标准解读

《GB/T 15075-1994 电子探针分析仪的检测方法》是中国关于电子探针分析仪检测技术的一项国家标准。该标准详细规定了使用电子探针分析仪进行材料微区成分分析的操作程序、测量条件、数据处理及结果表示等技术要求，旨在确保测试结果的准确性和可比性。以下是对该标准主要内容的概述：

  1. 范围：标准明确了适用范围，即适用于使用电子探针分析技术对固体材料表面或微小区域内的元素种类及其含量进行定性和定量分析。

  2. 术语和定义：定义了电子探针分析相关的专业术语，如电子探针（EPMA）、波长色散X射线光谱（WDX）、能量色散X射线光谱（EDX）等，为标准的正确理解和应用提供了基础。

  3. 引用标准：列出了执行本标准时需要参考的其他相关国家标准和国际标准，确保了检测方法的规范性和一致性。

  4. 仪器要求：详细描述了电子探针分析仪应具备的基本构造、性能指标及校准要求，包括电子光学系统、X射线探测系统、样品室、真空系统等关键部件的技术参数。

  5. 样品准备：规定了样品制备的原则、方法及要求，强调了样品表面处理、形状尺寸、清洁度对分析结果的影响，确保样品适合电子探针分析。

  6. 测试条件选择：包括加速电压、束流强度、工作距离等参数的选择原则，以及如何根据被测材料性质和分析目的优化测试条件。

  7. 测量与分析方法：阐述了WDX和EDX两种主要分析技术的原理、操作步骤和注意事项，指导如何进行点分析、线扫描、面扫描等不同类型的测量。

  8. 数据处理与结果表示：规定了数据采集、背景扣除、定量分析模型（如内标法、经验系数法等）的应用，以及最终测试报告的内容、格式和要求，确保结果的科学性和规范性。

  9. 质量控制与检验：提出了重复性、再现性试验的方法，以及仪器定期校验、比对实验等质控措施，以监控和保证分析结果的可靠性。

  10. 安全操作：简要提及了在操作电子探针分析仪过程中的安全注意事项，强调遵守辐射防护、高压设备操作等相关安全规范。


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  • 废止
  • 已被废除、停止使用，并不再更新
  • 1994-05-09 颁布
  • 1994-12-01 实施
©正版授权
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文档简介

UDC621.317.7：620.1N33中华人民共和国国家标准GB/T15075－94电子探针分析仪的检测方法MethodfortestingEPMAinstrument1994-05-09发布1994-12-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准GB/T15075-94电子探针分析仪的检测方法MethodfortestingEPMAinstrument1主题内客与适用范围本标准规定了电子探针分析仪的检测条件、技术要求、检测方法、判别原则与检测周期。本标准适用于使用中、修理后用X射线波长分光谱仪（简称波谱仪）进行元素分析的电子探针分析仪的检测。配有波谱仪的扫描电子显微镜的检测可参照执行。2引用标准GB4930电子探针分析标准样品通用技术条件JJG550扫描电子显微镜试行检定规程3检测东件3.1环境条件3.1.1环境温度：18～25℃；3.1.2相对湿度：50%～~70%；3.1.3杂散磁通量密度：小于0.5PT;3.1.4地基振幅;小于5“m(5～20Hz);3.1.5接地电阻：小于1000；3.1.6电源：电压220V士10%;频率50Hz3.2检测用标准器3.2.1检测放大倍数的标准样品：经标定的金属栅网或标尺。3.2.2检测二次电子像分辨力的标准样品：碳表面喷金粒子3.2.3检测定量分析准确度的标准样品：国家发布的合金标准样品和矿物标准样品。4技术要求根据技术性能，电子探针分析仪分为：一级、二级、三级4.1外观要求4.1.1应标明仪器名称、型号、制造厂家、制造日期、出厂编号。4.1.2应无影响分析性能的损伤;面板上的标记应清晰;部件装配应牢固，导线连接应可靠4.1.3操作应自如，运转应正常。4.2工作真空度优于2×10-'Pa。4.3柬流稳定性(10-*/h)-级：优于2.5二级：优于5

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