按5.1.1～5.1.3方法，将标尺于样品座上。5.1.5用光学显微镜观测,先将样品暨于视场中，调节光学显微镜，使样品工作面正焦5.1.6平移样品座，使标尺置

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